【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用靶材加热保温装置
本技术涉及镀膜机靶材技术应用
，具体为一种镀膜机用靶材加热保温装置。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等，更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，但是将靶材放置镀膜机内时，还需将靶材进行高温加热，在此过程中增加了等待时间以及工作时长，同时大大的降低了工作效率，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种镀膜机用靶材加热保温装置，解决了现有的将靶材放置镀膜机内，还需将靶材进行高温加热的问题，在需使用更换靶材时，可直接将加热后的靶材从壳体内取出，避免工人在取出的过程中，对人体造成损伤。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种镀膜机用靶材...
【技术保护点】
1.一种镀膜机用靶材加热保温装置，包括：壳体(1)、保温层(2)、内胆(3)、保护罩(4)、一对结构相同的第一电动推杆(5)、加热器(6)、固定架(7)、活动盖(8)以及支腿架(9)，其特征在于，所述保温层(2)位于壳体(1)内，且敷设其内壁面上，所述固定架(7)安装于壳体(1)内，且与其内壁固定连接，所述内胆(3)安装于固定架(7)上，所述加热器(6)安装于内胆(3)外壁，所述保护罩(4)底端与壳体(1)内壁固定连接，且套装于加热器(6)上，一对所述第一电动推杆(5)左端安装于壳体(1)内部，且与壳体(1)内壁固定连接，所述活动盖(8)位于壳体(1)右侧，且与第一电动推杆...
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用靶材加热保温装置，包括：壳体(1)、保温层(2)、内胆(3)、保护罩(4)、一对结构相同的第一电动推杆(5)、加热器(6)、固定架(7)、活动盖(8)以及支腿架(9)，其特征在于，所述保温层(2)位于壳体(1)内，且敷设其内壁面上，所述固定架(7)安装于壳体(1)内，且与其内壁固定连接，所述内胆(3)安装于固定架(7)上，所述加热器(6)安装于内胆(3)外壁，所述保护罩(4)底端与壳体(1)内壁固定连接，且套装于加热器(6)上，一对所述第一电动推杆(5)左端安装于壳体(1)内部，且与壳体(1)内壁固定连接，所述活动盖(8)位于壳体(1)右侧，且与第一电动推杆(5)右侧相连接，所述支腿架(9)安装于壳体(1)底端，且分布四个角落，所述活动盖(8)上具有抓取结构；所述抓取结构，其包括：第二电动推杆(10)、抓取钳(11)以及支撑架(12)；所述第二电动推杆(10)安装于活动盖(8)内壁面上，所述抓取钳(11)安装于第二电动推杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨群生，苏纪荣，
申请(专利权)人：青岛汇聚机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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