【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用旋转装置
本技术涉及镀膜机生产设备
，具体为一种镀膜机用旋转装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备，其中，镀膜的技术具有很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等，主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的对象被称为工件(或基片)，需要镀在工件上的材料被称为靶材，如硅靶、铌靶、铝靶、钛靶等。工件与靶材同在真空腔中，在真空条件下，通入一定气压的氩气，氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子，氩离子加速轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜，现有的真空镀膜装置中的旋转装置结构较为复杂，并且在转动时存在镀膜死角，造成材料镀膜不充分，并且现有的镀膜装置不具备集气功能，当一些有毒靶材镀膜完成打开仓体时，会散发一些有毒气体，工作人员长期处于这种环境中，会产生疾病，鉴于此，针对上述问题深入研究，遂有本案产生。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种镀膜机用旋转装置，解决了现有的真空镀膜装置中的旋转装置结构较为复杂，并且在转动时存在镀膜死角，造成材料镀膜不充分，并且现有...
【技术保护点】
1.一种镀膜机用旋转装置，包括箱体(1)、第一固定座(2)、第二固定座(3)、盒体(4)以及固定杆(5)，其特征在于，所述第一固定座(2)安置于箱体(1)上壁面，所述箱体(1)上壁面开设有第一通孔，所述第一通孔位于第一固定座(2)上方，所述第一通孔内安装有第一轴承，且与第一固定座(2)相连接，所述第二固定座(3)安置于箱体(1)下壁面，所述盒体(4)安置于箱体(1)下壁面，所述盒体(4)下壁面开设有一对结构相同的第二通孔，一对所述第二通孔内安装有一对结构相同的第二轴承，所述箱体(1)下壁面以及盒体(4)上壁面开设有一对结构相同的第三通孔，且位于一对所述第二通孔上方，一对所述...
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用旋转装置，包括箱体(1)、第一固定座(2)、第二固定座(3)、盒体(4)以及固定杆(5)，其特征在于，所述第一固定座(2)安置于箱体(1)上壁面，所述箱体(1)上壁面开设有第一通孔，所述第一通孔位于第一固定座(2)上方，所述第一通孔内安装有第一轴承，且与第一固定座(2)相连接，所述第二固定座(3)安置于箱体(1)下壁面，所述盒体(4)安置于箱体(1)下壁面，所述盒体(4)下壁面开设有一对结构相同的第二通孔，一对所述第二通孔内安装有一对结构相同的第二轴承，所述箱体(1)下壁面以及盒体(4)上壁面开设有一对结构相同的第三通孔，且位于一对所述第二通孔上方，一对所述第三通孔位于第二固定座(3)下方，一对所述第三通孔内安装有一对结构相同的第三轴承，所述固定杆(5)安置于第一固定座(2)以及第二固定座(3)之间，所述固定杆(5)上安装有若干挂钩，所述箱体(1)下方安装有旋转结构，所述箱体(1)上方安装有集气装置；所述旋转结构，其包括：伺服电机(6)、第一齿轮(7)、转杆(8)以及第二齿轮(9)；所述伺服电机(6)安置于箱体(1)下壁面，所述第一齿轮(7)安置于伺服电机(6)驱动端，所述转杆(8)一段安置于一对所述第二轴承内，所述转杆(8)另一端安置于一对所述第三轴承内，且与第二固定座(3)相连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨群生，苏纪荣，
申请(专利权)人：青岛汇聚机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。