光合波器的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开光合波器的制造装置。光合波器的制造装置中，光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，所述制造装置具备：工件设置部，用于进行光合波器的装配作业；光束照射式角度测定部，向工件设置部的基准面照射光束，测定基准面的角度θa，向反射镜照射光束，测定反射镜的角度θb，向基底的第二主面照射光束，测定第二主面的角度θc，向光学滤光器照射光束，测定光学滤光器的角度θd；角度调整部，调整反射镜的角度以使角度θb与角度θa一致，调整光学滤光器的角度以使角度θc与角度θd一致；以及部件固定部，将反射镜及光学滤光器固定到基底。

Fabrication Device of Photosynthetic Wave Device

【技术实现步骤摘要】
光合波器的制造装置本申请是申请号为201680009842.0，申请日为2016年3月1日，专利技术名称为“光合波器的制造方法以及制造装置”的分案申请。
本专利技术涉及例如在集成型光模块等中使用的光合波器的制造方法以及制造装置。
技术介绍
近年来，光网络的通信业务量增大，要求具有高的通信容量、更小型且低功耗的光模块。为了实现小型化以及低功耗化，正在推进光模块的集成化。例如，在下述专利文献1中，公开了在一个封装内使用透镜将四个波长不同的光元件和光合波器光学地耦合的光集成模块。在该光集成模块中，需要以使各光元件之间的光损耗偏差变小的方式，将来自四个光元件的发光安装到光合波器。作为其对策，在下述专利文献2中，提出了如下方法：在透镜与光合波器之间，配置非线性光学元件等光线方向变化部，从外部发送操作用的电信号，从而使通过的信号光的光线方向针对每个波长变化，减小各光元件之间的光损耗偏差。但是，在该方法中，需要非线性光学元件，所以成本变高，并且难以实现小型化。另外，需要从外部发送电信号，从而存在作为模块的功耗也变大这样的问题。在光集成模块中，需要高精度地装配承担光合波功能的光合波器，设定为使从多个光元件发出的光聚光到一点。作为其对策，在下述专利文献3中，在透明块中植入滤光器层。但是，在设置具有不同特性的多个滤光器层的情况下，存在制造成本变高这样的问题。现有技术文献专利文献1：美国专利申请公开第2011/0013869号说明书(图1)专利文献2：日本特开2010-175875号公报(图1)专利文献3：日本特开2002-40283号公报(图6)
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光合波器的制造方法以及制造装置，能够高精度地装配承担光合波功能的光合波器。为了达成上述目的，本专利技术提供一种光合波器的制造方法，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造方法包括：在基底的第一主面载置反射镜，在使用自动准直仪进行该基底与该反射镜之间的角度调整之后，将该反射镜固定到该基底的步骤；以及在基底的第二主面载置光学滤光器，在使用自动准直仪进行该基底与该光学滤光器之间的角度调整之后，将该光学滤光器固定到该基底的步骤。另外，本专利技术提供一种光合波器的制造方法，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造方法包括：在工件设置部的基准面载置基底的步骤；向该基准面照射光束，测量在该基准面反射的光束的反射方向，测定该基准面的角度θa的步骤；在所述基底的第一主面载置反射镜的步骤；向该反射镜照射光束，测量在该反射镜反射的光束的反射方向，测定该反射镜的角度θb的步骤；在调整所述反射镜的角度以使角度θb与角度θa一致之后，将所述反射镜固定到所述基底的步骤；将所述基底在翻转的状态下载置到工件设置部的基准面的步骤；在所述基底的第二主面载置光学滤光器的步骤；向所述基底的第二主面照射光束，测量在该第二主面反射的光束的反射方向，测定该第二主面的角度θc的步骤；向所述光学滤光器照射光束，测量在所述光学滤光器反射的光束的反射方向，测定所述光学滤光器的角度θd的步骤；以及在调整所述光学滤光器的角度以使角度θc与角度θd一致之后，将所述光学滤光器固定到所述基底的步骤。另外，本专利技术提供一种光合波器的制造装置，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造装置具备：工件设置部，用于进行光合波器的装配作业；光束照射式角度测定部，分别测定所述工件设置部的基准面、所述基底、所述反射镜及所述光学滤光器之间的相对角度；角度调整部，相对所述基底调整所述反射镜及所述光学滤光器的角度；以及部件固定部，将所述反射镜及所述光学滤光器固定到所述基底。根据本专利技术，能够以正确的角度将反射镜以及光学滤光器固定到基底，所以得到高精度的光合波器。其结果，在将得到的光合波器嵌入到光集成模块的情况下，能够实现简化光轴对准作业、而且光损耗偏差小的小型的光集成模块。附图说明图1是表示可应用本专利技术的光集成模块的光学系统的一个例子的结构图。图2是表示光合波器的一个例子的结构图，图2(a)是从光学滤光器侧观察的正面图，图2(b)是从上观察的俯视图，图2(c)是从反射镜侧观察的背面图。图3是表示光集成模块光学系统的装配步骤的一个例子的说明图。图4是表示本专利技术的实施方式1所涉及的光合波器的制造装置的一个例子的立体图。图5是表示本专利技术的实施方式1所涉及的光合波器的制造装置的一个例子的正面图。图6是表示本专利技术的实施方式1所涉及的光合波器的制造方法的一个例子的流程图。图7是表示本专利技术的实施方式1所涉及的光合波器的制造方法的一个例子的说明图。图8是表示观测光合波器的装配精度的手法的一个例子的说明图。图9是表示观测光合波器的装配精度的手法的一个例子的说明图。图10是表示观测光合波器的装配精度的手法的另一例子的说明图。图11是表示本专利技术的实施方式2所涉及的光合波器的制造装置的一个例子的正面图。图12是表示本专利技术的实施方式2所涉及的使用试验光的光学滤光器的角度测定的说明图。(符号说明)1：光元件；2：透镜；3：光合波器；4：基板；6：长焦镜头；7：摄像照相机；31：基底；32：光学滤光器；33：反射镜；34：粘接剂；38：窗；50：工件设置部；51：基准光源；52：XY轴载置台；53：转动载置台；54：二轴测角器载置台；55：波长可变光源、56：功率计、57：试验光；60：光束照射式角度测定部；61：自动准直仪；62：转动载置台；63：Z轴载置台；70：角度调整部；71：部件把持机构；72：把持把手；73：Z轴载置台；74：转动载置台；75：二轴测角器载置台；80：摄像照相机部；81：摄像照相机；82：摄像镜头；83：XY轴载置台；84：Z轴载置台；90：导光体；91：反射镜。具体实施方式实施方式1.图1是表示可应用本专利技术的光集成模块的光学系统的一个例子的结构图。光集成模块具备波分复用方式等能够用多个通信通道同时发送光信号的功能。在此，例示4个通信信道，但关于2～3个或者5个以上的通信信道，也能够同样地构成。光集成模块包括四个光元件1、四个透镜2、将来自各光元件1的光以光学方式合成的光合波器3以及基板4等。光元件1由半导体激光器、固体激光器等构成，在波分复用方式的情况下，产生具有相互不同的中心波长(1300nm～1500nm)的光。在子底座(未图示)上用焊料、粘接剂等接合光元件1，在基板4上用焊料、粘接剂等固定子底座。对光元件1连接驱动电路、调制电路等，产生根据来自外部的数字信号被高速调制的光脉冲。透镜2将从各光元件1输出的激光变换为平行光。变为平行光的各激光入射到光合波器3。光合波器3具备：基底(substrate)31，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜33，设置于第一主面；以及光学滤光器32，设置于第二主面，使用光学粘接剂将反射镜33以及光学滤光器32接合到基底31。光学滤光器32构成为仅使波长与对应的光元件1输出的激光的中心波长一致的光通过、使其以外的波长的光反本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光合波器的制造装置，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造装置具备：工件设置部，用于进行光合波器的装配作业；光束照射式角度测定部，向所述工件设置部的基准面照射光束，测量在该基准面反射的光束的反射方向来测定该基准面的角度θa，向该反射镜照射光束，测量在该反射镜反射的光束的反射方向来测定该反射镜的角度θb，向所述基底的第二主面照射光束，测量在该第二主面反射的光束的反射方向来测定该第二主面的角度θc，向所述光学滤光器照射光束，测量在所述光学滤光器反射的光束的反射方向来测定所述光学滤光器的角度θd；角度调整部，调整所述反射镜的角度以使角度θb与角度θa一致，调整所述光学滤光器的角度以使角度θc与角度θd一致；以及部件固定部，将所述反射镜及所述光学滤光器固定到所述基底。

【技术特征摘要】
2015.03.05 JP 2015-0437271.一种光合波器的制造装置，所述光合波器具备：基底，具有相互平行的第一主面及第二主面；反射镜，设置于第一主面；以及光学滤光器，设置于第二主面，其特征在于，所述制造装置具备：工件设置部，用于进行光合波器的装配作业；光束照射式角度测定部，向所述工件设置部的基准面照射光束，测量在该基准面反射的光束的反射方向来测定该基准面的角度θa，向该反射镜照射光束，测量在该反射镜反射的光束的反射方向来测定该反射镜的角度θb，向所述基底的第二主面照射光束，测量在该第二主面反射的光束的反射方向来...

【专利技术属性】
技术研发人员：小寺秀和，下野真也，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP