高温退火石墨加热器电极和石墨加热器制造技术

本实用新型专利技术公开一种高温退火石墨加热器电极和石墨加热器，该电极包括：导电柱，所述导电柱具有相对的第一端和第二端，所述导电柱沿所述第一端至第二端方向开设有冷却水腔，所述冷却水腔具有位于所述第一端的第一过水口及设于所述导电柱的侧壁上的第二过水口，所述第二过水口靠近所述导电柱的第一端设置；隔水件，所述隔水件从所述第一过水口设于所述冷却水腔内，所述隔水件将所述冷却水腔分隔为相互连通的第一水道和第二水道，所述第一水道与所述第一过水口连通，所述第二水道与所述第二过水口连通。本实用新型专利技术的电极，能改善电极冷却水系统漏水、堵塞等问题。

Graphite Heater Electrode and Graphite Heater for High Temperature Annealing

【技术实现步骤摘要】
高温退火石墨加热器电极和石墨加热器
本技术涉及加热器
，特别涉及一种高温退火石墨加热器电极和石墨加热器。
技术介绍
在太阳能电池高温硒化退火真空设备中，其所需要的工艺温度高达700℃，且易造成腐蚀现像。传统的加热方式是采用石墨加热器进行高温加热，石墨加热器引电的电极材料常用紫铜，而紫铜在真空高温环境下容易腐蚀，铜电极需加水冷结构。传统所采用的水冷结构是在铜电极上打2个冷却水道，2个冷却水道连接呈U形，2个冷却水道的设计易造成加工的铜电极壁厚不一致的情况，然后2个冷却水道需要连接，则需要从铜电极侧面再打孔，使之能成为水流回路，但从电极侧面打孔的地方需补焊一小块紫铜，如此，容易导致漏水和堵塞的现象。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供高温退火石墨加热器电极和石墨加热器，旨在解决电极水结构中途冷却水漏水、堵塞等问题。为了解决上述问题，本技术提供一种高温退火石墨加热器电极，所述电极包括：导电柱，所述导电柱具有相对的第一端和第二端，所述导电柱沿所述第一端至第二端方向开设有冷却水腔，所述冷却水腔具有位于所述第一端的第一过水口及设于所述导电柱的侧壁上的第二过水口，所述第二过水口靠近所述导电柱的第一端设置；隔水件，所述隔水件从所述第一过水口设于所述冷却水腔内，所述隔水件将所述冷却水腔分隔为相互连通的第一水道和第二水道，所述第一水道与所述第一过水口连通，所述第二水道与所述第二过水口连通。优选地，所述冷却水腔内设置有固定所述隔水件的固定件，所述固定件对所述第二水道与所述第一过水口的连通部分进行封闭，所述固定件与所述冷却水腔的内壁之间形成有连通所述第一水道与第一过水口的连通孔。优选地，所述电极还包括：绝缘法兰、陶瓷及铜排；所述导电柱包括沿所述第一端至第二端方向依次连接的接电段、传输段以及转接段，所述传输段上包覆有陶瓷套，所述接电段通过铜螺母连接铜排；所述转接段上设置导电件，所述陶瓷套上套设绝缘法兰。优选地，所述传输段的周壁上设置有防氧化层。优选地，所述防氧化层为聚四氟。优选地，所述陶瓷在与所述绝缘法兰连接的面上设有凸柱，所述绝缘法兰上对应位置设置有与所述凸柱匹配的凹槽，所述陶瓷通过所述凸柱卡入所述绝缘法兰上对应的所述凹槽，以与所述绝缘法兰固定连接。优选地，所述导电件为石墨。优选地，所述导电件包括石墨接头以及石墨堵头，所述石墨接头一端连接宝塔接头，另一端连接石墨堵头；所述石墨堵头夹设在所述陶瓷与所述导电柱之间，所述石墨堵头与所述陶瓷连接面之间安装有垫片，所述石墨堵头与所述陶瓷固定连接。优选地，所述导电柱材质为316不锈钢；所述冷却水腔直径为12mm，深度为130mm，所述隔水件直径为6mm，深度为110mm。本技术还提出一种石墨加热器，包括高温退火石墨加热器电极，高温退火石墨加热器电极的结构参照上述，此处不再赘述。通过在导电柱内部开创一个冷却水腔，同时在冷却水腔内安放一根用于隔离冷却水的隔水件，并将隔水件固定在一个直径小于冷却水腔口直径的挡板上，同时将挡板固定在盲孔孔壁，使得挡板处的冷却水腔口仍然有容冷却水进入的空间，同时在靠近冷却水腔口处位置在开立一个通孔，形成第二个过水孔，达到水路流转顺畅的要求。因为冷却水回路全是在导电柱内部流转，流转途径上也不存在有拐角以及焊接伤口，所有整个冷却水系统不会有冷却水漏水、堵塞等问题。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术高温退火石墨加热器电极的结果示意图。附图编号标注：标号名称标号名称110导电柱120铜排121铜螺母130绝缘法兰140聚四氟151石墨接头152石墨堵口160陶瓷170第一水道171第二水道180隔水件190第一过水口191第二过水口200挡板本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，若本技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，若本技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。本技术提出一种高温退火石墨加热器电极。参照图1，在本实施例中，高温退火石墨加热器电极包括：导电柱110，所述导电柱110具有相对的第一端和第二端，所述导电柱110沿所述第一端至第二端方向开设有冷却水腔，所述冷却水腔具有位于所述第一端的第一过水口190及设于所述导电柱110的侧壁上的第二过水口191，所述第二过水口191靠近所述导电柱110的第一端设置；隔水件180，所述隔水件180从所述第一过水口190设于所述冷却水腔内，所述隔水件180将所述冷却水腔分隔为相互连通的第一水道170和第二水道171，所述第一水道170与所述第一过水口190连通，所述第二水道171与所述第二过水口191连通。电极制造时，先选取一根耐腐蚀以及高温的不锈钢作为电极导电柱110本体，然后通过钻孔等工艺在电极导电柱110本体底端上转一个孔口直径小于电极本体的盲孔作为冷却水腔，并且对盲孔孔口做扩孔处理，使得盲孔孔口直径明显大于盲孔内直径。同时在导电柱110本体侧面设置上一个通孔，使得通孔与盲孔流通而形成冷却水的一个过水孔191。然后取规格小于盲孔尺寸的一段的用于隔水的钢管焊接到一个直径小于盲孔孔口直径挡板上，焊接地点一般选在挡板中心处，接着将钢管伸入盲孔内并将挡板焊接固定在盲孔内。此挡板只要可以使得隔水钢管固定在冷却水腔内即可。由于挡板直径小于盲孔直径，所以盲孔孔口仍会允许水进入而当成另一个冷却水水出入口190，两个冷却水出入口，刚好可以满足整个冷却水回路正常流通的要求。冷却水经盲孔孔口流入，在盲孔内流转，最后从通孔处流出。因为水流流通时，可从盲孔与钢管之间的间隙中流动，可容流动的横截面积大，同时水路行程不存在小角度的拐角，不存在水流流转不顺畅、堵塞等问题，同时水流回路都是在盲孔内进行，流通途径不存在焊接口，则使得漏水也得到了改善。基于上述实施例，所述冷却水腔内进一步设置有固定所述隔水件180的固定件200，所述固定件对所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温退火石墨加热器电极，其特征在于，所述电极包括：导电柱，所述导电柱具有相对的第一端和第二端，所述导电柱沿所述第一端至第二端方向开设有冷却水腔，所述冷却水腔具有位于所述第一端的第一过水口及设于所述导电柱的侧壁上的第二过水口，所述第二过水口靠近所述导电柱的第一端设置；隔水件，所述隔水件从所述第一过水口设于所述冷却水腔内，所述隔水件将所述冷却水腔分隔为相互连通的第一水道和第二水道，所述第一水道与所述第一过水口连通，所述第二水道与所述第二过水口连通。

【技术特征摘要】
1.一种高温退火石墨加热器电极，其特征在于，所述电极包括：导电柱，所述导电柱具有相对的第一端和第二端，所述导电柱沿所述第一端至第二端方向开设有冷却水腔，所述冷却水腔具有位于所述第一端的第一过水口及设于所述导电柱的侧壁上的第二过水口，所述第二过水口靠近所述导电柱的第一端设置；隔水件，所述隔水件从所述第一过水口设于所述冷却水腔内，所述隔水件将所述冷却水腔分隔为相互连通的第一水道和第二水道，所述第一水道与所述第一过水口连通，所述第二水道与所述第二过水口连通。2.根据权利要求1所述高温退火石墨加热器电极，其特征在于，所述冷却水腔内设置有固定所述隔水件的固定件，所述固定件对所述第二水道与所述第一过水口的连通部分进行封闭，所述固定件与所述冷却水腔的内壁之间形成有连通所述第一水道与第一过水口的连通孔。3.根据权利要求1所述高温退火石墨加热器电极，其特征在于，所述电极还包括：绝缘法兰、陶瓷及铜排；所述导电柱包括沿所述第一端至第二端方向依次连接的接电段、传输段以及转接段，所述传输段上包覆有陶瓷套，所述接电段通过铜螺母连接铜排；所述转接段上设置导电件，所述陶瓷套上套设绝缘法兰。4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：金小桃，高文波，
申请(专利权)人：广东生波尔光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44