【技术实现步骤摘要】
一种金属氮化物合成设备
本专利技术涉及氮化物制备领域，进一步涉及一种金属氮化物合成设备。
技术介绍
现有技术中，用于金属氮化物的合成设备，通常采用真空电阻炉，根据炉型的不同将发热体布置于炉墙倒壁(即侧加热炉)或炉膛上部(即上加热炉)。合成工艺是将合成原料(颗粒料、粉末料、预成形块料)放入炉内，关闭炉门，抽真空后补加氮气，送电升温再送氮合成，合成完毕后停电降温并经冷却出炉后，最后进行后续加工。这种设备及对应工艺的缺点是合成周期长、生产效率低，不能利用廉价气体能源。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种金属氮化物合成设备，以至少部分解决上述的技术问题。(二)技术方案为实现上述目的，本专利技术提供一种金属氮化物合成设备，其中包括：坩埚，其内部配置为进行金属氮化物合成，包括椭球形的底部，空心圆柱直段和法兰盘，三者之间通过焊接连接；上盖，该上盖和坩埚法兰盘通过螺栓联接，所述上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔；炉壳，包裹所述坩埚，坩埚与炉壳之间存在一间隔空间，所述炉壳的内壁上设置有保温层和耐火层，保温层位于炉壳内壁和耐火层之间。在进一步的实施方...
【技术保护点】
1.一种金属氮化物合成设备，其中包括：坩埚，其内部配置为进行金属氮化物合成，包括椭球形的底部，空心圆柱直段和法兰盘，三者之间通过焊接连接；上盖，该上盖和坩埚法兰盘通过螺栓联接，所述上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔；炉壳，包裹所述坩埚，坩埚与炉壳之间存在一间隔空间，所述炉壳的内壁上设置有保温层和耐火层，保温层位于炉壳内壁和耐火层之间。
【技术特征摘要】
1.一种金属氮化物合成设备，其中包括：坩埚，其内部配置为进行金属氮化物合成，包括椭球形的底部，空心圆柱直段和法兰盘，三者之间通过焊接连接；上盖，该上盖和坩埚法兰盘通过螺栓联接，所述上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔；炉壳，包裹所述坩埚，坩埚与炉壳之间存在一间隔空间，所述炉壳的内壁上设置有保温层和耐火层，保温层位于炉壳内壁和耐火层之间。2.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述上盖上部设有起吊环，用于向起吊环施加力后打开所述上盖。3.根据权利要求1所述的金属氮化物合成设备，其中，所述上盖上还设有加强筋...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜文贵，秦军，
申请(专利权)人：宁夏秦氏新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：宁夏,64
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