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一种金属氮化物合成设备,其中包括:坩埚,其内部配置为进行金属氮化物合成,包括椭球形的底部,空心圆柱直段和法兰盘,三者之间通过焊接连接;上盖,该上盖和坩埚法兰盘通过螺栓联接,所述上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔;炉壳,包裹所述坩埚,坩埚与炉壳...
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