【技术实现步骤摘要】
一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台
本专利技术涉及高精密运动平台
，更具体地，涉及一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台。
技术介绍
高速精密运动控制领域，基于机械导轨的运动平台存在摩擦死区，精度只能达到微米级。在更高精度要求的场合，工业上需要采用气浮、磁悬浮和静压导轨等方式来降低甚至消除摩擦的影响，成本高，使用环境要求高，不适应用于量大面广的电子制造场合。刚柔耦合运动平台巧妙地结合了直线平台运动范围大和柔性铰链弹性变形克服摩擦死区等优点，从而实现精密运动。单测平台测量安装在核心运动平台上，摩擦力与弹性变形完全当作扰动来处理，刚性支撑平台对平台定位精度和响应速度影响较大。
技术实现思路
本专利技术为克服上述现有技术所述的至少一种缺陷，提供一种双测量的刚柔耦合运动平台，在核心运动平台和刚性支撑平台上分别安装位移测量元件，两个元件使用同一套光栅尺，构成单驱动双反馈刚柔耦合运动平台；双反馈平台通过两个传感器，可以判断柔性铰链的变形状态，从而调整驱动，减少高速运动过程中的振动。另外，可以判断运动是刚体运动为主还是弹性振动为主，可以切换控制模型，从而实现高速精密运动。本专利技...
【技术保护点】
1.一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述刚柔耦合运动平台包括：核心运动平台、刚性支撑平台、柔性铰链组和测量系统；所述核心运动平台和所述刚性支撑平台通过所述柔性铰链组连接；所述测量系统用于测量所述核心运动平台和所述刚性支撑平台之间的相对位移。
【技术特征摘要】
1.一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述刚柔耦合运动平台包括：核心运动平台、刚性支撑平台、柔性铰链组和测量系统；所述核心运动平台和所述刚性支撑平台通过所述柔性铰链组连接；所述测量系统用于测量所述核心运动平台和所述刚性支撑平台之间的相对位移。2.根据权利要求1所述的一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述测量系统包括：连接板、相对位移检测元件和光栅尺；所述连接板的一端固定在所述刚性支撑平台上，所述连接板的另一端固定在所述核心运动平台上；所述光栅尺通过所述连接板安装在所述核心运动平台上；所述相对位移检测元件通过所述连接板安装在所述刚性支撑平台上。3.根据权利要求2所述的一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述刚柔耦合运动平台还包括位移测量元件，所述位移测量元件安装在所述核心运动平台上，用于读取所述核心运动平台的位移。4.根据权利要求1所述的一种双测量的单驱动刚柔耦合运动平台，其特征在于，所述测量系统包括：第一位移检测元件和第二位移检测元件；所述第一位移检测元件安装在所述核心运动平台上，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李艳龙，杨志军，李乾，陈新，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44
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