【技术实现步骤摘要】
一种法向二自由度微动平台
本专利技术涉及一种精密微动平台,尤其是一种在法向二自由度调整的、薄片驱动器的紧凑型微动平台。
技术介绍
精密微动平台在微电子工程,光学精密工程,高精度制造系统,纳米科学与技术等领域有着重要应用。压电微动平台因其精度高、无摩擦、控制方法简单和结构紧凑等优点。目前现有技术中的微动平台基本结构主要由静平台,动平台,柔性铰链,压电驱动器四部分组成。传统的平台法向(Z向)一般采用压电堆栈,体积比较的大的缺点。
技术实现思路
本专利技术目的是:提供了一种可以双向运动控制,结构紧凑的,实现法向转动和平移的二自由度微动平台。本专利技术的技术方案是:一种法向二自由度微动平台,包括静平台,动平台,柔性铰链,压电薄片驱动器A和压电薄片驱动器B;所述静平台和动平台之间设置有柔性铰链;所述柔性铰链为薄壁式三爪柔性铰链,支撑在动平台下端面;在所述柔性铰链的三爪的侧面上均设置有压电薄片驱动器A;所述压电薄片驱动器A为法向转动自由度驱动器,驱动薄壁式三爪柔性铰链的薄壁结构沿法向转动;在所述柔性铰链的三爪的底面上均设置有压电薄片驱动器B;所述压电薄片驱动器B为法向平动自由度驱动器,驱动薄壁式三爪柔性铰链的薄壁结构沿法向平动。优选的,所述压电薄片驱动器A和压电薄片驱动器B为具有伸缩特性的材料。优选的,所述柔性铰链下部设置有支撑柔性铰链;所述支撑柔性铰链为薄壁式三爪柔性铰链,支撑在静平台上端面。优选的,在柔性铰链和支撑柔性铰链之间设置有柔性铰链连接柱。本专利技术的优点是:1.设计结构紧凑,体积较小;2.采用压电片驱动,具有双向运动控制能力;3.实现法向二自由度的转动和平移 ...
【技术保护点】
1.一种法向二自由度微动平台,其特征在于:包括静平台,动平台,柔性铰链,压电薄片驱动器A和压电薄片驱动器B;所述静平台和动平台之间设置有柔性铰链;所述柔性铰链为薄壁式三爪柔性铰链,支撑在动平台下端面;在所述柔性铰链的三爪的侧面上均设置有压电薄片驱动器A;所述压电薄片驱动器A为法向转动自由度驱动器,驱动薄壁式三爪柔性铰链的薄壁结构沿法向转动;在所述柔性铰链的三爪的底面上均设置有压电薄片驱动器B;所述压电薄片驱动器B为法向平动自由度驱动器,驱动薄壁式三爪柔性铰链的薄壁结构沿法向平动。
【技术特征摘要】
1.一种法向二自由度微动平台,其特征在于:包括静平台,动平台,柔性铰链,压电薄片驱动器A和压电薄片驱动器B;所述静平台和动平台之间设置有柔性铰链;所述柔性铰链为薄壁式三爪柔性铰链,支撑在动平台下端面;在所述柔性铰链的三爪的侧面上均设置有压电薄片驱动器A;所述压电薄片驱动器A为法向转动自由度驱动器,驱动薄壁式三爪柔性铰链的薄壁结构沿法向转动;在所述柔性铰链的三爪的底面上均设置有压电薄片驱动器B;所述压电薄片驱动器B为法向平动自由度驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈敏,王忆如,张顺琦,吴斌,朱林,
申请(专利权)人:西交利物浦大学,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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