【技术实现步骤摘要】
探针卡自动清针方法及其系统
一种探针卡自动清针方法及其系统，尤指一种能够自动清除探针的沾黏物的方法及其系统。
技术介绍
集成电路、薄膜晶体管基板(TFT基板)、液晶显示面板、液晶显示用基板于其制程中需要进行电气检查，以确认电路是否为电性是否正常。现有的电气检查利用探针卡的探针接触集成电路、薄膜晶体管基板(TFT基板)、液晶显示面板、液晶显示用基板所欲测试位置的电性是否正常或有问题，其为业界通称的电气检查。电气检查是通过探针接触待测物后再进行电性检测，但是，探针卡的探针经过一段时间使用后，可能会因为静电吸附异物或异物沾黏，而导致探针的短路或绝缘，因此如何去除位于探针的异物就有可讨论的空间。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术主要目的在于，提出一种探针卡自动清针方法及其系统，其能够自动清除探针的沾黏物，以维持探针的导电性正常。为达上述目的，本专利技术所提出的一种探针卡自动清针方法，其步骤包括：按压清洁模块，至少一探针卡的探针按压一清洁模块，以去除该探针的沾黏物；以及负压吸附沾黏物，提供一负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物。于一实施例，更具有一判断是否导电性正常的步骤...
【技术保护点】
1.一种探针卡自动清针方法，其步骤包括：按压清洁模块，至少一探针卡的探针按压一清洁模块，以去除该探针的沾黏物；以及负压吸附沾黏物，提供一负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物。
【技术特征摘要】
1.一种探针卡自动清针方法，其步骤包括：按压清洁模块，至少一探针卡的探针按压一清洁模块，以去除该探针的沾黏物；以及负压吸附沾黏物，提供一负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物。2.如权利要求1所述的探针卡自动清针方法，其更具有一检测电性的步骤，该探针卡移动至一导电模块，该探针接触该导电模块，以侦测该探针的导电性。3.如权利要求2所述的探针卡自动清针方法，其更具有一判断是否导电性正常的步骤，若为否，该探针仍具有沾黏物，而使该探针短路、绝缘或其电性未达预计的设定值，故回至该按压清洁模块的步骤；若为是，该探针已完成清洁，则该探针卡完成清针动作。4.如权利要求3所述的探针卡自动清针方法，其中于该判断是否导电性正常的步骤中，若重复多次该按压清洁模块与该负压吸附沾黏物的步骤，该探针仍未达到正常导电性时，一机台产生一警示通知，该重复多次为一设定值。5.如权利要求2所述的探针卡自动清针方法，其更具有一启动清针的步骤，该...
【专利技术属性】
技术研发人员：李茂衫，吴松霖，吴振文，
申请(专利权)人：均豪精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71
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