用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置制造方法及图纸

为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，保证较高的装调精度，本实用新型专利技术提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组；光学平台置于激光器上方；转台位于光学平台上方；第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上，中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架，第一五棱镜调节架固定设置在转台上；装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架，第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上；参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架，第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。

Light Source Device for Vertical Assembly and Adjustment System of X-ray Focusing Mirror

【技术实现步骤摘要】
用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置
本技术涉及X射线光学领域，具体涉及一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。
技术介绍
X射线聚焦镜是一种基于X射线掠入射原理，采用多层嵌套式结构对X射线光子进行聚焦并探测的一种光学器件，其超薄、超光滑镜片的精密装调一直是X射线聚焦镜制造领域的瓶颈。X射线垂直装调系统因能有效减少这种超薄、超光滑镜片在装调过程中变形，减少聚焦镜角分辨率与有效面积损失而受到重视。近年，从X射线聚焦镜总体发展趋势来看，大口径、多层数已经成为X射线聚焦镜下一阶段的主要发展方向，随之而来的难题是光源问题，在垂直装调系统中，口径的聚焦镜则需要的平行光源，但因平行光管只能水平放置，所以需要用大口径的平面反射镜将水平平行光转换成垂直平行光。但是，因制造成本高、制造周期长等特点，大口径平行光管与大口径平面反射镜已成为聚焦镜垂直装调系统最大的限制因素之一。
技术实现思路
为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，并保证较高的装调精度，本技术提出了一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。本技术的技术方案是：一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组；所述激光器固定于激光器调节架上，其出射光垂直向上；所述光学平台置于激光器上方，且光学平台上设有中间开孔；所述转台位于光学平台上方，且设置有通光孔；所述第一位移调节架、第二位移调节架均固定设置在转台上，所述中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架上，所述第一五棱镜调节架固定设置在转台上；所述装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架，所述装调五棱镜设置在第二五棱镜调节架上，所述第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上；所述参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架，所述参考五棱镜设置在第三五棱镜调节架上，所述第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上；所述激光器的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两束水平光，其中一束水平光入射至装调五棱镜转换为垂直光，另一束水平光入射至参考五棱镜转换为垂直光。进一步地，所述中心五棱镜包括由上至下依次设置的第一补偿镜、第一五棱镜、第二补偿镜、第二五棱镜，所述第一五棱镜和第二五棱镜的入射面平行设置，所述第一补偿镜、第一五棱镜的胶合面上镀有第一分光膜，所述第二补偿镜、第二五棱镜胶合面上镀有第二分光膜。进一步地，所述第一分光膜和第二分光膜的材料具体为银Ag。进一步地，所述光学平台中间开孔和激光器位置关系为同心，通光孔与激光器位置关系也为同心。进一步地，所述激光器调节架固定于标准面包板上。进一步地，第一位移调节架、第二位移调节架关于中心五棱镜组对称设置。本技术与现有技术相比，具有以下技术效果：1.本技术提供的用于X射线聚焦镜垂直装调系统光源装置基于五棱镜入射光与出射光垂直的特性，采用激光器为点光源，五棱镜为光束转折器，将入射光转换成两束垂直光，分别为聚焦镜参考镜和聚焦镜装调镜提供入射光源，再通过旋转扫描的方式对聚焦镜整个镜面完成照射，从而避免采用大口径平行光管与大口径平面反射镜产生的制造成本高、制造周期长等问题。2.本技术光源装置为满足不同口径的X射线聚焦镜装调，采用位移调节架对装调五棱镜和参考五棱镜的径向位置进行调节。3.本技术采用的五棱镜方案，利用五棱镜的光路折转性能，光源出射角度不随五棱镜姿态改变而发生改变，从而在转台转动过程中可保证较高的光源精度。4.本技术棱镜调节架具有实时调节五棱镜姿态功能，可保证五棱镜在不同工况下的姿态调节，从而满足聚焦镜的装调需求。附图说明图1本技术用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置结构图；图2本技术用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置俯视图；图3本技术用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光路原理图；图4本技术中心五棱镜与补偿镜胶合方案图；图5本技术装调五棱镜组与第一位移调节架连接示意图；图6本技术中心五棱镜组结构示意图；图7本技术装调五棱镜组结构示意图；图8本技术参考五棱镜组结构示意图。附图标记，1-激光器，2-激光器调节架，3-光学平台，4-转台，5-第一位移调节架，6-中心五棱镜组，7-装调五棱镜组，8-参考五棱镜组，10-第二位移调节架，11-标准面包板，41-第二分光膜，42-第一分光膜，61-第二补偿镜，62-第二五棱镜，63-第一补偿镜，64-第一五棱镜，65-第一五棱镜调节架，71-装调五棱镜，72-第二五棱镜调节架，81-参考五棱镜，82-第三五棱镜调节架。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术的内容作进一步详细描述。为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，并保证较高的装调精度，本技术提出了一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。如图1至图3所示的用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，包括激光器1、激光器调节架2、光学平台3、转台4、第一位移调节架5、第二位移调节架10、中心五棱镜组6、装调五棱镜组7和参考五棱镜组8；激光器1固定于激光器调节架2上，激光器调节架2固定于标准面包板11上，其出射光垂直向上。光学平台3置于激光器1上方，并在光学平台3上设有中间开孔以便于转台4旋转和通光，中间开孔与激光器1的位置关系为同心；转台4位于光学平台3上方(型号可采用ADR360-A150)，转台4中间留有通光孔，通光孔与激光器11位置关系也为同心。第一位移调节架5、第二位移调节架10均通过螺钉固定设置在转台4上，且关于中心五棱镜组6对称设置。激光器1的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两束水平光，其中一束水平光入射至装调五棱镜71转换为垂直光，另一束水平光入射至参考五棱镜81转换为垂直光。如图4、图6所示，中心五棱镜组6位于转台4上方，包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架65，中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架65上，第一五棱镜调节架65通过螺钉固定设置在转台4上，并使五棱镜组处于其他部件的中心位置。中心五棱镜包括由上至下依次设置的第一补偿镜63、第一五棱镜64、第二补偿镜61、第二五棱镜62，第一五棱镜64和第二五棱镜62的入射面平行设置，第一补偿镜63、第一五棱镜64的胶合面上镀有第一分光膜42，第二补偿镜61、第二五棱镜62胶合面上镀有第二分光膜41，分光膜材料具体为银Ag，从而将一束入射光转换为两束出射光。如图5、图7所示，装调五棱镜组7包括装调五棱镜71和第二五棱镜调节架72，装调五棱镜71设置在第二五棱镜调节架72上，第二五棱镜调节架72设置在第一位移调节架5上；装调五棱镜71可通过第一位移调节架5装调五棱镜71与转台4圆心的距离，从而满足不同口径X射线聚焦镜的装调需求。如图8所示，参考五棱镜组8包括参考五棱镜81和第三五棱镜调节架82，参考五棱镜81设置在第三五棱镜调节架82上，第三五棱镜调节架82设置在第二位移调节架10上。第一五棱镜调节架65、第二五棱镜调节架72和第三五棱镜调节架82均具有六维调节功能，可满足不同姿态的调节需求。六维调节包括三个方向的线性位移调节和三个方向的角度调节，由TASB本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器调节架(2)、光学平台(3)、转台(4)、第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)、中心五棱镜组(6)、装调五棱镜组(7)和参考五棱镜组(8)；所述激光器(1)固定于激光器调节架(2)上，其出射光垂直向上；所述光学平台(3)置于激光器(1)上方，且光学平台(3)上设有中间开孔；所述转台(4)位于光学平台(3)上方，且设置有通光孔；所述第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)均固定设置在转台(4)上；所述中心五棱镜组(6)包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架(65)，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架(65)上，所述第一五棱镜调节架(65)固定设置在转台(4)上；所述装调五棱镜组(7)包括装调五棱镜(71)和第二五棱镜调节架(72)，所述装调五棱镜(71)设置在第二五棱镜调节架(72)上，所述第二五棱镜调节架(72)设置在第一位移调节架(5)上；所述参考五棱镜组(8)包括参考五棱镜(81)和第三五棱镜调节架(82)，所述参考五棱镜(81)设置在第三五棱镜调节架(82)上，所述第三五棱镜调节架(82)设置在第二位移调节架(10)上；所述激光器(1)的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两束水平光，其中一束水平光入射至装调五棱镜(71)转换为垂直光，另一束水平光入射至参考五棱镜(81)转换为垂直光。...

【技术特征摘要】
1.一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器调节架(2)、光学平台(3)、转台(4)、第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)、中心五棱镜组(6)、装调五棱镜组(7)和参考五棱镜组(8)；所述激光器(1)固定于激光器调节架(2)上，其出射光垂直向上；所述光学平台(3)置于激光器(1)上方，且光学平台(3)上设有中间开孔；所述转台(4)位于光学平台(3)上方，且设置有通光孔；所述第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)均固定设置在转台(4)上；所述中心五棱镜组(6)包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架(65)，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架(65)上，所述第一五棱镜调节架(65)固定设置在转台(4)上；所述装调五棱镜组(7)包括装调五棱镜(71)和第二五棱镜调节架(72)，所述装调五棱镜(71)设置在第二五棱镜调节架(72)上，所述第二五棱镜调节架(72)设置在第一位移调节架(5)上；所述参考五棱镜组(8)包括参考五棱镜(81)和第三五棱镜调节架(82)，所述参考五棱镜(81)设置在第三五棱镜调节架(82)上，所述第三五棱镜调节架(82)设置在第二位移调节架(10)上；所述激光器(1)的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两...

【专利技术属性】
技术研发人员：强鹏飞，盛立志，闫永清，李林森，刘哲，周晓红，刘永安，赵宝升，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：陕西,61