下载用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置的技术资料

文档序号:22166640

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为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求,保证较高的装调精度,本实用新型提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组;...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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