一种测量Fano共振传感器检测极限的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测量Fano共振传感器检测极限的装置及方法，装置包括激光器、准直物镜、偏振器、传感器、检偏器、聚焦物镜和光谱仪，所述传感器包括耦合棱镜、Au膜、Cytop膜、TiO2膜和传感介质。相对于其它的偏振测量装置，本实用新型专利技术采用表面等离子体极化模式，以及在多层介质中形成的平面波导模式耦合产生Fano共振，进一步提升等离子体传感器的检测极限；用一个偏振器代替原来两个偏振器，结构更为简单，更重要的是，采用一种测量Fano共振传感器的方法分析反射光的偏振作用，用偏振函数取代传统的反射光强度检测，Fano共振传感器的检测极限有了显著地提高。

A Device for Measuring the Detection Limit of Fano Resonance Sensor

【技术实现步骤摘要】
一种测量Fano共振传感器检测极限的装置
本技术涉及光学领域，具体涉及一种测量Fano共振传感器检测极限的装置。
技术介绍
表面等离子体共振(SurfacePlasmaResonance，简写为SPR)是一种光学物理现象，当入射光的平行波矢量与表面等离子体的传播常数相匹配时，金属表面的自由电子能共振和吸收光能，从而导致反射光线的急剧衰减。SPR传感技术具有基于方便检测、灵敏度高和实时的优点，被广泛应用于化学和生物分子检测。然而金属引起的插入损耗，导致SPR传感器的共振峰过宽，因此限制了SPR传感器的检测精度。在金属介质界面上产生的表面等离子体极化(SPP)模式，以及在介质多层中形成的平面波导模式(PWG)，通过衰减场的相互叠加作用可以产生Fano共振。基于Fano共振的传感器同样可以通过监测反射曲线的变化或共振的位置测量传感介质的折射率变化，以检测化学和生物分子的变化。相比于传统的SPR传感器，基于Fano共振的传感器拥有更加尖锐的共振峰，从而获得更高的精确度和更低的检测极限。但是由于微型和低成本光谱仪的可用性，大多基于Fano共振的传感器主要集中在强度检测上。然而，相位检测相比于强本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量Fano共振传感器检测极限的装置，其特征在于：所述测量Fano共振传感器检测极限的装置沿光传播方向上依次包括：激光器、准直物镜、偏振器、传感器、检偏器、聚焦物镜和光谱仪，所述传感器从下到上依次包括耦合棱镜、Au膜、Cytop膜、TiO2膜和传感介质；所述激光器输出激光经所述准直物镜后输出平行光，所述平行光通过所述偏振器后得到椭圆偏振光，所述椭圆偏振光照射到所述传感器的所述耦合棱镜上，透过耦合棱镜入射面进入所述Au膜反射面并被反射，经耦合棱镜出射面后出射，由所述椭圆偏振光的p偏振与s偏振分量在所述传感器里产生相位差，同时在所述耦合棱镜和Au膜上激发表面等离子体共振模式，在所述Cyto...

【技术特征摘要】
1.一种测量Fano共振传感器检测极限的装置，其特征在于：所述测量Fano共振传感器检测极限的装置沿光传播方向上依次包括：激光器、准直物镜、偏振器、传感器、检偏器、聚焦物镜和光谱仪，所述传感器从下到上依次包括耦合棱镜、Au膜、Cytop膜、TiO2膜和传感介质；所述激光器输出激光经所述准直物镜后输出平行光，所述平行光通过所述偏振器后得到椭圆偏振光，所述椭圆偏振光照射到所述传感器的所述耦合棱镜上，透过耦合棱镜入射面进入所述Au膜反射面并被反射，经耦合棱镜出射面后出射，由所述椭圆偏振光的p偏振与s偏振分量在所述传感器里产生相位差，同时在所述耦合棱镜和Au膜上激发表面等离子体共振模式，在所述Cytop膜、TiO...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄田野，赵翔，
申请(专利权)人：中国地质大学武汉，
类型：新型
国别省市：湖北,42