晶圆片的光谱测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体、控制装置、旋钮、显示器、传感器、底座和电池，所述装置本体的底部设有底座，所述装置本体的上部前方位置设有伸缩按钮，所述伸缩按钮的中部位置设有固定架，所述固定架的上部设有旋钮，所述装置本体上部右侧位置设有显示器，所述底座的内部组从俄位置设有控制装置，所述控制装置的上部设有传输管，所述传输管的上部设有光源发射装置，所述光源发射装置的左侧上下位置设有扩光板，所述控制装置的上部右侧位置设有伸缩杆，所述装置本体右侧底部设有外接电源。该晶圆片的光谱测试装置，通过装置本体上的传感器及光源发射装置，方便了装置对晶圆片进行点阵测量，提高了测量数据的可靠性。

A Spectrum Testing Device for Wafers

【技术实现步骤摘要】
晶圆片的光谱测试装置
本技术涉及晶圆片测量
，具体为晶圆片的光谱测试装置。
技术介绍
晶圆片是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%。现有的晶圆片在加工出厂前需要对晶圆片进行光谱测试，需要使用专用的测试装置，但现有的测试装置内部采用的发光装置为单点式发光，不能够有效的对晶圆片进行稳定的数据测量，导致测量出的数据不具有可靠性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供晶圆片的光谱测试装置，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体、控制装置、传输管、光源发射装置、伸缩杆、伸缩按钮、扩光板、固定架、电极测试端子、旋钮、显示器、传感器、外接电源、底座和电池，所述装置本体的底部设有底座，所述装置本体的上部前方位置设有伸缩按钮，所述伸缩按钮的中部位置设有固定架，所述固定架的上部设有旋钮，所述装置本体上部右侧位置设有显示器，所述底座的内部左侧位置设有控制装置，所述控制装置的上部设有传输管，所述传输管的上部设有光源发射装置，所述光源发射装置的左侧上下位置设有扩光板，所述控制装置的上部右侧位置设有伸缩杆，所述装置本体右侧底部设有外接电源。作为本技术的一种优选实施方式，所述伸缩杆的上部与固定架的中部空隙位置对应。作为本技术的一种优选实施方式，所述固定架的中间位置设有电极测试端子。作为本技术的一种优选实施方式，所述装置本体内部右侧中间位置设有传感器，所述传感器为光电传感器。作为本技术的一种优选实施方式，所述外接电源与装置本体内部的电池相连接，所述电池的种类为蓄电池。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：该晶圆片的光谱测试装置，通过装置本体上的传感器及光源发射装置，方便了装置对晶圆片进行点阵测量，提高了测量数据的可靠性。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术晶圆片的光谱测试装置的内部结构示意图；图2为本技术晶圆片的光谱测试装置的整体结构示意图；图中:装置本体-1、控制装置-2、传输管-3、光源发射装置-4、伸缩杆-5、伸缩按钮-6、扩光板-7、固定架-8、电极测试端子-9、旋钮-10、显示器-11、传感器-12、外接电源-13、底座-14、电池-15。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体1、控制装置2、传输管3、光源发射装置4、伸缩杆5、伸缩按钮6、扩光板7、固定架8、电极测试端子9、旋钮10、显示器11、传感器12、外接电源13、底座14和电池15，所述装置本体1的底部设有底座14，所述装置本体1的上部前方位置设有伸缩按钮6，所述伸缩按钮6的中部位置设有固定架8，所述固定架8的上部设有旋钮10，所述装置本体1上部右侧位置设有显示器11，所述底座14的内部左侧位置设有控制装置2，所述控制装置2的上部设有传输管3，所述传输管3的上部设有光源发射装置4，所述光源发射装置4的左侧上下位置设有扩光板7，所述控制装置2的上部右侧位置设有伸缩杆5，所述装置本体1右侧底部设有外接电源13。请参阅图1，所述伸缩杆5的上部与固定架8的中部空隙位置对应，方便了晶圆片的安装，从而方便了装置本体1的使用。请参阅图1，所述固定架8的中间位置设有电极测试端子9，提高了电极测试端子9对晶圆片的测试性能，方便了对电极测试端子9的维修更换。请参阅图1，所述装置本体1内部右侧中间位置设有传感器12，所述传感器12为光电传感器，能够有效的对光源发射装置4发出的光进行数据转换处理，提高了测量数据的可靠性。请参阅图1，所述外接电源13与装置本体1内部的电池15相连接，所述电池15的种类为蓄电池，方便了装置本体1的携带，从而提高了装置本体1的适用范围。本技术所述的晶圆片的光谱测试装置，使用者在对该装置进行使用时，将需要测试的晶圆片通过固定架8放置在装置本体1内部的伸缩杆5上，通过电池15带动控制装置2从而控制装置本体1，光源发射装置4发射出光通过扩光板7将光源平行发射出去后通过晶圆片发射到传感器12上，从而将传感器12接收到的信息转化成数据发送到显示器11上，通过固定架8内部中间位置设有的电极测试端子9可以对被测量的晶圆片的电压进行测量，通过以上装置的组合，解决了
技术介绍
提出的问题。本技术的装置本体-1、控制装置-2、传输管-3、光源发射装置-4、伸缩杆-5、伸缩按钮-6、扩光板-7、固定架-8、电极测试端子-9、旋钮-10、显示器-11、传感器-12、外接电源-13、底座-14、电池-15，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术解决的问题是仅为现有的装置不能进行点阵式测量，而导致测试后的数据不稳定的问题，本技术通过上述部件的互相组合，通过光源发射装置与传感器的组合，能够发射平行光源，从而对晶圆片的各个部位的数据进行稳定的测量，提高了数据的可靠性，经济实用性较强，节能环保。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点,对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体（1）、控制装置（2）、传输管（3）、光源发射装置（4）、伸缩杆（5）、伸缩按钮（6）、扩光板（7）、固定架（8）、电极测试端子（9）、旋钮（10）、显示器（11）、传感器（12）、外接电源（13）、底座（14）和电池（15），其特征在于：所述装置本体（1）的底部设有底座（14），所述装置本体（1）的上部前方位置设有伸缩按钮（6），所述伸缩按钮（6）的中部位置设有固定架（8），所述固定架（8）的上部设有旋钮（10），所述装置本体（1）上部右侧位置设有显示器（11）；所述底座（14）的内部左侧位置设有控制装置（2），所述控制装置（2）的上部设有传输管（3），所述传输管（3）的上部设有光源发射装置（4），所述光源发射装置（4）的左侧上下位置设有扩光板（7），所述控制装置（2）的上部右侧位置设有伸缩杆（5），所述装置本体（1）右侧底部设有外接电源（13）。

【技术特征摘要】
1.晶圆片的光谱测试装置，其结构包括装置本体（1）、控制装置（2）、传输管（3）、光源发射装置（4）、伸缩杆（5）、伸缩按钮（6）、扩光板（7）、固定架（8）、电极测试端子（9）、旋钮（10）、显示器（11）、传感器（12）、外接电源（13）、底座（14）和电池（15），其特征在于：所述装置本体（1）的底部设有底座（14），所述装置本体（1）的上部前方位置设有伸缩按钮（6），所述伸缩按钮（6）的中部位置设有固定架（8），所述固定架（8）的上部设有旋钮（10），所述装置本体（1）上部右侧位置设有显示器（11）；所述底座（14）的内部左侧位置设有控制装置（2），所述控制装置（2）的上部设有传输管（3），所述传输管（3）的上部设有光源发射装置（4），所述光源...

【专利技术属性】
技术研发人员：张栖源，
申请(专利权)人：江西点亮科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36