【技术实现步骤摘要】
一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置
本技术涉及机械领域,特别是涉及一种能够降低质谱仪上隔膜泵工作震动的减震装置。
技术介绍
真空系统是微型质谱仪最基本的系统,其作用是提供足够的真空度来满足质谱仪的功能,隔膜泵是微型质谱仪获得低真空的重要手段。但现有质谱仪的隔膜泵与质谱仪之间是直接刚性固定,隔膜泵在工作时产生的震动就会直接传递至质谱议处,不仅影响质谱仪工作性能,也会对设备本身的寿命造成影响。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种能够降低质谱仪上隔膜泵工作震动的减震装置。特别地,本技术提供了一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置,包括分别与隔膜泵连接的上安装板和与质谱仪框架连接的下安装板,上安装板和下安装板通过螺栓活动连接且两者之间留有间隔,在上安装板和下安装板之间安装有将两者撑开的弹性件,且所述弹性件的标称负载满足所述隔离泵的重量要求。在本技术的一个实施方式中,所述上安装板为矩形板,所述螺栓有四个且分别连接在所述上安装板的四个边角处。在本技术的一个实施方式中,所述弹性件为螺旋弹簧、叠片弹簧或柔性减震垫。在本技术的一个实施方式中,所述螺旋弹簧套在所述螺栓位于所述上安装板和所述下安装板之间的杆身上,且每个所述螺旋弹簧均摊承受的重量。在本技术的一个实施方式中,在所述螺旋弹簧的两端与所述上安装板和所述下安装板之间分别安装有弹性减震垫。在本技术的一个实施方式中,所述弹性件在标称负载下的频率为所述弹性件的固有频率ω0,与所述隔膜泵实际工作频率ω之间的关系满足ω0≤ω。本技术的减震装置在隔离泵工作时,通过中间的弹性件可将隔离泵工作时产生的震动进行缓冲和消除,防止传递至刚性连接的 ...
【技术保护点】
1.一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置,其特征在于,包括分别与隔膜泵连接的上安装板和与质谱仪框架连接的下安装板,上安装板和下安装板通过螺栓活动连接且两者之间留有间隔,在上安装板和下安装板之间安装有将两者撑开的弹性件,且所述弹性件的标称负载满足所述隔离泵的重量要求。
【技术特征摘要】
1.一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置,其特征在于,包括分别与隔膜泵连接的上安装板和与质谱仪框架连接的下安装板,上安装板和下安装板通过螺栓活动连接且两者之间留有间隔,在上安装板和下安装板之间安装有将两者撑开的弹性件,且所述弹性件的标称负载满足所述隔离泵的重量要求。2.根据权利要求1所述的减震装置,其特征在于,所述上安装板为矩形板,所述螺栓有四个且分别连接在所述上安装板的四个边角处。3.根据权利要求2所述的减震装置,其特征在于,所述弹性件为螺旋...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘洋,蒙伟强,毛乐山,
申请(专利权)人:深圳至汉装备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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