桥式输送车系统以及示教单元技术方案

本发明专利技术提供桥式输送车系统以及示教单元。桥式输送车系统具备：桥式输送车，输送被输送物；以及示教单元，用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教。示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于单元主体部被设置为升降自如，保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。

Bridge Conveyor System and Teaching Unit

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】桥式输送车系统以及示教单元
本专利技术的一个方面涉及桥式输送车系统以及示教单元。
技术介绍
作为现有的桥式输送车系统，已知有具备输送被输送物的桥式输送车、以及用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教的示教单元的系统(例如参照专利文献1)。在这样的桥式输送车系统中，示教单元的凸缘部保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。在示教单元中设置有触摸面板等检测部，该检测部与移载部的定位部件接触而检测定位部件的位置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3479969号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在上述那样的桥式输送车系统中，当在示教时使示教单元的检测部与定位部件接触时，由于通过该接触而施加的冲击载荷等而示教单元上下移动，凸缘部有可能从保持部分离或者偏离等。在该情况下，难以正确地进行示教。因此，本专利技术的一个方面的目的在于提供能够可靠地保持示教单元的凸缘部并正确地进行示教的桥式输送车系统以及示教单元。用于解决课题的手段本专利技术的一个方面所涉及的桥式输送车系统具备：桥式输送车，输送被输送物；以及示教单元，用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教，示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于单元主体部被设置为升降自如，保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。在该桥式输送车系统中，由保持部保持的凸缘部相对于单元主体部被设置为升降自如。因此，当在示教时使示教单元的检测部与定位部件接触时，即便通过该接触而对示教单元施加了冲击载荷，也能够抑制保持部与凸缘部分离或者偏离。因而，能够可靠地保持示教单元的凸缘部，并正确地进行示教。本专利技术的一个方面所涉及的桥式输送车系统也可以具备：动作检测部，在由保持部保持有凸缘部的状态下，对单元主体部相对于保持部的相对性上升动作进行检测；以及识别部，基于动作检测部的检测结果，对示教单元载放于定位部件且定位部件承受示教单元的重量的状态进行识别。根据该构成，在示教时，能够识别出示教单元达到了完全载放于定位部件的状态(所谓的示教水平)。在本专利技术的一个方面所涉及的桥式输送车系统中也可以为，动作检测部具有：被检测部件，升降自如地设置于保持部，与单元主体部接触，并且与该单元主体部的上升连动而相对于保持部相对地上升；以及传感器，检测被检测部件相对于保持部的相对性上升。在该情况下，能够通过简单的构成来识别出示教水平的情况。在本专利技术的一个方面所涉及的桥式输送车系统中也可以为，凸缘部经由可动机构相对于单元主体部被设置为在一定范围内升降自如。在该情况下，能够利用可动机构具体地实现凸缘部相对于单元主体部的升降自如的构成。本专利技术的一个方面所涉及的示教单元为，在具备输送被输送物的桥式输送车的桥式输送车系统中，用于通过桥式输送车向载放被输送物的移载部移载被输送物时的示教，该示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于单元主体部被设置为升降自如，保持于通过桥式输送车的升降部来升降的保持部。在该示教单元中，由通过桥式输送车的升降部来升降的保持部保持的凸缘部，也相对于单元主体部被设置为升降自如。因此，当在示教时使示教单元的检测部与定位部件接触时，即便通过该接触而对示教单元施加了冲击载荷，也能够抑制保持部与凸缘部分离或者偏离。因而，能够可靠地保持示教单元的凸缘部，并正确地进行示教。在本专利技术的一个方面所涉及的示教单元中也可以为，桥式输送车系统具备动作检测部，该动作检测部在由保持部保持有凸缘部的状态下检测单元主体部相对于保持部的相对性上升动作，动作检测部具有：被检测部件，升降自如地设置于保持部，与单元主体部接触，并且与该单元主体部的上升连动而相对于保持部相对地上升；以及传感器，检测被检测部件相对于保持部的相对性上升，在单元主体部上竖立设置有与动作检测部的被检测部件接触的接触部件。根据该构成，通过在示教时使接触部件与动作检测部的被检测部件接触，由此能够通过动作检测部检测单元主体部相对于保持部的相对性上升动作。基于动作检测部的检测结果，能够识别出在示教时示教单元达到了示教水平的情况。专利技术的效果根据本专利技术的一个方面，能够提供能够可靠地保持示教单元的凸缘部并正确地进行示教的桥式输送车系统以及示教单元。附图说明图1是表示一个实施方式所涉及的桥式输送车系统的图。图2是从上方观察图1的示教单元的立体图。图3是表示图1的示教单元的内部的立体图。图4是从下方观察图1的示教单元的立体图。图5(a)是表示在图1的示教单元中凸缘部位于上限位置时的可动机构的立体图。图5(b)是表示在图1的示教单元中凸缘部位于下限位置时的可动机构的立体图。图6(a)是对通常时的示教单元的保持状态进行说明的截面图。图6(b)是对上下移动时的示教单元的保持状态进行说明的截面图。图7是表示图1的示教单元的动作检测部的截面图。图8是表示图1的目标板的立体图。图9(a)是对在图1的桥式输送车系统中实施的示教进行说明的图。图9(b)是表示图9(a)的后续的图。图10(a)是表示图9(b)的后续的图。图10(b)是表示图10(a)的后续的图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行详细说明。在各图中，对于相同或者相当的部分赋予相同的符号，并省略重复的说明。“上”以及“下”的用语分别对应于铅垂方向的上方以及下方。如图1所示，桥式输送车系统1具备行驶轨道2以及桥式输送车10。行驶轨道2例如铺设于制造半导体器件的无尘室内的顶棚附近。桥式输送车10沿着行驶轨道2行驶，例如，将掩模传输盒作为被输送物进行输送，并且在装载口(移载部)3进行被输送物的移载。装载口3例如设置于对半导体晶片实施各种处理的处理装置。以下，将与桥式输送车10的行驶方向平行的方向设为X方向，将与水平面平行且与桥式输送车10的行驶方向垂直的方向设为Y方向，将与铅垂方向平行的方向设为Z方向。桥式输送车10具备行驶部11、横向进给部12、转动部13、升降部14、保持部15以及控制器16。行驶部11从沿着行驶轨道2铺设的高频电流线非接触地接受电力供给，由此沿着行驶轨道2行驶。横向进给部12使转动部13、升降部14以及保持部15沿着Y方向移动。转动部13使升降部14以及保持部15在水平面内转动。升降部14通过放出或者卷取在下端部安装有保持部15的多根带14a，由此使保持部15相对于装载口3升降。保持部15具有一对爪部件15a。保持部15通过使一对爪部件15a开闭来保持被输送物。控制器16对桥式输送车10的各部的动作进行控制。控制器16基于所设定的移载条件对桥式输送车10的动作进行控制，使被输送物向装载口3移载。移载条件是用于将被输送物向装载口3移载的控制参数。例如，移载条件也可以包含将被输送物向装载口3移载时的、保持部15在X方向、Y方向以及Z方向上的各位置、以及保持部15在水平面内的旋转方向上的位置即θ方向位置。此外，例如，移载条件也可以包含将被输送物向装载口3移载时的、行驶部11的X方向位置(行驶部11的驱动量)、转动部13、升降部14以及保持部15的Y方向位置(横向进给部12的驱动量)、升降部14以及保持部15的θ方向位置(转动部13的驱动量)、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种桥式输送车系统，具备：桥式输送车，输送被输送物；以及示教单元，用于通过上述桥式输送车向载放上述被输送物的移载部移载上述被输送物时的示教，上述示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于上述移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于上述单元主体部被设置为升降自如，保持于通过上述桥式输送车的升降部来升降的保持部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.04.06 JP 2017-0762071.一种桥式输送车系统，具备：桥式输送车，输送被输送物；以及示教单元，用于通过上述桥式输送车向载放上述被输送物的移载部移载上述被输送物时的示教，上述示教单元具有：单元主体部，具有通过与设置于上述移载部的定位部件接触来检测该定位部件的位置的检测部；以及凸缘部，相对于上述单元主体部被设置为升降自如，保持于通过上述桥式输送车的升降部来升降的保持部。2.如权利要求1所述的桥式输送车系统，还具备：动作检测部，在由上述保持部保持有上述凸缘部的状态下，检测上述单元主体部相对于上述保持部的相对性上升动作；以及识别部，基于上述动作检测部的检测结果，识别上述示教单元载放于上述定位部件且上述定位部件承受上述示教单元的重量的状态。3.如权利要求2所述的桥式输送车系统，其中，上述动作检测部具有：被检测部件，升降自如地设置于上述保持部，与上述单元主体部接触，并且与该单元主体部的上升连动而相对于上述保持部相对地上升；以及传感器，检测上述被检测部件相对于上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林诚，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP