一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，真空腔体上面敞口，真空腔体的顶端安装橡胶垫圈，有机玻璃盖板安装在真空腔体上，橡胶垫圈设置在真空腔体和有机玻璃盖板之间，真空腔体的右侧壁上安装真空腔体气嘴，阀门安装在真空腔体气嘴上，真空腔体的左侧壁上安装真空度气压表，真空腔体气嘴通过气管与真空泵气嘴连接，真空泵气嘴安装在真空泵上，真空泵上安装开关，真空腔体内部安装加热台，抽真空晶片材料安装在加热台上，加热台通过传感器线缆与温度传感器连接，传感器线缆插入温度传感器插座上，温度传感器插座安装在的控制箱上，其设计科学合理，结构简单，使用方便。

An Efficient Temperature-Controlled Vacuum Exhaust Bubble Device for Composite Wafer Fabrication

【技术实现步骤摘要】
一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置
本技术涉及一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，属于压电复合材料晶片

技术介绍
压电晶片是压电器件的核心材料，尤其是超声换能器、超声驱动器、超声传感器和压电能量收集器的关键材料。压电晶片的性能直接决定了器件的水平。压电材料是通过电脉冲激励振动，从而产生压电效应的一种能量转化材料。压电材料的尺寸效应影响能量转化效率。压电复合材料就是通过将压电材料厚度振动模式变更为高度振动模式，从而将机电耦合效率从50%提高到了75-85%，大大增加了换能器发射和接收能力，避免了能量的损耗。另一方面，由于复合材料中环氧相的增加，导致压电材料声阻抗降低，这就能够很大程度的匹配人体和水，提高超声能量的传播效率，这就使得压电复合材料在医疗和工业无损检测应用中性能相比与传统陶瓷，无论是分辨力还是灵敏度，都有极大的提高。压电材料整个制作过程比较繁琐，尤其是环氧浇铸过程中对小气泡的排出。由于小气泡在环氧中的分布不均匀，大小不一，导致复合材料晶片的一致性同一个晶片也有很大的差异，排出气泡对压电材料的性能一致性非常重要。另一方面，环氧在温度低的环境下容易变得粘稠，也不利于气泡的排出。市面上销售的真空系统，要不然就太大，导致排真空效率低，要不然就不带加热功能，不利于在室内温度低的环境下操作。本专利根据复合材料晶片的尺寸大小，设计了一种小体积并带加热功能的排气泡装置，能够高效率的达到某一真空度，并且还可以控制环境在某一温度范围，保证压电复合材料制作的一致性和稳定性，也能用于其他环氧真空排气泡领域。
技术实现思路
针对上述问题，本技术要解决的技术问题是提供一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，通过小体积的腔体提高了抽真空的效率，缩短了达到某一真空度的时间，提高了排气泡的效率；加入了温度控制系统，能够将腔体内的温度保持在一定的范围，保证每次真空排气泡过程中环氧的粘度，从而解决了复合材料真空排气泡不稳定效率低的问题，提高复合材料晶片生产效率。本技术的一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其结构包括：真空泵、真空腔体、密封圈、有机玻璃盖板、真空度气压表、气管、阀门、加热台控制台，所述的真空腔体是采用铸铁材质铸造而成，真空腔体上面敞口，所述的真空腔体的顶端安装橡胶垫圈，有机玻璃盖板安装在真空腔体上，橡胶垫圈设置在真空腔体和有机玻璃盖板之间，抽真空后有机玻璃盖板会压缩橡胶弹性密封圈，从而起到密封效果，真空腔体的右侧壁上安装真空腔体气嘴，阀门安装在真空腔体气嘴上，真空腔体的左侧壁上安装真空度气压表，所述的真空腔体气嘴通过气管与真空泵气嘴连接，真空泵气嘴安装在真空泵上，真空泵上安装开关，所述的真空腔体内部安装加热台，抽真空晶片材料安装在加热台上，加热台通过传感器线缆与温度传感器连接，传感器线缆插入温度传感器插座上，所述的温度传感器插座安装在的控制箱上，所述的控制箱上设置温度显示屏和实际温度显示屏，温度可以通过温度设置按钮控制，并且装有电源开关。进一步，所述的真空腔体的是腔体直径300mm，高度400mm的小型腔体。进一步，所述的把手通过螺钉安装在有机玻璃盖板上。进一步，所述的有机玻璃盖板是一种用有机玻璃制作而成的透明盖板，可以观察内部气泡排出情况，相比较于常规玻璃，有机玻璃具有韧性不易碎。进一步，所述的气管是一种用橡胶制成的橡胶管，具有很好的弹性。本技术的有益效果为：本技术通过小体积的腔体提高了抽真空的效率，缩短了达到某一真空度的时间，提高了排气泡的效率；加入了温度控制系统，能够将腔体内的温度保持在一定的范围，保证每次真空排气泡过程中环氧的粘度，从而解决了复合材料真空排气泡不稳定效率低的问题，提高复合材料晶片生产效率。附图说明为了易于说明，本技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。图1为本技术的结构示意图。图中：1-1控制箱，1-2设置温度显示屏，1-3设置温度按钮；1-4实际温度显示屏；1-5开关；1-6温度传感器插座；1-7传感器线缆；1-8真空泵；1-9真空泵开关；1-10真空泵气嘴；1-11气管；1-12真空腔体气嘴；1-13阀门；1-14有机玻璃盖板；1-15橡胶密封圈；1-16温度传感器；1-17盖板把手；1-18真空度气压表；1-19真空腔体；1-20抽真空晶片材料；1-21加热台。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本技术。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。如图1所示，一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其结构包括：真空泵1-8、真空腔体1-19、密封圈1-15、有机玻璃盖板1-14、真空度气压表1-18、气管1-11、阀门1-13、加热台控制台1-1，所述的真空腔体1-19是采用铸铁材质铸造而成，真空腔体1-19上面敞口，所述的真空腔体1-19的顶端安装橡胶垫圈1-15，有机玻璃盖板1-14安装在真空腔体1-19上，橡胶垫圈1-15设置在真空腔体1-19和有机玻璃盖板1-14之间，抽真空后有机玻璃盖板会压缩橡胶弹性密封圈1-15，从而起到密封效果，真空腔体1-19的右侧壁上安装真空腔体气嘴1-12，阀门1-13安装在真空腔体气嘴1-12上，真空腔体1-19的左侧壁上安装真空度气压表1-18，所述的真空腔体气嘴1-12通过气管1-11与真空泵气嘴1-10连接，真空泵气嘴安装在真空泵上，真空泵上安装开关1-9，所述的真空腔体1-19内部安装加热台1-21，抽真空晶片材料1-20安装在加热台1-21上，加热台1-21通过传感器线缆1-7与温度传感器1-16连接，传感器线缆1-7插入温度传感器插座1-6上，所述的温度传感器插座1-6安装在的控制箱上，所述的控制箱上设置温度显示屏1-2和实际温度显示屏1-4，温度可以通过温度设置按钮1-3控制，并且装有电源开关1-5。具体地，所述的真空腔体1-19的是腔体直径300mm，高度400mm的小型腔体，所述的把手1-17通过螺钉安装在有机玻璃盖板1-14上，所述的有机玻璃盖板1-14是一种用有机玻璃制作而成的透明盖板，可以观察内部气泡排出情况，相比较于常规玻璃，有机玻璃具有韧性不易碎，所述的气管1-11是一种用橡胶制成的橡胶管，具有很好的弹性。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征、本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其特征在于:结构包括：真空泵、真空腔体、密封圈、有机玻璃盖板、真空度气压表、气管、阀门、加热台控制台，所述的真空腔体是采用铸铁材质铸造而成，真空腔体上面敞口，所述的真空腔体的顶端安装橡胶垫圈，有机玻璃盖板安装在真空腔体上，橡胶垫圈设置在真空腔体和有机玻璃盖板之间，抽真空后有机玻璃盖板会压缩橡胶弹性密封圈，从而起到密封效果，真空腔体的右侧壁上安装真空腔体气嘴，阀门安装在真空腔体气嘴上，真空腔体的左侧壁上安装真空度气压表，所述的真空腔体气嘴通过气管与真空泵气嘴连接，真空泵气嘴安装在真空泵上，真空泵上安装开关，所述的真空腔体内部安装加热台，抽真空晶片材料安装在加热台上，加热台通过传感器线缆与温度传感器连接，传感器线缆插入温度传感器插座上，所述的温度传感器插座安装在的控制箱上，所述的控制箱上设置温度显示屏和实际温度显示屏。

【技术特征摘要】
1.一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，其特征在于:结构包括：真空泵、真空腔体、密封圈、有机玻璃盖板、真空度气压表、气管、阀门、加热台控制台，所述的真空腔体是采用铸铁材质铸造而成，真空腔体上面敞口，所述的真空腔体的顶端安装橡胶垫圈，有机玻璃盖板安装在真空腔体上，橡胶垫圈设置在真空腔体和有机玻璃盖板之间，抽真空后有机玻璃盖板会压缩橡胶弹性密封圈，从而起到密封效果，真空腔体的右侧壁上安装真空腔体气嘴，阀门安装在真空腔体气嘴上，真空腔体的左侧壁上安装真空度气压表，所述的真空腔体气嘴通过气管与真空泵气嘴连接，真空泵气嘴安装在真空泵上，真空泵上安装开关，所述的真空腔体内部安装加热台，抽真空晶片材料安装在加热台上，加热台通过传感器线缆与...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾鑫，周学农，刘东旭，
申请(专利权)人：平拓上海新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31