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本实用新型公开了一种复合材料晶片制作高效控温真空排气泡装置，真空腔体上面敞口，真空腔体的顶端安装橡胶垫圈，有机玻璃盖板安装在真空腔体上，橡胶垫圈设置在真空腔体和有机玻璃盖板之间，真空腔体的右侧壁上安装真空腔体气嘴，阀门安装在真空腔体气嘴上，...
该专利属于平拓（上海）新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过平拓（上海）新材料科技有限公司授权不得商用。

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