【技术实现步骤摘要】
基板检查装置
本技术涉及基板检查装置，尤其涉及具有对基板进行支承的基板支承框架的基板检查装置。
技术介绍
以往，在对基板进行短路、断路等电检查时，在基板检查装置中常常使用基板支承框架对基板进行支承。在实际中，有时需要确保由基板支承框架支承的基板上的规定部位与基板检查装置中的其它部件精确对齐。上述需求在基板较大且规定部位多时越发强烈，也就是说，在基板较大且规定部位多时，即使基板稍微偏离标准状态，基板上的某些规定部分也可能大幅偏离预先设定的标准位置，导致电检查等不能正确进行。因此，在具有对基板进行支承的基板支承框架的基板检查装置中，如何能以简单的结构确保基板处于标准状态便成了亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种基板检查装置，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。为实现上述目的，本技术提供一种基板检查装置，其具有：基座；固定台，该固定台设置于基座；基板支承框架，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件固定于所述固定台；调节部，该调节部设置在所述固定台与所述基板支承框架之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方...
【技术保护点】
1.一种基板检查装置，其特征在于，具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的所述基板的中心。
【技术特征摘要】
1.一种基板检查装置，其特征在于，具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的所述基板的中心。2.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，在与上下方向垂直的第一方向上，在载置于所述基板支承框架的所述基板的中心的两侧分别设置有所述调节部。3.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述调节部包括多个厚度不同的垫片。4.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述基板支承框架具有楔形部，该楔形部具有相对于上下...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆啸，艾鹏，
申请(专利权)人：日本电产理德机器装置浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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