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一种基板检查装置，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。本实用新型的基板检查装置具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；...
该专利属于日本电产理德机器装置(浙江)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产理德机器装置(浙江)有限公司授权不得商用。

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