一种待测件检测装置及传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种待测件传送装置，当待测件准备待检时，由于固定盘本体和固定盘分体被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动，因而可以控制固定盘分体下降或者固定盘本体上升，使固定盘本体的承载面高于固定盘分体的承载面，将固定盘本体上的开口露出，为机械臂的移动提供操作空间，当待测件放置于待测件固定盘后，机械臂撤回，控制固定盘分体上升或者固定盘本体下降，使固定盘分体和固定盘本体的承载面平齐，整个过程，待测件只需要传递一次，提高了传送精度及效率；且待测件固定盘为完整的盘体，待测件背面均有承载面进行支撑，提高了待测件在加工及检测时的稳定性。本实用新型专利技术还公开了一种包括上述待测件传送装置的待测件检测装置。

A Testing Device and Transfer Device for Measured Parts

【技术实现步骤摘要】
一种待测件检测装置及传送装置
本技术涉及元件加工
，更具体地说，涉及一种待测件传送装置。本技术还涉及一种包括上述待测件传送装置的待测件检测装置。
技术介绍
目前行业内放置晶圆及取回的方式主要为两种：一种是在晶圆固定装置上设置接片装置，接片装置在机械臂传送晶圆时升起，机械臂对晶圆进行放置(或取回)操作，而后接片装置下降将晶圆放置于晶圆固定装置上(或回位等待)。但是此方式在机械手臂及晶圆固定装置之间存在接片装置的二次传递，此过程中易造成晶圆位置的偏移。而第二种方式是在晶圆固定装置的机械臂操作处设置有下沉区域，在机械臂对晶圆进行放置或取回操作时，此下沉区域为机械臂提供操作空间。此方法在加工或检测过程中，晶圆背面始终存在一部分没有支撑，容易造成此处不平整。综上所述，如何提供一种待测件传送装置，能够提高待测件的传送精度以及稳定性，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是提供一种待测件传送装置，能够提高待测件的传送精度以及稳定性。本技术的另一目的是提供一种包括上述待测件传送装置的待测件检测装置。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种待测件传送装置，包括：用于放置待测件的待测件固定盘，所述待测件固定盘上设置有用于承载所述待测件的承载面，所述待测件固定盘包括边缘设置有开口的固定盘本体，以及用于与所述固定盘本体相配合以形成整体的固定盘分体，所述固定盘本体和所述固定盘分体被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动。优选的，所述固定盘本体的承载面面积大于所述固定盘分体的承载面面积；所述待测件传送装置还包括：用于驱动所述固定盘分体移动的第一动力件，所述第一动力件被配置为使所述固定盘分体的承载面低于或齐平于所述固定盘本体的承载面；或者，所述待测件传送装置还包括：用于驱动所述固定盘本体移动的第二动力件，所述第二动力件被配置为使所述固定盘本体的承载面高于或齐平于所述固定盘分体的承载面。优选的，所述待测件固定盘的底部与用于支撑所述待测件固定盘的支座连接，所述第一动力件设置于所述支座上。优选的，所述第一动力件为升降气缸。优选的，所述待测件固定盘上设置有用于吸附所述待测件的吸附部。优选的，所述吸附部包括设置于所述待测件固定盘内部的环形气道，所述环形气道的上表面设置有用于吸附所述待测件的吸附气孔。优选的，所述开口为U型开口，所述固定盘分体为与所述U型开口相匹配的U型块。优选的，还包括用于传送所述待测件的机械臂，所述机械臂与所述开口相匹配，所述开口用于供所述机械臂通过。优选的，还包括：控制装置，被配置为使所述固定盘分体低于所述固定盘本体之后，所述控制装置控制所述机械臂进入所述开口中，以放置或取走所述待测件。一种待测件检测装置，包括上述任一项所述的待测件传送装置。本技术所提供的待测件传送装置，包括：用于放置待测件的待测件固定盘，待测件固定盘上设置有用于承载待测件的承载面，待测件固定盘包括边缘设置有开口的固定盘本体，以及用于与固定盘本体相配合以形成整体的固定盘分体，固定盘本体和固定盘分体被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动。当待测件准备待检时，由机械臂将待测件传送至待测件固定盘上方，由于固定盘本体和固定盘分体被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动，因而可以控制固定盘分体下降或者固定盘本体上升，使固定盘本体的承载面高于固定盘分体的承载面，将固定盘本体上的开口露出，为机械臂的移动提供操作空间，再控制机械臂移动将待测件放置于待测件固定盘上，当待测件放置于待测件固定盘后，机械臂撤回，控制固定盘分体上升或者固定盘本体下降，使固定盘分体和固定盘本体的承载面平齐，补上开口，使待测件固定盘合成完整的盘体来支撑及固定待测件，整个过程，待测件只需要传递一次，提高了传送精度及效率；且待测件固定盘为完整的盘体，待测件背面均有承载面进行支撑，提高了待测件在加工及检测时的稳定性。本技术还提供了一种包括上述待测件传送装置的待测件检测装置。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本技术所提供的待测件固定盘的结构示意图；图2为本技术所提供的待测件传送装置放置待测件前的结构示意图；图3为本技术所提供的待测件传送装置放置待测件后的结构示意图。图1-3中：1为待测件固定盘、2为开口、3为固定盘分体、4为环形气道、5为吸附气孔、6为升降气缸、7为待测件、8为机械臂。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术的核心是提供一种待测件传送装置，能够提高待测件的传送精度以及稳定性。本技术的另一核心是提供一种包括上述待测件传送装置的待测件检测装置。请参考图1～3，图1为本技术所提供的待测件固定盘的结构示意图；图2为本技术所提供的待测件传送装置放置待测件前的结构示意图；图3为本技术所提供的待测件传送装置放置待测件后的结构示意图。本技术所提供的待测件传送装置，用于放置待测件7的待测件固定盘1，待测件固定盘1上设置有用于承载待测件7的承载面，待测件固定盘1包括边缘设置有开口2的固定盘本体，以及用于与固定盘本体相配合以形成整体的固定盘分体3，固定盘本体和固定盘分体3被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动。可以理解的是，待测件固定盘1可以为圆形或者方形，具体尺寸大小可以根据实际待测件7的型号尺寸进行选择，且待测件固定盘1为分体式结构，分为具有开口2的固定盘本体和固定盘分体3，其中，开口2是贯通于待测件固定盘1且设置于待测件固定盘1的边缘，设置开口2的目的在于为机械臂8的移动提供足够的操作空间，因而开口2的宽度需要大于机械臂8的宽度，开口2的具体位置需要根据实际工作时机械臂8的位置进行选择，待测件7一般为晶圆，当然也可以是其他需要固定检测的元件。其中，固定盘分体3能够与固定盘本体相配合以形成整体，即固定盘分体3与固定盘本体的开口2相匹配，能够补上开口2，使待测件7放置在待测件固定盘1上时整个底部都能够被待测件固定盘1所支撑，稳定性更好。可以理解的是，开口2的宽度需要大于机械臂8的宽度，以避免机械臂8在将待测件7移动至待测件固定盘1时与固定盘本体发生碰撞。固定盘本体和固定盘分体3被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动，具体是指可以控制固定盘本体或者固定盘分体3进行升降，以使开口2露出。当待测件7准备待检时，由机械臂8将待测件7传送至固定盘本体上方，由于固定盘本体和固定盘分体3被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动，因而可以控制固定盘分体3下降或者固定盘本体上升，使固定盘本体的承载面高于固定盘分体3的承载面，将固定盘本体上的开口2露出，为机械臂8的移动提供操作空间，再控制机械臂8移动将待测件7放置于待测件固定盘1上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种待测件传送装置，其特征在于，包括：用于放置待测件(7)的待测件固定盘(1)，所述待测件固定盘(1)上设置有用于承载所述待测件(7)的承载面，所述待测件固定盘(1)包括边缘设置有开口(2)的固定盘本体，以及用于与所述固定盘本体相配合以形成整体的固定盘分体(3)，所述固定盘本体和所述固定盘分体(3)被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动。

【技术特征摘要】
1.一种待测件传送装置，其特征在于，包括：用于放置待测件(7)的待测件固定盘(1)，所述待测件固定盘(1)上设置有用于承载所述待测件(7)的承载面，所述待测件固定盘(1)包括边缘设置有开口(2)的固定盘本体，以及用于与所述固定盘本体相配合以形成整体的固定盘分体(3)，所述固定盘本体和所述固定盘分体(3)被配置为沿垂直于承载面的方向相对移动。2.根据权利要求1所述的待测件传送装置，其特征在于，所述固定盘本体的承载面面积大于所述固定盘分体(3)的承载面面积；所述待测件传送装置还包括：用于驱动所述固定盘分体(3)移动的第一动力件，所述第一动力件被配置为使所述固定盘分体(3)的承载面低于或齐平于所述固定盘本体的承载面；或者，所述待测件传送装置还包括：用于驱动所述固定盘本体移动的第二动力件，所述第二动力件被配置为使所述固定盘本体的承载面高于或齐平于所述固定盘分体(3)的承载面。3.根据权利要求2所述的待测件传送装置，其特征在于，所述待测件固定盘(1)的底部与用于支撑所述待测件固定盘(1)的支座连接，所述第一动力件设置于所述支座上。4.根据权利要求3所述的待测件传送...

【专利技术属性】
技术研发人员：范铎，张鹏斌，李海卫，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44