一种多孔质气体静压止推轴承制造技术

一种多孔质气体静压止推轴承，它涉及一种气体静压止推轴承。针对气体静压支撑轴承采用小孔节流气体静压支撑轴承，承载能力低，稳定性差及采用整体多孔质气体静压支撑轴承，耗气量大，难以保证孔隙度均匀、渗透率一致、各向同性的多孔质材料问题。轴承基体的下端面上设有沉孔，轴承基体的上端面上设有四～八个与轴承基体的沉孔相通的节流孔，四～八个节流孔的中心均布设置在轴承基体二分之一半径处所在的圆周上，节流孔内装有一个与其内壁粘接的各向同性多孔质石墨柱塞，止推板设置在轴承基体的工作面上。本发明专利技术采用各向同性多孔质石墨柱塞，保证了孔隙度均匀、渗透率一致和各向同性，此外，本发明专利技术还具有承载能力大、稳定性高及静态刚度高的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体静压止推轴承，尤其涉及一种高刚度和高稳定性的多 孔质气体静压止推轴承。
技术介绍
发展国防工业、微电子工业等尖端技术需要精密和超精密的仪器设备，精 密仪器设备要求高速、高精度的静压支撑轴承。气体静压支撑轴承具有明显的 特点，其压力气膜具有均化效应，因而振动小，旋转精度高；气体的粘度很低， 因此摩擦损耗小，发热变形也小；无物体间的接触，理论上认为没有磨损，所 以寿命长；气体静压支撑轴承对环境无污染，因此无需考虑密封问题。基于以 上特点，气体静压支撑轴承广泛应用于航空航天工业、半导体工业和超精密加 工设备与测量仪器中。气体静压支撑轴承的承载能力和刚度与支撑的结构尺寸、供气压力以及节 流的形式有关。节流形式的不同，直接影响支撑轴承的承载能力和刚度。气体 静压支撑轴承采用的节流方式主要是小孔节流、狭缝节流、表面节流和多孔质 节流等。目前，国内外对上述气体静压支撑轴承的节流方式都有不同程度的研 究和应用。应用广泛的小孔节流气体静压支撑轴承的刚度较高，但承载能力较 低，稳定性较差。整体多孔质气体静压支撑轴承采用多孔质材料作为其轴承表 面和节流器，整个轴承面均布微小的供气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多孔质气体静压止推轴承，其特征在于：所述静压止推轴承由止推板（４）、不锈钢材料制成的轴承基体（３）和四～八个作为气体静压轴承节流器的各向同性多孔质石墨柱塞（１）组成；所述轴承基体（３）的上端面为经过研磨加工的工作面（２），轴承基体（３）的下端面上设有沉孔（５），轴承基体（３）的上端面上设有四～八个与轴承基体（３）的沉孔（５）相通的节流孔（６），所述四～八个节流孔（６）的中心均布设置在轴承基体（３）二分之一半径处所在的圆周上，每个节流孔（６）内装有一个与其内壁粘接的各向同性多孔质石墨柱塞（１），所述止推板（４）设置在轴承基体（３）的工作面（２）上，各向同性多孔质石墨柱塞（１）的半径为１．５～...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙雅洲，梁迎春，刘海涛，于雪梅，卢泽生，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]