多级真空增压泵联接器制造技术

公开一种用于多级真空增压泵的级间联接器、一种真空泵和一种方法。用于多级真空泵的级间联接器包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。以此方式，可以通过使所述出口孔口与所述入口孔口流体联接来减轻级中的压力，以便使积聚气体从所述第一级泵的一部分再循环到所述第一级泵的另一部分，以便减少转子上的应变。

Multistage Vacuum Booster Pump Connector

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多级真空增压泵联接器
本专利技术涉及一种用于多级真空增压泵的级间联接器、一种真空泵和一种方法。
技术介绍
已知真空泵。通常采用这些泵作为真空系统的部件来排空设备。而且，使用这些泵来排空例如在半导体的生产中使用的制造装备。不是使用单个泵在单个级中实施从真空到大气的压缩，而是已知提供多级真空泵，其中每一级实施从真空转变到大气压力所需的完整压缩范围的一部分。虽然此类多级真空泵提供若干优点，但是其也具有其自己的缺点。因此，期望提供一种用于多级真空泵的经改进的布置。
技术实现思路
根据第一方面，提供一种用于多级真空泵的级间联接器，其包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：形成在第一联接面中的再循环入口孔口；形成在第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。所述第一方面认识到多级真空泵的问题在于气体可能积聚在级的排放侧上，这在其转子上导致应力。由于例如当泵入口通气时所述级排放出比后续级可以处理的气体更多的气体，因此气体可能积聚。因此，设置一种级间联接器。所述级间联接器可以用于多级泵。所述泵可以是真空泵。所述联接器可以包括第一联接面。所述第一联接面可以被构造、布置或定尺寸成接收、接合或连接泵的相邻级以限定、关闭或密封所述相邻级。所述联接器可以包括第二联接面。所述第二联接面可以被构造、布置或定尺寸成接收、接合或连接泵的另一相邻级以限定、关闭或密封所述相邻级。可以提供所述级间联接器以联接具有单独的定子壳体的级或者可以使用所述级间联接器来将单个定子壳体分隔成若干单独的级。所述联接器还可以包括再循环器。所述再循环器可以限定形成或设置在第一联接面中的再循环入口孔口或开口。所述再循环器还可以限定也形成或设置在第一联接面中的再循环出口孔口。所述再循环器还可以包括具有再循环阀的再循环管道。所述再循环管道和再循环阀可以被构造或布置成使再循环入口孔口与再循环出口孔口选择性地联接。以此方式，可以通过使所述出口孔口与所述入口孔口流体联接来减轻级中的压力，以便使积聚气体从所述第一级泵的一部分再循环到所述第一级泵的另一部分，以便减少转子上的应变。在一个实施例中，再循环器在第一联接面和第二联接面之间容纳在级间联接器内。因此，再循环器可以定位在级间联接器自身内，这实现特别紧凑且自容式的布置，并且最小化多级泵的复杂性。而且，在级之间设置再循环器使再循环器与泵周围的较冷环境条件隔离，并且在其中固体材料很可能从所泵送介质冷凝的应用中，通过再循环器中升高的温度来降低冷凝的风险，从而降低其变得不可移动且无效的风险。在一个实施例中，第一和第二联接面中的每一者的至少一部分被构造为板以密封多级真空泵的相应相邻级的端部。因此，所述联接面可以密封相邻的级，从而充当其壳体的一部分。在一个实施例中，再循环入口孔口被定位成用于与第一相邻级的排放部流体连通，并且再循环出口孔口被定位成用于与第一相邻级的入口流体连通。因此，再循环器可以接收第一相邻级的排放，并且可以使所述排放、或其至少一部分经由阀再循环到第一相邻级的入口，以便减小跨越转子的压力不平衡。在一个实施例中，第一联接面限定入口孔口以接收来自第一相邻级的排放，并且第二联接面限定出口孔口以将所述排放输送到第二相邻级，所述级间联接器限定被构造成使入口孔口与出口孔口流体联接的传输管道。因此，级间联接器还可以用于将气体从第一相邻级传输到第二相邻级。在一个实施例中，入口孔口流体地位于第一相邻级的下游，并且出口孔口流体地位于第二相邻级的上游。因此，第一相邻级的排放可以从入口孔口提供并且经由出口孔口输送到第二相邻级的入口。在一个实施例中，入口孔口包括入口再循环孔口，并且传输管道共享再循环管道的至少一部分。因此，可以通过共享入口孔口和入口再循环孔口和/或通过共享传输管道和再循环管道来减小联接器的复杂性。在一个实施例中，再循环阀包括压力致动阀，所述压力致动阀可响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差致动以使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。因此，再循环阀可以在两者之间的选定或预先确定的压力差下使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。换句话说，再循环阀可以具有脱离位置，其中再循环入口孔口和再循环出口孔口在小于选定压力差的压力差下流体脱离。当压力差大于选定或预先确定的压力差时，再循环入口孔口和再循环出口孔口可以于是流体联接。在一个实施例中，再循环阀包括可移动构件，所述可移动构件可响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差移位以使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。再循环阀可以被构造成使得所述构件通过平移移动移位。在此实施例中，所述可移动构件可以是活塞。再循环阀可以被构造成使得所述构件通过旋转或角移动移位。在此实施例中，所述可移动构件可以是枢转翻板。因此，可以设置活塞、翻板或可移动构件，其从关闭或阻塞再循环管道的位置移位或移动到打开或解封再循环管道的位置。在一个实施例中，所述可移动构件在脱离位置中被偏置或加重并且可响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差移位到联接位置。因此，所述活塞、翻板或可移动构件可以被偏置或加重到脱离位置中。所述活塞、翻板或可移动构件可以响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差移位到联接位置。在一个实施例中，所述级间联接器包括第二再循环器，所述第二再循环器包括：形成在第二联接面中的第二再循环入口孔口；形成在第二联接面中的第二再循环出口孔口；以及具有第二再循环阀的第二再循环管道，所述第二再循环阀被构造成使第二再循环入口孔口与第二再循环出口孔口选择性地流体联接。因此，可以在联接器内设置另一个再循环器以在第二相邻级内实现气体再循环。根据第二方面，提供一种多级真空泵，其包括：第一泵送级；第二泵送级；以及使第一泵送级与第二泵送级联接的第一方面的级间联接器。根据第三方面，提供一种方法，其包括：设置第一联接面，所述第一联接面被构造成由多级真空泵的第一相邻级接收；设置第二联接面，所述第二联接面被构造成由多级真空泵的第二相邻级接收；以及设置再循环器，所述再循环器包括：形成在第一联接面中的再循环入口孔口；形成在第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。在一个实施例中，所述方法包括使再循环器在第一联接面和第二联接面之间容纳在级间联接器内。在一个实施例中，所述方法包括将第一和第二联接面中的每一者的至少一部分构造为板以密封多级真空泵的相应相邻级的端部。在一个实施例中，所述方法包括将再循环入口孔口定位成用于与第一相邻级的排放部流体连通，并且将再循环出口孔口定位成用于与第一相邻级的入口流体连通。在一个实施例中，所述方法包括：在第一联接面中限定入口孔口以接收来自第一相邻级的排放；在第二联接面中限定出口孔口以将所述排放输送到第二相邻级；以及限定被构造成使入口孔口与出口孔口流体联接的传输管道。在一个实施例中，所述方法包括：将入口孔口流体地定位在第一相邻级的下游；以及将出口孔口流体地定位在第二相邻级本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多级真空泵的级间联接器，包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：‑形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；‑形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及‑具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.20 GB 1701000.01.一种用于多级真空泵的级间联接器，包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：-形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；-形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及-具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。2.根据权利要求1所述的级间联接器，其中，所述再循环器在所述第一联接面和所述第二联接面之间容纳在所述级间联接器内。3.根据权利要求1或2所述的级间联接器，其中，所述第一和第二联接面中的每一者包括板，以便密封所述多级真空泵的所述相应相邻级的端部。4.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，其中，所述再循环入口孔口被定位成用于与所述第一相邻级的排放部流体连通，并且所述再循环出口孔口被定位成用于与所述第一相邻级的入口流体连通。5.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，其中，所述第一联接面限定入口孔口以接收来自所述第一相邻级的排放，并且所述第二联接面限定出口孔口以将所述排放输送到所述第二相邻级，所述级间联接器限定被构造成使所述入口孔口与所述出口孔口流体联接的传输管道。6.根据权利要求5所述的级间联接器，其中，所述入口孔口流体地位于所述第一相邻级的下游，并且所述出口孔口流体地位于所述第二相邻级的上游。7.根据权利要求5或6所述的级间联接器，其中，所述入口孔口包括所述入口再循环孔口，并且所述传输管道共享所述再循环管道的至少一部分。8.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，其中，所述再循环阀包括压力致动阀，所述压力致动阀可响应于所述再循环入口孔口和所述再循环出口孔口之间的选定压...

【专利技术属性】
技术研发人员：N特纳，DA图雷尔，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB