泵密封制造技术

公开一种泵组件和方法。该泵包括：第一壳体部，其限定在第一壳体部内延伸并成形为接收转子的孔的第一部分；和第二壳体部，其限定在第二壳体部内延伸并成形为接收转子的孔的第二部分，第一壳体部具有第一面，该第一面可抵靠第二壳体部的相对的第二面以定位孔的第一部分与孔的第二部分以接收转子，孔的第一部分具有沿第一面定中心的第一圆形横截面部分，并且孔的第二部分具有在第二壳体部内在距第二面一距离处定中心的第二圆形横截面部分。以这种方式，可提供尺寸减小的孔，其减少泄漏，同时还在转子和孔之间提供足够的运行间隙。

Pump Seal

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泵密封
本专利技术涉及泵组件。
技术介绍
压缩机和真空泵是已知的。真空泵通常用作用于对装置抽空的真空系统的组件。而且，这些泵用于抽空例如在半导体生产中使用的制造设备。不是使用单个泵在单级中执行从真空到大气的压缩，而是已知提供多级真空泵，其中每级执行从真空到大气压转变所需的完整压缩范围的一部分。对于压缩机存在类似的布置。虽然这种压缩机和真空泵具有优点，但它们也有其自身的缺点。因此，希望提供用于多级泵的改进布置。
技术实现思路
根据第一方面，提供一种泵，其包括：第一壳体部，其限定在第一壳体部内延伸并成形为接收转子的孔的第一部分；和第二壳体部，其限定在第二壳体部内延伸并成形为接收转子的孔的第二部分，第一壳体部具有第一面，该第一面可抵靠第二壳体部的相对的第二面以定位孔的第一部分与孔的第二部分以接收转子，孔的第一部分具有沿第一面定中心的第一圆形横截面部分，并且孔的第二部分具有在第二壳体部内在距第二面一距离处定中心的第二圆形横截面部分。第一方面认识到，由于需要在转子和其定子内的接收孔之间提供足够的运行配合，所以泄漏可在泵内发生。特别地，第一方面认识到转子相对于定子内的孔的相对尺寸需要适应制造公差，以便转子不会承载到定子上并造成损坏。因此，提供一种泵。该泵是真空泵或压缩机。泵包括第一壳体部。第一壳体部限定或提供在壳体部内延伸并且形状或尺寸被设定成接收转子的孔或开口的第一部分。泵还包括限定或提供孔的第二部分的第二壳体部。孔的第二部分也延伸或设置在第二壳体部内并且成形为接收转子。第一壳体部具有面或表面，其可抵靠第二壳体部的相对面或表面或可与第二壳体部的相对面或表面接合，以便定位或共同定位接收转子的孔的多个部分。孔的第一部分具有圆形横截面部分。该圆形横截面部分的中心线沿第一面定位。孔的第二部分也具有圆形横截面部分。该圆形横截面部分的中心线在偏离第二面的一距离或位置处位于第二壳体部内或第二壳体部中。以这种方式，可提供尺寸减小的孔，其减少泄漏，同时还在转子和孔之间提供足够的运行间隙。在一个实施例中，第一圆形横截面部分和第二圆形横截面部分的半径匹配其中可接收的转子的一部分的外半径。因此，圆形横截面部分的半径的尺寸可被设定成匹配或对应于转子的一部分的外半径。在一个实施例中，孔的第一部分限定具有沿第一面延伸的纵向轴线的第一半圆柱部分。因此，可提供其细长轴线沿第一面定位的半圆柱部分。在一个实施例中，孔的第二部分在第二壳体部内在距第二面一距离处限定具有平行于第二面延伸的纵向轴线的第二半圆柱部分。因此，第二半圆柱部分也可定向成其细长轴线平行于第二面延伸，但在空间上偏移到第二壳体部中。在一个实施例中，孔的第二部分具有从第二圆形横截面部分延伸到第二面的延伸部分。在一个实施例中，延伸部分从第二圆形横截面部分的任一端切向延伸到第二面。在一个实施例中，延伸部分的长度与距第二面的距离相匹配。在一个实施例中，孔的第一部分包括沿第一面定中心的一对相交的第一圆形横截面部分。因此，可定义罗茨型腔室。在一个实施例中，孔的第一部分限定具有沿第一面延伸的纵向轴线的一对相交的第一半圆柱部分。在一个实施例中，孔的第二部分限定在第二壳体部内在相距第二面的一距离处定中心的一对相交的第二圆形横截面部分。在一个实施例中，孔的第二部分在第二壳体部内在距第二面一距离处限定具有平行于第二面延伸的纵向轴线的一对相交的第二半圆柱部分。在一个实施例中，延伸部分从第二圆形横截面部分的非相交端切向延伸到第二面。在一个实施例中，距离包括至多第一壳体部的第一面的位置公差。因此，第二圆形横截面部分的中心线的位置可通过第一壳体部的第一面的位置不确定性偏移到第二壳体部中。在一个实施例中，距离包括至多第一壳体部的第一面的位置公差以及转子的位移公差。因此，第二圆形横截面部分的中心线可偏移到第二壳体部中与转子的位移公差相关的另一距离。在一个实施例中，第一壳体部限定成形为接收转子的孔的多个第一部分，并且第二壳体部限定成形为接收转子的孔的多个第二部分。在一个实施例中，每个孔的第一圆形横截面和第二圆形横截面部分的半径与接收在其中的转子的一部分的外半径匹配。在一个实施例中，每个孔的第一部分具有沿第一面定中心的第一圆形横截面，并且每个孔的第二部分具有在第二壳体部内在距第二面一距离处定中心的第二圆形横截面部分。在一个实施例中，每个孔具有在第二壳体部内在距第二面相同的距离处定中心的第二圆形横截面部分。在一个实施例中，每个孔的第一部分在孔位置公差内从第一面定中心。因此，每个孔的中心线可定位在孔定位公差内。通常，尽管不是必须的，孔定位公差远小于位置公差或位移公差。在一个实施例中，每个孔的第一部分在孔位置公差与转子的位移公差内从第一面定中心。根据第二方面，提供一种方法，包括：限定成形为接收转子并在第一壳体部内延伸的孔的第一部分；限定成形为接收转子并在第二壳体部内延伸的孔的第二部分，第一壳体部具有第一面，该第一面可抵靠第二壳体部的相对的第二面，以将孔的第一部分与孔的第二部分定位以接收转子，使具有第一圆形截面部分的孔的第一部分沿第一面定中心，并且使具有第二圆形截面部分的孔的第二部分在第二壳体部内在距第二面一距离处定中心。在一个实施例中，该方法包括使第一圆形横截面部分和第二圆形横截面部分的半径与其中可接收的转子的一部分的外半径相匹配。在一个实施例中，该方法包括限定第一半圆柱部分，该第一半圆柱部分具有沿着作为孔的第一部分的第一面延伸的纵向轴线。在一个实施例中，该方法包括在第二壳体部内在距作为孔的第二部分的第二面一距离处限定具有平行于第二面延伸的纵向轴线的第二半圆柱部分。在一个实施例中，该方法包括提供从第二圆形横截面部分延伸到第二面的延伸部分。在一个实施例中，该方法包括将延伸部分从第二圆形横截面部分的任一端切向延伸到第二面。在一个实施例中，该方法包括使延伸部分的长度与距第二面的距离匹配。在一个实施例中，该方法包括提供沿着第一面定中心的一对相交的第一圆形横截面部分，作为孔的第一部分。在一个实施例中，该方法包括提供具有沿第一面延伸的纵向轴线的一对相交的第一半圆柱部分，作为孔的第一部分。在一个实施例中，该方法包括提供在第二壳体部内在距第二面一距离处定中心的一对相交的第二圆形横截面部分，作为孔的第二部分。在一个实施例中，该方法包括提供在第二壳体部内在距第二面一距离处具有平行于第二面延伸的纵向轴线的一对相交的第二半圆柱部分，作为孔的第二部分。在一个实施例中，该方法包括将延伸部分从第二圆形横截面部分的任一非相交端切向延伸到第二面。在一个实施例中，该距离包括至多第一壳体部的第一面的位置公差。在一个实施例中，该距离包括至多第一壳体部的第一面的位置公差以及转子的位移公差。在一个实施例中，该方法包括限定成形为在第一壳体部中接收转子的孔的多个第一部分，和限定成形为在第二壳体部中接收转子的孔的多个第二部分。在一个实施例中，每个孔的第一圆形横截面和第二圆形横截面部分的半径与其中接收的转子的一部分的外半径匹配。在一个实施例中，该方法包括使作为每个孔的第一部分的第一圆形横截面沿第一面定中心，并使作为每个孔的第二部分的第二圆形横截面部分在第二壳体部内在距第二面一距离处定中心。在一个实施例中，该方法包括使每个第二圆形横截面部分在第二壳体部内在距第二面相同的距离处本文档来自技高网...

【技术保护点】
1. 一种泵，包括：第一壳体部，其限定在所述第一壳体部内延伸并成形为接收转子的孔的第一部分；和第二壳体部，其限定在所述第二壳体部内延伸并成形为接收所述转子的所述孔的第二部分，所述第一壳体部具有第一面，所述第一面能抵靠所述第二壳体部的相对的第二面，以定位所述孔的所述第一部分与所述孔的所述第二部分以接收所述转子，所述孔的所述第一部分具有沿所述第一面定中心的第一圆形横截面部分并且所述孔的所述第二部分具有在所述第二壳体部内在距所述第二面一距离处定中心的第二圆形横截面部分。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.24 GB 1701179.21.一种泵，包括：第一壳体部，其限定在所述第一壳体部内延伸并成形为接收转子的孔的第一部分；和第二壳体部，其限定在所述第二壳体部内延伸并成形为接收所述转子的所述孔的第二部分，所述第一壳体部具有第一面，所述第一面能抵靠所述第二壳体部的相对的第二面，以定位所述孔的所述第一部分与所述孔的所述第二部分以接收所述转子，所述孔的所述第一部分具有沿所述第一面定中心的第一圆形横截面部分并且所述孔的所述第二部分具有在所述第二壳体部内在距所述第二面一距离处定中心的第二圆形横截面部分。2.如权利要求1所述的泵，其特征在于，所述第一圆形横截面部分和所述第二圆形横截面部分的半径与能接收在其中的所述转子的一部分的外半径相匹配。3.如权利要求1或2所述的泵，其特征在于，所述孔的所述第一部分限定具有沿所述第一面延伸的纵向轴线的第一半圆柱部分。4.如任一前述权利要求所述的泵，其特征在于，所述孔的所述第二部分在所述第二壳体部内在距所述第二面所述距离处限定具有平行于所述第二面延伸的纵向轴线的第二半圆柱部分。5.如任一前述权利要求所述的泵，其特征在于，所述孔的所述第二部分具有从所述第二圆形横截面部分延伸到所述第二面的延伸部分。6.如权利要求5所述的泵，其特征在于，所述延伸部分从所述第二圆形横截面部分的任一端切向延伸到所述第二面。7.如权利要求5或6所述的泵，其特征在于，所述延伸部分的长度与距所述第二面的所述距离相匹配。8.如任一前述权利要求所述的泵，其特征在于，所述孔的所述第一部分包括沿着所述第一面定中心的一对相交的第一圆形横截面部分。9.如任一前述权利要求所述的泵，其特征在于，所述孔的所述第一部分限定具有沿所述第一面延伸的纵向轴线的一对相交的第一半圆柱部分。10.如任一前述权利要求所述的泵，其特征在于，所述孔的所述第二部分限定一对相交的第二圆形横截面部分，所述第二圆形横截面部分在所述第二壳体部内在距所述第二面所述距离处定中心。11.如任一前述权利要求所述的泵，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：AEK霍尔布鲁克，D贝德韦尔，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB