一种用于检测苯系物的敏感元件及其制备方法和应用技术

本发明专利技术属于半导体传感技术领域，具体涉及到一种针对苯系物气体检测的敏感材料、敏感元件及其制备方法。所述敏感元件为双层结构，其包括位于上层的敏感材料层和位于下层的催化材料层。该制备方法包括：通过水热法获得ZnO纳米片后进一步通过丝网印刷或者旋涂工艺涂覆到印刷有加热电极和叉指电极的平板式陶瓷基片上获得底层气敏材料；进一步通过水热法在其表面均匀生长CeO2纳米片薄膜即得到敏感元件，对其进行焊接、老化、封装后制得苯系物检测气敏元件。本发明专利技术所制得的气敏元件具有对苯系物如甲苯，二甲苯等污染气体灵敏度较高、检测下限低、选择性好、工作温度低、具有长期稳定性等优点，可用于室内苯系物污染气体的检测，对于人类身体健康的保护及室内污染物监控等方面具有重要意义。

A Sensitive Element for Detecting Benzenes and Its Preparation and Application

【技术实现步骤摘要】
一种用于检测苯系物的敏感元件及其制备方法和应用
本专利技术属于半导体传感
，具体涉及到一种针对苯系物气体检测的敏感材料以及敏感元件及其制备方法。
技术介绍
苯及苯系物为无色或浅黄色透明油状液体，具有强烈的芳香气体，熔沸点较低，易挥发。在现实生活中被广泛应用于各个方面，比如石油化工，建筑材料以及装饰材料等等。作为一种有刺激性气味且有毒的挥发性气体，苯系物也是室内空气污染的主要气体之一，它主要存在于房屋的装修材料，各种家具等等。苯系物对于人体的身体健康有着非常大的危害。长期吸入苯能导致再生障碍性贫血。初期时齿龈和鼻黏膜处有类似坏血病的出血症，并出现神经衰弱样症状，表现为头昏、失眠、乏力、记忆力减退、思维及判断能力降低等症状。以后出现白细胞减少和血小板减少，严重时可使骨髓造血机能发生障碍，导致再生障碍性贫血。若造血功能完全破坏，可发生致命的颗粒性白细胞消失症，并可引起白血病。鉴于苯系物对于人体产生如此大的危害，对于苯系物气体的实时监测与防护已经越来越受到人们的重视。随着人们生活水平的提高，人们对于室内空气质量的要求越来越高。然而市场上所出现了各式各样的苯系物气体传感器依旧很难满足人们本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测苯系物的敏感元件，其特征在于，所述敏感元件为双层结构，其包括位于上层的敏感材料层和位于下层的催化材料层。

【技术特征摘要】
1.一种用于检测苯系物的敏感元件，其特征在于，所述敏感元件为双层结构，其包括位于上层的敏感材料层和位于下层的催化材料层。2.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述敏感材料层包括表面覆盖有半导体金属氧化物气敏材料的平板电极，所述半导体金属氧化物气敏材料包括氧化锌、氧化锡或氧化钨中的一种或任意组合。3.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述催化材料层包括氧化铈。4.一种制备用于检测苯系物的敏感元件的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：制备敏感材料层；S2：在S1得到的敏感材料层上采用原位生长的方式生长出催化材料层。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在S1中，采用丝网印刷或者旋涂法在平板电极上涂覆半导体金属氧化物气敏材料得到敏感材料层。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在S2中，采用水热法在敏感材料层上生长出催化材料层。7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述S1包括：将半导体金属氧化物气敏材料用乙醇调成糊状，均匀涂敷在平板电极表...

【专利技术属性】
技术研发人员：王丁，殷越，许鹏程，王现英，李昕欣，
申请(专利权)人：上海理工大学，中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31