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本发明属于半导体传感技术领域，具体涉及到一种针对苯系物气体检测的敏感材料、敏感元件及其制备方法。所述敏感元件为双层结构，其包括位于上层的敏感材料层和位于下层的催化材料层。该制备方法包括：通过水热法获得ZnO纳米片后进一步通过丝网印刷或者旋涂...该专利属于上海理工大学;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。