【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷涂布机基材的在线表面处理机构
本技术涉及一种表面处理装置，具体是一种卷对卷涂布机基材的在线表面处理机构。
技术介绍
卷对卷涂布技术作为一种传统的薄膜成型技术，随着近些年的新兴产业的发展，越来越多的向新兴产业渗透，特别是近年比较热门的钙钛矿太阳能电池、氢燃料电池、量子显示等，相对于传统的薄膜成型而言，这些新兴产业薄膜涂层具有高精度或超薄涂层等特点，所以对于涂布的环境的洁净度及表面附着性等要求相当高。传统的基材表面处理方式主要有紫外光照清洗、等离子清洗、电晕处理、超声清洗等。紫外光清洗技术利用有机化合物的光敏氧化作用达到去除粘附在材料表面上的有机物质，经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”，目前主要应用在液晶显示器件、半导体硅晶体、集成电路、光学器件等生产过程中的清洗，当时这种清洗方式在空气中会产生臭氧，如在工作环境中使用会对环境造成污染，对人体会造成健康隐患；等离子清洗一般是在真空腔体内，通过射频电源在一定压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面以达到清洗目的，因需要在真空腔体中进行，故通常情况下也主要针对一些片材进行...
【技术保护点】
1.一种卷对卷涂布机基材的在线表面处理机构，包括依次相通的回风箱、紫外清洗箱和进风箱，其特征在于，所述进风箱上连接有与惰性气源连通的进风回路，所述回风箱上连接有可开闭的排风回路，所述进风箱和回风箱之间连接有可开闭的循环回路，所述循环回路上设有冷凝装置和粉尘过滤器，所述进风箱内设有氧含量检测器。
【技术特征摘要】
1.一种卷对卷涂布机基材的在线表面处理机构，包括依次相通的回风箱、紫外清洗箱和进风箱，其特征在于，所述进风箱上连接有与惰性气源连通的进风回路，所述回风箱上连接有可开闭的排风回路，所述进风箱和回风箱之间连接有可开闭的循环回路，所述循环回路上设有冷凝装置和粉尘过滤器，所述进风箱内设有氧含量检测器。2.根据权利要求1所述的卷对卷涂布机基材的在线表面处理机构，其特征在于，所述进风箱上通过风管连接有变频风机，所述进风回路包括从惰性气源到变频风机之间依次设置的减压阀、进风电磁阀；所述循环回路包括从回风箱上出风口到变频风机之间依次设置的冷凝装置、球阀、粉尘过滤器、回风电磁阀；从粉尘过滤器和回风电磁阀之间管路上分支出连通到排风口的排风管，所述排风管上连接有排风电磁阀。3.根据权利要求2所述的卷对卷涂布机基材的在线表面处理机构，其特征在于，所述进风箱内设有第一气压检测仪表...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳俊波，冯宗宝，张海銮，程园园，崔阳阳，王德万，林传兴，章婷，钱磊，张德龙，
申请(专利权)人：苏州威格尔纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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