一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置制造方法及图纸

技术编号:22032485 阅读:86 留言:0更新日期:2019-09-04 05:46
一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置,包括蚀刻槽以及设置在蚀刻槽上方的喷淋机构,所述蚀刻槽内设有工作台面,所述喷淋机构包括喷淋架、设置在喷淋架上的用于输送蚀刻液的喷管、以及与喷管相连通的位于工作台面上方的多个喷嘴,其特征在于:所述喷淋架上还设有用于输送高压气体的气管以及与气管相连通的位于工作台面上方的多个气嘴。该提高引线框架加工精度的蚀刻装置可减少侧蚀宽度、且各部位侧蚀宽度均匀。

An Etching Device for Improving the Machining Accuracy of Lead Frame

【技术实现步骤摘要】
一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置
本技术涉及引线框架制造
,具体涉及一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置。
技术介绍
现有的蚀刻装置一般包括蚀刻槽1a以及设置在蚀刻槽1a上方的喷淋机构,所述蚀刻槽1a内设有工作台面5a,所述喷淋机构包括喷淋架2a、设置在喷淋架2a上的用于输送蚀刻液的喷管3a、以及与喷管3a相连通的多个喷嘴4a。通过喷嘴4a向放置在工作台面5a上的工件表面喷射蚀刻液,而达到溶解腐蚀的作用,但是现有的蚀刻装置存在以下技术问题:蚀刻液喷淋一段时间后,旧的蚀刻液会在工件表面积留而形成水池效应,使新的蚀刻液难以与工件表面接触,积液多的位置相比未积液或积液少的位置蚀刻时间更长,从而造成积液多的位置侧蚀宽度较大且各部位侧蚀宽度不均匀,最终影响了产品的精度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:提供一种减少侧蚀宽度、且各部位侧蚀宽度均匀的提高引线框架加工精度的蚀刻装置。本技术的技术解决方案是:一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置,包括蚀刻槽以及设置在蚀刻槽上方的喷淋机构,所述蚀刻槽内设有工作台面,所述喷淋机构包括喷淋架、设置在喷淋架上的用于输送蚀刻液的喷管、以及与喷管相连通的位于工作台面上方的多个喷嘴,其特征在于:所述喷淋架上还设有用于输送高压气体的气管以及与气管相连通的位于工作台面上方的多个气嘴。采用上述结构后,本技术具有以下优点:本技术提高引线框架加工精度的蚀刻装置在喷淋架上设置了可喷射高压气体的气嘴,这样可利用气嘴快速吹走工件表面积留的旧的蚀刻液以消除水池效应,从而可使新的蚀刻液可以均匀接触到工件表面,这样有利于蚀刻的进行,使得侧蚀宽度较小,且各部位侧蚀宽度较为均匀,最终提高了产品的精度。作为优选,所有气嘴安装角度一致且至少沿工作台面的前后方向均匀布设一行。气嘴安装角度一致,可避免气嘴喷射的气体压力交叉而相互抵消,将气嘴均匀布设,能保证高压气体均匀喷射工件的表面,从而能均匀去除积液。作为优选,相邻气嘴之间的前后间距为7-15cm。该设置可使工件表面各位置均能可靠喷射到高压气体。作为优选,所述工作台面沿左侧或右侧倾斜5°-10°。该设置可使反应后的旧的蚀刻液能依靠自身重力的作用自然回流到蚀刻槽内,进一步减少旧的蚀刻液的积留。作为优选,所述喷嘴均匀布设且通过软管与喷管相连通,所有喷嘴还通过同一左右摆动装置与喷淋架相连。该设置可使所有喷嘴统一左右摆动,蚀刻液喷射面积更广,更均匀,从而可使侧蚀宽度减小且更均匀。作为优选,所述左右摆动装置的左右摆动幅度为3-8cm。合理的摆动角度既能使蚀刻液喷射面积更广,喷射更均匀,而且不易喷射到工件外造成浪费。作为优选,所述左右摆动装置还通过上下升降装置与喷淋架相连。该设置使得喷嘴不仅可沿左右方向摆动,而且可沿上下方向升降,在前半蚀刻流程表面还未刻透时,蚀刻速度较慢,可通过上下升降装置降低喷嘴的高度以使蚀刻液更容易进入到工件,而在后半蚀刻流程中,可通过上下升降装置升高喷嘴的高度,以保证前后蚀刻流程蚀刻速度基本一致,从而可使侧蚀宽度进一步减小且侧蚀宽度更均匀。附图说明:图1为现有蚀刻装置的结构示意图;图2为本技术提高引线框架加工精度的蚀刻装置的结构示意图;现有技术图中:1a-蚀刻槽,2a-喷淋架,3a-喷管,4a-喷嘴,5a-工作台面;本技术图中:1-蚀刻槽,2-喷淋架,3-喷管,4-喷嘴,5-工作台面,6-气管,7-气嘴,8-软管,9-左右摆动装置,10-上下升降装置。具体实施方式下面结合附图,并结合实施例对本技术做进一步的说明。实施例:一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置,包括蚀刻槽1以及设置在蚀刻槽1上方的喷淋机构,所述蚀刻槽1内设有工作台面5,所述喷淋机构包括喷淋架2、设置在喷淋架2上的用于输送蚀刻液的喷管3、以及与喷管3相连通的位于工作台面5上方的多个喷嘴4,所述喷淋架2上还设有用于输送高压气体的气管6以及与气管6相连通的位于工作台面5上方的多个气嘴7。本技术提高引线框架加工精度的蚀刻装置在喷淋架2上设置了可喷射高压气体的气嘴7,这样可利用气嘴7快速吹走工件表面积留的旧的蚀刻液以消除水池效应,从而可使新的蚀刻液可以均匀接触到工件表面,这样有利于蚀刻的进行,使得侧蚀宽度较小,且各部位侧蚀宽度较为均匀,最终提高了产品的精度。作为优选,所有气嘴7安装角度一致且至少沿工作台面5的前后方向均匀布设一行,前后方向是指沿工作台面5的长度方向,左右方向是指沿工作台面5的宽度方向。气嘴7安装角度一致,可避免气嘴7喷射的气体压力交叉而相互抵消,将气嘴7均匀布设,能保证高压气体均匀喷射工件的表面,从而能均匀去除积液。作为优选,相邻气嘴7之间的前后间距为7-15cm。该设置可使工件表面各位置均能可靠喷射到高压气体。作为优选,所述工作台面5沿左侧或右侧倾斜5°-10°。该设置可使反应后的旧的蚀刻液能依靠自身重力的作用自然回流到蚀刻槽1内,进一步减少旧的蚀刻液的积留。作为优选,所述喷嘴4均匀布设且通过软管8与喷管3相连通,所有喷嘴4还通过同一左右摆动装置9与喷淋架2相连,所述左右摆动装置9为现有技术。该设置可使所有喷嘴4统一左右摆动,蚀刻液喷射面积更广,更均匀,从而可使侧蚀宽度减小且更均匀。作为优选,所述左右摆动装置9的左右摆动幅度为3-8cm。合理的摆动角度既能使蚀刻液喷射面积更广,喷射更均匀,而且不易喷射到工件外造成浪费。作为优选,所述左右摆动装置9还通过上下升降装置10与喷淋架2相连,所述上下升降装置10为现有技术。该设置使得喷嘴4不仅可沿左右方向摆动,而且可沿上下方向升降,在前半蚀刻流程表面还未刻透时,蚀刻速度较慢,可通过上下升降装置10降低喷嘴4的高度以使蚀刻液更容易进入到工件,而在后半蚀刻流程中,可通过上下升降装置10升高喷嘴4的高度,以保证前后蚀刻流程蚀刻速度基本一致,从而可使侧蚀宽度进一步减小且侧蚀宽度更均匀。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置,包括蚀刻槽(1)以及设置在蚀刻槽(1)上方的喷淋机构,所述蚀刻槽(1)内设有工作台面(5),所述喷淋机构包括喷淋架(2)、设置在喷淋架(2)上的用于输送蚀刻液的喷管(3)、以及与喷管(3)相连通的位于工作台面(5)上方的多个喷嘴(4),其特征在于:所述喷淋架(2)上还设有用于输送高压气体的气管(6)以及与气管(6)相连通的位于工作台面(5)上方的多个气嘴(7)。

【技术特征摘要】
1.一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置,包括蚀刻槽(1)以及设置在蚀刻槽(1)上方的喷淋机构,所述蚀刻槽(1)内设有工作台面(5),所述喷淋机构包括喷淋架(2)、设置在喷淋架(2)上的用于输送蚀刻液的喷管(3)、以及与喷管(3)相连通的位于工作台面(5)上方的多个喷嘴(4),其特征在于:所述喷淋架(2)上还设有用于输送高压气体的气管(6)以及与气管(6)相连通的位于工作台面(5)上方的多个气嘴(7)。2.根据权利要求1所述的一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置,其特征在于:所有气嘴(7)安装角度一致且至少沿工作台面(5)的前后方向均匀布设一行。3.根据权利要求2所述的一种提高引线框架加工精度的蚀刻装置,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:李南生郑康定郑康良冯小龙
申请(专利权)人:宁波康强电子股份有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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