【技术实现步骤摘要】
基于电液放大的三自由度精密微位移探针
本技术属于精密测量领域，具体涉及一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针。
技术介绍
随着现代工业技术的发展和科学技术的不断前进，机械设备正在朝着大型、高速、精密的方向发展，对机械设备运行中微小位移检测需求也愈加提升。但是在位移检测中普遍采用惯性传感单元、拉线传感器、磁致伸缩位移传感器等方法，进行位移检测，但是由于传感器自身体积尺寸以及安装方式的限制，对于微小物体位移检测颇为困难；机械探针式的则可实现对一特征点进行位移检测，为了实现多方向的位移检测，则需要串联多个关节臂，采用串联结构后系统刚度比较差，整体上表现为系统精度难以控制，在测量空间上表现出精度的不均匀性。并联机构具有刚度好、运动惯量轻、天然的误差平均效应等独特的优点，在并联机器人、并联机床和MEMS执行器件上已得到非常成熟的应用，但是在位移测量的领域，并联机构却没有很好的应用。同时在微位移放大结构中，通常会采用柔性杆组串联进行位移放大，但是由于柔性杆组串联放大结构复杂，且由于柔性构件本身的柔性属性，累积使得其刚性差，对微小位移不敏感，难以精确捕捉。
技术实现思路
本技术要解决...
【技术保护点】
1.一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针，其特征在于，包括基座、探针头和三个测量臂；所述测量臂包括电液放大器和连杆，所述电液放大器内部设有腔体，所述腔体的开口处设有活塞，所述腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段，所述小直径段位于所述电液放大器固定连接于所述基座的一端，所述小直径段设有压电陶瓷，所述变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小，所述活塞沿所述大直径段做轴向运动；所述腔体在所述活塞与所述压电陶瓷之间充满液体；所述连杆的两端分别设有柔性球铰以分别连接于所述电液放大器的活塞和所述探针头。
【技术特征摘要】
1.一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针，其特征在于，包括基座、探针头和三个测量臂；所述测量臂包括电液放大器和连杆，所述电液放大器内部设有腔体，所述腔体的开口处设有活塞，所述腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段，所述小直径段位于所述电液放大器固定连接于所述基座的一端，所述小直径段设有压电陶瓷，所述变直径段的横截面直径由下至上逐渐减小，所述活塞沿所述大直径段做轴向运动；所述腔体在所述活塞与所述压电陶瓷之间充满液体；所述连杆的两...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜孝吾，刘毅，邹铭轩，仇芳，
申请(专利权)人：浙江大学宁波理工学院，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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