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本实用新型公开了一种基于电液放大的三自由度精密微位移探针，包括基座、探针头和三个测量臂。测量臂包括电液放大器和连杆，电液放大器内部设有腔体，腔体包括依次设置的小直径段、变直径段和大直径段，小直径段位于电液放大器固定连接于基座的一端，小直径段...
该专利属于浙江大学宁波理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学宁波理工学院授权不得商用。

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