【技术实现步骤摘要】
晶圆盒电子标签电量报警装置
本专利技术涉及半导体领域，特别涉及晶圆盒电子标签电量报警装置。
技术介绍
随着半导体技术的发展，半导体企业都会利用软件控制系统来达到使半导体生产设备生产能力最大化的目的。这一系列控制系统的核心即为制造执行系统（ManufacturingExecutionSystem，MES）。MES系统具有强大的数据采集引擎，数据采集渠道覆盖整个工厂制造现场，保证实时、准确、全面的采集现场数据，其记录了产品信息参数和设备信息参数等数据。晶圆从生产制造到运送，都需在密闭无尘的条件下进行，而晶圆是装载于晶圆盒中完成生产制造的各项工艺流程的，晶圆随晶圆盒进出设备，以完成某个工艺制程，并通过晶圆盒上的电子标签，与MES系统建立数据连接，实时更新产品信息参数，操作员根据电子标签上的信息参数，对产品（即晶圆）按照生产工艺流程进行处理。晶圆盒上的电子标签有显示器和按钮，可以显示晶圆的产品信息并通过按钮进行翻页操作，电子标签包括外壳和底座，底座嵌于晶圆盒上，电子标签通过底座固定在晶圆盒上。电子标签的供电电源为电池供应的直流电源，而电池是一种有限的储能装置，电池电量用尽...
【技术保护点】
1.晶圆盒电子标签电量报警装置，其特征在于，包括：具有刚性导电性的U型杆、具有刚性导电性的连接杆、支架、提供辐向均匀分布的磁场的永久磁铁、具有导电性的接触点、报警灯；所述U型杆设于提供用电装置电源的进线上，所述U型杆的进线端与电池的其中一极通过导线相连接，所述U型杆的出线端与用电装置通过导线相连接；所述U型杆包括受力旋转U型体和旋转轴，所述受力旋转U型体与所述旋转轴一体成型；所述受力旋转U型体在同一平面上，与所述旋转轴呈直角固定连接；所述旋转轴上有与所述旋转轴呈直角固定连接的随所述旋转轴转动的所述连接杆，所述旋转轴还具有与所述受力旋转U型体固定相连的在同一轴线上的前端和后端...
【技术特征摘要】
1.晶圆盒电子标签电量报警装置，其特征在于，包括：具有刚性导电性的U型杆、具有刚性导电性的连接杆、支架、提供辐向均匀分布的磁场的永久磁铁、具有导电性的接触点、报警灯；所述U型杆设于提供用电装置电源的进线上，所述U型杆的进线端与电池的其中一极通过导线相连接，所述U型杆的出线端与用电装置通过导线相连接；所述U型杆包括受力旋转U型体和旋转轴，所述受力旋转U型体与所述旋转轴一体成型；所述受力旋转U型体在同一平面上，与所述旋转轴呈直角固定连接；所述旋转轴上有与所述旋转轴呈直角固定连接的随所述旋转轴转动的所述连接杆，所述旋转轴还具有与所述受力旋转U型体固定相连的在同一轴线上的前端和后端，前端与电池通过导线相连接，后端通过导线与用电装置相连接，该前端与所述前端支架上的螺旋弹簧的其中一端固定连接，该后端与所述后端支架上的螺旋弹簧的其中一端固定连接；所述连接杆设于所述U型杆的进线端通过所述U型杆和导线与电池的其中一极相连接，所述连接杆还通过所述接触点的碰接与所述报警灯及电池的另一极相连接；所述支架具有前端支架和后端支架，所述前端支架与所述旋转轴的前端相连接，所述后端支架与所述旋转轴的后端相连接，所述支架固定在...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳富，
申请(专利权)人：郑州工业应用技术学院，
类型：发明
国别省市：河南,41
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。