一种能够快速干燥压杆的承载花篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能够快速干燥压杆的承载花篮，包括压杆和侧挡板，所述侧挡板共设置有两个，所述侧挡板呈盾牌型板体结构，所述侧挡板的上端中心位置开设有向下延伸的滑槽，所述侧挡板的内部中心位置处开设有贯流孔，所述侧挡板位于贯流孔的两侧对称开设有四个限位槽，所述四个限位槽和滑槽的侧壁对称开设有卡槽。本实用新型专利技术中，在侧挡板的位于贯流孔的两侧开设有限位槽，在压杆的两端连接有连接卡,其中，在连接卡的卡座内部通过复位弹簧弹性连接活动杆，在活动杆的两侧转动连接有通过扭转弹簧弹性连接的转动卡块，通过按压活动杆实现侧挡板与压杆之间连接，提高承载花篮安装和拆卸速度。

A Bearing Basket for Quick Drying of Pressure Rod

【技术实现步骤摘要】
一种能够快速干燥压杆的承载花篮
本技术涉及半导体湿式制程设备
，具体涉及一种能够快速干燥压杆的承载花篮。
技术介绍
由于集成电路内各元件及连线相当微细，因此制造过程中，如果遭到尘粒、金属的污染，很容易造成晶片内电路功能的损坏，形成短路或断路等，导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。因此在制作过程中除了要排除外界的污染源外，集成电路制造步骤如高温扩散、离子植入前等均需要进行湿法清洗或干法清洗工作。半导体制程中需要一些有机物和无机物参与完成，另外，制作过程总是在人的参与下在净化室中进行，这样就不可避免的产生各种环境对硅片污染的情况发生。根据污染物发生的情况，大致可将污染物分为颗粒、有机物、金属污染物及氧化物。现有的承载花篮在承载晶片进行清洗的过程中，承载花篮的安装和拆卸存在一定的不便性，同时压杆接触清洗液体不易干燥。
技术实现思路
本技术的目的在于：为了解决承载花篮的安装和拆卸存在一定的不便性，同时压杆接触清洗液体不易干燥的问题，提供一种能够快速干燥压杆的承载花篮。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种能够快速干燥压杆的承载花篮，包括压杆和侧挡板，所述侧挡板共设置有两个，所述侧挡板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能够快速干燥压杆的承载花篮，其特征在于，包括压杆(100)和侧挡板(200)，所述侧挡板(200)共设置有两个，所述侧挡板(200)呈盾牌型板体结构，所述侧挡板(200)的上端中心位置开设有向下延伸的滑槽(210)，所述侧挡板(200)的内部中心位置处开设有贯流孔(230)，所述侧挡板(200)位于贯流孔(230)的两侧对称开设有四个限位槽(220)，所述四个限位槽(220)和滑槽(210)的侧壁对称开设有卡槽(240)；两个所述侧挡板(200)之间固定有五个压杆(100)，其中，四个限位槽(220)之间卡接固定有四个压杆(100)，滑槽(210)内部滑动连接有一个压杆(100)，所述...

【技术特征摘要】
1.一种能够快速干燥压杆的承载花篮，其特征在于，包括压杆(100)和侧挡板(200)，所述侧挡板(200)共设置有两个，所述侧挡板(200)呈盾牌型板体结构，所述侧挡板(200)的上端中心位置开设有向下延伸的滑槽(210)，所述侧挡板(200)的内部中心位置处开设有贯流孔(230)，所述侧挡板(200)位于贯流孔(230)的两侧对称开设有四个限位槽(220)，所述四个限位槽(220)和滑槽(210)的侧壁对称开设有卡槽(240)；两个所述侧挡板(200)之间固定有五个压杆(100)，其中，四个限位槽(220)之间卡接固定有四个压杆(100)，滑槽(210)内部滑动连接有一个压杆(100)，所述压杆(100)由轴杆(110)及其两端焊接的连接卡(130)组成，所述轴杆(110)的外壁等距设置有多个卡齿(120)，所述连接卡(130)包括底板(135)和卡座(134)，所述卡座(134)的内部为腔体结构，所述卡座(134)与底板(135)连接的内底固定有复位弹簧(131)，所述复位...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘梦梦，罗文滨，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34