【技术实现步骤摘要】
一种适应不同硅片尺寸石英舟
本技术涉及石英舟
，特别涉及一种适应不同硅片尺寸石英舟。
技术介绍
石英舟是扩散工艺的必备工具，由于其耐高温、不变形等优良特性，石英舟作硅片的载体已成为太阳能扩散工艺中的常规选择。现有技术中的石英舟根据所需承载硅片的大小进行定制，定制出来的石英舟往往只能适应一种规格的硅片，当硅片规格不同时，需要更换石英舟对硅片进行承载，这样就造成了成本的提高。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够适应不同硅片规格尺寸的石英舟。为了实现上述技术目的，本技术一种适应不同硅片尺寸石英舟采用了如下技术方案：一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板结构相同且相互平行设置，所述第一侧板开有阶梯形的第一通槽，所述阶梯形的第一通槽包括多个槽角，所述第一通槽相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，所述第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，所述第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱，第一石英柱的两端分别插入第一...
【技术保护点】
1.一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板结构相同且相互平行设置，其特征在于：所述第一侧板开有阶梯形的第一通槽，所述阶梯形的第一通槽包括多个槽角，所述第一通槽相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，所述第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，所述第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱，第一石英柱的两端分别插入第一通槽、第三通槽的槽角，第二石英柱的两端分别插入第二通槽、第四通槽的槽角。
【技术特征摘要】
1.一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板结构相同且相互平行设置，其特征在于：所述第一侧板开有阶梯形的第一通槽，所述阶梯形的第一通槽包括多个槽角，所述第一通槽相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，所述第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，所述第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱，第一石英柱的两端分别插入第一通槽、第三通槽的槽角，第二石英柱的两端分别插入第二通槽、第四通槽的槽角。2.根据权利要求1所述的适应不同硅片尺寸石英舟，其特征在于：所述第一石英柱包括带有硅片卡槽的承载部和用于插入第一通槽槽角的支撑部，所述承载部为长方体形，所述承载部的一面沿石英柱...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔超，徐亮荣，郭辉，
申请(专利权)人：扬州美和光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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