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本实用新型公开了一种适应不同硅片尺寸石英舟。该石英舟包括结构相同且相互平行设置的第一侧板和第二侧板，第一侧板开有阶梯形的第一通槽，阶梯形的第一通槽包括多个槽角，第一通槽相对于水平面倾斜设置，第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，第一侧板还开有...
该专利属于扬州美和光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州美和光电科技有限公司授权不得商用。

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