一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管制造技术

一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管，包括P型衬底，在P型衬底上设有氧化层埋层，在氧化层埋层上设有N型漂移区，其特征在于，在N型漂移区的表面设有二氧化硅氧化层，在N型漂移区内设有LIGBT和NMOS，所述LIGBT包括第一N型重掺杂区，在第一N型重掺杂区内设有P型重掺杂阳极区，所述NMOS包括第二N型重掺杂区，在第二N型重掺杂区内设有P型阱区，在P型阱区内包围有N型重掺杂阳极区，所述第二N型重掺杂区与P型阱区电连接，在二氧化硅氧化层内设有多晶硅栅且所述多晶硅栅自N型重掺杂阳极区的上方区域跨过P型阱区并进入第二N型重掺杂区的上方区域，所述多晶硅栅还与N型重掺杂阳极区及P型重掺杂阳极区连接。

An Anode Short Circuit Transverse Insulated Gate Bipolar Transistor for Eliminating Negative Resistance Effect

【技术实现步骤摘要】
一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管
本专利技术主要涉及功率半导体器件
，是一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管。
技术介绍
横向绝缘栅双极型晶体管(LateralInsulatedGateBipolarTransistor，LIGBT)是MOS栅器件结构与双极型晶体管结构相结合进化而成的复合型功率器件，其具备MOS场效应晶体管与双极型晶体管的特点，具有易于集成、耐压高、驱动电流能力强等优点，在功率集成电路中得到了广泛应用。在桥式电路应用中，LIGBT常作为开关管来使用，但传统的LIGBT因存在严重的拖尾电流现象，使其关断速度较慢，关断损耗过高，严重限制了其在高频领域中的应用，同时，桥式电路在换相工作期间，需要在LIGBT两端并联额外的快恢复二极管用于续流，这大幅地增加了系统的成本。为了解决上述问题，目前主流的方案是采用阳极短路型LIGBT结构，例如阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管(SA-LIGBT)、分离的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管(SSA-LIGBT)、分段的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管(SEG-LIGBT)，目的是在关断期间提供一条电子抽取路径，进而提高关断速度，此外，该结构内部集成的体二极管可作为续流二极管来使用。但这些器件在提高关断速度的同时，又会带来一些新的问题，由于阳极区域N型重掺杂区域的存在，器件导通时存在单极型和双极型两种不同的导电形式，导致产生严重的负阻现象。负阻效应会导致器件在刚导通时具有较大的导通压降，极大地增加了器件的导通损耗，降低器件的导通性能；不仅如此，负阻效应引起的较大电压变化还会引起器件稳定性的问题，使得器件容易发生失效。对于分离的阳极短路结构SSA-LIGBT，虽然利用阳极N型重掺杂区域与P型重掺杂区域之间低掺杂的漂移区浓度增加其之间的等效电阻，抑制了负阻效应，但是其占用面积较大且负阻效应带来的影响依旧存在。因此，在提高LIGBT的关断速度和降低关断损耗的基础上有效消除负阻效应成为功率集成电路设计中需要亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题，提出了一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管结构，本专利技术不仅消除了阳极短路结构中存在的负阻效应，并且进一步提高了器件的关断速度。本专利技术的技术方案如下：一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管，包括P型衬底，在P型衬底上设有氧化层埋层，在氧化层埋层上设有N型漂移区，其特征在于，在N型漂移区的表面设有二氧化硅氧化层，在N型漂移区内设有横向绝缘栅双极型晶体管和N型金属氧化物半导体场效应晶体管，所述横向绝缘栅双极型晶体管包括设在N型漂移区内的第一N型重掺杂区且第一N型重掺杂区位于N型漂移区的表面，在第一N型重掺杂区内设有P型重掺杂阳极区，所述N型金属氧化物半导体场效应晶体管包括设在N型漂移区内的第二N型重掺杂区，在第二N型重掺杂区内设有P型阱区，在P型阱区内包围有N型重掺杂阳极区，所述第二N型重掺杂区与P型阱区电连接，在二氧化硅氧化层内设有多晶硅栅且所述多晶硅栅自N型重掺杂阳极区的上方区域跨过P型阱区并进入第二N型重掺杂区的上方区域，所述多晶硅栅还与N型重掺杂阳极区及P型重掺杂阳极区连接。与现有技术相比，本专利技术结构具有如下优点：1、本专利技术通过合理调节阳极侧P型体阱区14的浓度以及阳极侧NMOS管的栅氧层厚度，使得在阳极电压较低时P型阱区14能够阻挡电子电流流入阳极侧N型重掺杂区域6，避免器件处于单极导电模式。当阳极电压达到PN结J1开启电压时，器件直接进入双极导电模式，进而避免了从单极导电模式向双极导电模式的转换过程，从根本上消除了在现有的SSA-LIGBT结构中存在的负阻效应。在现有的SSA-LIGBT器件处于正向导通状态时，器件的衬底和阴极端均接低电位，栅极和阳极端均接高电位。当现有的SSA-LIGBT的阳极电流较低时，此时电子载流子可直接从N型重掺杂阴极区12经电子沟道流向器件的N型重掺杂阳极区6，故而现有的SSA-LIGBT器件正向导通时不存在死区电压，其正向导通特性局部曲线放大图如图4(a)所示。此时P型重掺杂阳极区7未向漂移区中注入空穴，因而N型漂移区3中未发生电导调制效应，器件处于单极导电模式。如图3(a)所示，阳极侧N型重掺杂阳极区6与P型重掺杂阳极区7之间存在一定的等效电阻，当电子载流子经P型重掺杂阳极区7下方流向N型重掺杂阳极区6时，在第一N型重掺杂区4与N型重掺杂阳极区6之间产生一定的电势差。由于P型重掺杂阳极区7与N型重掺杂阳极区6具有相同电位，因此随着阳极电流增大，第一N型重掺杂区4与第二N型重掺杂区5之间的电势差逐渐增大，即P型重掺杂阳极区7与第一N型重掺杂区域4之间的电势差逐渐增大并最终使得P型重掺杂阳极区7与第一N型重掺杂区4构成的PN结J1开启，P型重掺杂阳极区7开始向N型漂移区3中注入空穴，此时现有的SSA-LIGBT中的N型漂移区3中发生电导调制现象，器件最终进入双极导电模式。器件从单极导电模式向双极导电模式转换的过程会产生负阻效应，最终导致图4(b)中的阳极导通压降的折返现象。本专利技术结构在处于正向导通时，器件的衬底和阴极端均接低电位，栅极和阳极端均接高电位。当阳极电流较低时，阳极侧重掺杂的P型体阱区14可构成电子电流的阻挡层，电子载流子消除法直接流到N型重掺杂阳极区6中，因而本专利技术结构会存在图4(a)所示的0.7V左右的死区电压，其正向导通特性曲线局部放大图如图4(a)所示。当阳极电压高于死区电压时，由第一N型重掺杂区4和P型重掺杂阳极区7构成的PN结J1处于开启状态，P型重掺杂阳极区7开始向漂移区中注入空穴载流子，漂移区中发生电导调制现象，进而器件直接进入双极导电模式。本专利技术结构可以避免在较低阳极电流条件下出现单极导电模式，进而避免了从单极导电模式向双极导电模式的转换过程，从根本上消除了在现有的SSA-LIGBT结构中存在的负阻效应。2、本专利技术相比于现有的SSA-LIGBT可以进一步提升器件的关断速度。本专利技术在正向导通阶段，因为第一N型重掺杂区4和第二N型重掺杂区5之间存在一定的导通电阻，其等效电阻示意图为图3(b)，第二N型重掺杂区5和第一N型重掺杂区4以及P型重掺杂阳极区7之间会存在一定的电势差。又因为P型阱区14与第二N型重掺杂区5具有相同的电位，多晶硅栅15与P型重掺杂阳极区7具有相同电位，因而P型阱区14与多晶硅栅15之间存在一定的电势差，并且随着阳极电流增大，该电势差会进一步增大。当阳极电流增大到一定程度时，多晶硅栅15与P型阱区14之间的电势差达到NMOS管的阈值电压，NMOS的P型阱区14表面形成了电子沟道，此时从N型重掺杂阴极区12发射的电子载流子一部分仍会流向P型重掺杂阳极区7，其余部分会分流到N型重掺杂阳极区6。因此本专利技术结构可以降低高正向导通电流密度条件下N型漂移区3中存储的载流子浓度，从而减少了器件在关断时需要抽取的载流子数目。图5(a)是沿着器件结构纵坐标Y＝20μm所截取的空穴载流子分布示意图，本专利技术结构N型漂移区3中的存储载流子浓度相比于现有的SSA-LIGBT可得到明显降低，进而关断速度能够得到提升，本专利技术结构与现有的SSA-LIGBT结构的关断对比图如图5(b)所示，可以看出本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管，包括P型衬底(1)，在P型衬底(1)上设有氧化层埋层(2)，在氧化层埋层(2)上设有N型漂移区(3)，其特征在于，在N型漂移区(3)的表面设有二氧化硅氧化层(9)，在N型漂移区(3)内设有横向绝缘栅双极型晶体管和N型金属氧化物半导体场效应晶体管，所述横向绝缘栅双极型晶体管包括设在N型漂移区(3)内的第一N型重掺杂区(4)且第一N型重掺杂区(4)位于N型漂移区(3)的表面，在第一N型重掺杂区(4)内设有P型重掺杂阳极区(7)，所述N型金属氧化物半导体场效应晶体管包括设在N型漂移区(3)内的第二N型重掺杂区(5)，在第二N型重掺杂区(5)内设有P型阱区(14)，在P型阱区(14)内包围有N型重掺杂阳极区(6)，所述第二N型重掺杂区(5)与P型阱区(14)电连接，在二氧化硅氧化层(9)内设有多晶硅栅(15)且所述多晶硅栅(15)自N型重掺杂阳极区(6)的上方区域跨过P型阱区(14)并进入第二N型重掺杂区(5)的上方区域，所述多晶硅栅(15)还与N型重掺杂阳极区(6)及P型重掺杂阳极区(7)连接。

【技术特征摘要】
1.一种消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管，包括P型衬底(1)，在P型衬底(1)上设有氧化层埋层(2)，在氧化层埋层(2)上设有N型漂移区(3)，其特征在于，在N型漂移区(3)的表面设有二氧化硅氧化层(9)，在N型漂移区(3)内设有横向绝缘栅双极型晶体管和N型金属氧化物半导体场效应晶体管，所述横向绝缘栅双极型晶体管包括设在N型漂移区(3)内的第一N型重掺杂区(4)且第一N型重掺杂区(4)位于N型漂移区(3)的表面，在第一N型重掺杂区(4)内设有P型重掺杂阳极区(7)，所述N型金属氧化物半导体场效应晶体管包括设在N型漂移区(3)内的第二N型重掺杂区(5)，在第二N型重掺杂区(5)内设有P型阱区(14)，在P型阱区(14)内包围有N型重掺杂阳极区(6)，所述第二N型重掺杂区(5)与P型阱区(14)电连接，在二氧化硅氧化层(9)内设有多晶硅栅(15)且所述多晶硅栅(15)自N型重掺杂阳极区(6)的上方区域跨过P型阱区(14)并进入第二N型重掺杂区(5)的上方区域，所述多晶硅栅(15)还与N型重掺杂阳极区(6)及P型重掺杂阳极区(7)连接。2.根据权利要求1所述的消除负阻效应的阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管，其特征在于，所述阳极短路型横向绝缘栅双极型晶体管还包括场氧化层(8)、作为栅极G的多晶硅栅极(10)、P型体区(13)及相互连接并作为阴极C的P型重掺杂阴极区(11)和N型重掺杂阴极区(12)，场氧化层(8)设在N型漂移区(3)与二氧化硅氧化层(9)之间，P型体区(13)设...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝靖，邹艳勤，李少红，孙伟锋，陆生礼，时龙兴，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32