用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具。该工具包括卡具、滑动尺及指示器，其中卡具由Γ形框架和设置在框架横梁上的卡具尺构成，框架横梁上具有刻度；滑动尺设置在卡具尺与框架竖梁之间的位置上，并可以沿框架横梁自由滑动，该滑动尺与框架横梁垂直，该滑动尺上有刻度；在该滑动尺上通过连接部连接有指示器。采用本实用新型专利技术的工具能够方便准确的测量出单晶硅收尾卡或断的位置以及所需要的相关几何数据。本实用新型专利技术结构简单，容易制作加工，操作简单，误差小。

A Tool for Standardized Measurement of Geometric Data at the Tail of Czochralski Silicon Bar

【技术实现步骤摘要】
用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具
本技术涉及一种用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具，属于半导体材料

技术介绍
单晶硅材料是目前最重要的半导体材料之一，其IC级单晶可直接用于芯片材料的衬底。而大直径单晶硅棒是可用于半导体生产设备的重要耗材，随着半导体行业的兴起，市场对大直径硅棒材料的需求日益增大。直径越大，硅棒生长的难度越大，尤其是对晶体完整性的要求。在单晶硅棒的收尾阶段极容易出现单晶卡棱的现象(单晶的完整性遭到了破坏，后续晶体不再是单晶结构)或收尾断的情况。由于单晶的各向异性，多晶的各向同性，我们需要将多晶的部分切除。在实践过程中，许多单晶的位错线并非反至少一个直径，甚至同品种、同直径的单晶位错线延伸的长度都不相同。但在同工艺同品种下发生卡或断的单晶反位错线长度确是固定的。这就需要对卡棱(单晶结构遭到破坏)的位置进行准确的标定以及对尾部相关几何数据进行预估和数据的积累。当前对于收尾断或者卡棱单晶的处理办法有：人工通过目测划线的方式进行标记，再用卷尺等测量工具进行简单的测量，记录数据后再进行简单的评估。其缺点明显，例如误差大，容易造成后续加工的复杂化(位错未切干净导致单晶容易出现裂纹，单晶反切次数多等)。
技术实现思路
在现有技术中，在拉制出大直径单晶硅棒后，由于单晶尾部长度的测量受工具限制，易出现测量误差。因此，本技术的目的在于提供一种用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具，以方便准确的测量出单晶硅收尾卡或断的位置以及所需要的相关几何数据，从而提高对单晶位错线长度估算的准确度。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具，该工具包括卡具、滑动尺及指示器，其中卡具由Γ形框架和设置在框架横梁上的卡具尺构成，框架横梁上具有刻度；滑动尺设置在卡具尺与框架竖梁之间的位置上，并可以沿框架横梁自由滑动，该滑动尺与框架横梁垂直，该滑动尺上有刻度；在该滑动尺上通过连接部连接有指示器。优选地，所述卡具尺与所述框架竖梁平行。优选地，所述指示器可沿着与所述滑动尺垂直的方向上下移动。本技术的优点在于：采用本技术的工具能够方便准确的测量出单晶硅收尾卡或断的位置以及所需要的相关几何数据。不同的操作人员可以测量出误差较小的几何数据。在此基础上能有效的找到单晶位错线长度。本技术结构简单，容易制作加工，操作简单，误差小。本方法易于掌握，寻找位错线长度效果明显，可减少后续截断取样。附图说明图1为本技术的工具的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步说明，但本技术的实施方式不限于此。如图1所示，为本技术的工具的结构示意图，该工具包括卡具1、滑动尺5及指示器7，其中卡具1由Γ形框架和设置在框架横梁上的卡具尺4构成，框架横梁2上具有刻度，卡具尺4与框架竖梁3平行；滑动尺5设置在卡具尺4与框架竖梁3之间的位置上，并可以沿框架横梁2自由滑动，该滑动尺5与框架横梁2垂直，该滑动尺上有刻度；在该滑动尺5上通过连接部6连接有指示器7，该指示器7的位置可调，该指示器7可在该连接部6沿着与滑动尺5垂直的方向移动。通过将单晶置于卡具的竖梁2和横梁3之间可大致测出单晶直径，通过卡量可以大致确定收尾位置。在确认收尾位置后，将卡具尺4卡好，将滑动尺5移至单晶直径的大致中心处，通过指示器7确认收尾卡或收尾断的位置，并在滑动尺5上读出刻度值，即可得到单晶硅尾部几何数据。采用该工具找到单晶或卡或断的位置，观察单晶自身情况、判断亮线的长度，考虑拉制过程中有无影响位错线及表面亮线的因素后，对单晶品种及其单晶卡断情况分类。通过对同品种、同工艺单晶、同卡断情况的卡断位置对应无位错位置的几何数据的积累，可以找到该情况下该类单晶较为固定的位错线长度。理论上在绝对相同条件下，反位错线的长度应该是固定的，通过该工具标准化测量，得到尾部卡断几何数据，再取样或泡单晶得到位错线结束位置。这样就完成了该条件下一根单晶的无位错位置的几何数据的积累。该数据越多，则对位错线判断越准确，直到找到该条件下趋近无位错位置的长度。这样就完成了该条件的数据积累。在遇到相同情况的单晶时，用该标准化工具测量和对单晶工艺条件情况判断的准确。则完全可以估算出位错线的位置。再通过对单晶表面亮线的观察，可以辅助大致判断其该长度位错线的单晶分类情况是否准确。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具，其特征在于，该工具包括卡具、滑动尺及指示器，其中卡具由Γ形框架和设置在框架横梁上的卡具尺构成，框架横梁上具有刻度；滑动尺设置在卡具尺与框架竖梁之间的位置上，并可以沿框架横梁自由滑动，该滑动尺与框架横梁垂直，该滑动尺上有刻度；在该滑动尺上通过连接部连接有指示器。

【技术特征摘要】
1.一种用于标准化测量直拉单晶硅棒尾部几何数据的工具，其特征在于，该工具包括卡具、滑动尺及指示器，其中卡具由Γ形框架和设置在框架横梁上的卡具尺构成，框架横梁上具有刻度；滑动尺设置在卡具尺与框架竖梁之间的位置上，并可以沿框架横梁自由滑动，该滑动尺与框架横梁垂直，该滑动尺上有刻度；...

【专利技术属性】
技术研发人员：扈晨，王雅楠，李亚光，赵振辉，盖晶虎，王冬梅，
申请(专利权)人：有研半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11