半导体加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了半导体加工设备，包括工作台，所述工作台底部的四角均固定连接有支撑脚，所述支撑脚的底部固定连接有防滑垫，所述工作台顶部的两侧均固定连接有侧板。本实用新型专利技术通过设置加热箱、吹风槽、加热装置、吹风装置、抽风管、抽风机、安装机构、固定板、吹风管、横管、固定机构、横板和吹风罩相互配合，达到了均匀加热的优点，解决了现有的半导体加工设备加热不均匀，导致半导体在进行加热氧化时，半导体表面氧化不均匀，造成半导体的残次品增多的问题，使半导体在进行加热氧化时，能够均匀的对半导体表面进行氧化，减少了半导体的残次品，降低了工厂的生产成本，从而提高了半导体加工设备的实用性。

Semiconductor Processing Equipment

【技术实现步骤摘要】
半导体加工设备
本技术涉及半导体加工
，具体为半导体加工设备。
技术介绍
半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。半导体在进行加工时，需要对其表面进行氧化，而氧化需要对半导体进行加热，目前现有的半导体加工设备加热不均匀，导致半导体在进行加热氧化时，半导体表面氧化不均匀，造成半导体的残次品增多，增加了工厂的生产成本，从而降低了半导体加工设备的实用性。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了半导体加工设备，具备均匀加热的优点，解决了现有的半导体加工设备加热不均匀，导致半导体在进行加热氧化时，半导体表面氧化不均匀，造成半导体的残次品增多的问题。(二)技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：半导体加工设备，包括工作台，所述工作台底部的四角均固定连接有支撑脚，所述支撑脚的底部固定连接有防滑垫，所述工作台顶部的两侧均固定连接有侧板，所述侧板的内侧设置有传送带，所述侧板的顶部固定连接有顶板，所述顶板的底部固定连接有加热箱，所述加热箱的底部开设有吹风槽，所述加热箱的内腔设置有加热装置，所述顶板顶部的四角均设置有吹风装置，所述加热箱两侧的底部均连通有抽风管，所述抽风管远离加热箱的一端贯穿至侧板的外侧并连通有抽风机，所述抽风机的顶部设置有安装机构，所述安装机构的顶部设置有固定板，所述固定板的内侧与侧板外侧的顶部固定连接，所述抽风机底部连通有吹风管，所述吹风管的底部连通有横管，所述横管的两端均贯穿至侧板的外侧，所述横管底部的两侧均设置有固定机构，所述固定机构的底部设置有横板，所述横板的外侧与侧板内侧的底部固定连接，所述横管的顶部连通有吹风罩。优选的，所述加热装置包括导热块，所述导热块的外侧与加热箱的内壁固定连接，所述导热块的内侧固定连接有加热管，所述加热管的表面套设有加热丝，所述加热丝的两端均与导热块的内侧固定连接。优选的，所述吹风装置包括电机，所述电机的底部与顶板的顶部固定连接，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的底部贯穿至加热箱的内腔，所述转轴表面的底部固定连接有扇叶。优选的，所述安装机构包括安装支架，所述安装支架的底部与抽风机的顶部固定连接，所述安装支架的顶部固定连接有安装板，所述安装板的顶部通过螺栓与固定板的底部固定连接。优选的，所述固定机构包括固定柱，所述固定柱的顶部与横管的底部固定连接，所述固定柱的底部固定连接有固定块，所述固定块的底部通过螺栓与横板的顶部固定连接。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了半导体加工设备，具备以下有益效果：1、本技术通过设置加热箱、吹风槽、加热装置、吹风装置、抽风管、抽风机、安装机构、固定板、吹风管、横管、固定机构、横板和吹风罩相互配合，达到了均匀加热的优点，解决了现有的半导体加工设备加热不均匀，导致半导体在进行加热氧化时，半导体表面氧化不均匀，造成半导体的残次品增多的问题，使半导体在进行加热氧化时，能够均匀的对半导体表面进行氧化，减少了半导体的残次品，降低了工厂的生产成本，从而提高了半导体加工设备的实用性。2、本技术通过设置支撑脚和防滑垫，对工作台起到防滑的作用，解决了工作台在使用时出现滑动的问题，增加了工作台使用时的稳定性，通过设置加热装置，对加热箱内腔的空气起到加热的作用，且能够对半导体进行烘干加热，通过设置吹风装置，对加热箱内腔加热后的空气起到吹动的作用，使半导体的顶部能够均匀的受热，增加半导体的氧化均匀度，通过设置安装机构，对抽风机起到便于安装的作用，解决了抽风机在安装时较为繁琐的问题，通过设置固定机构，对横管起到固定的作用，解决了横管在使用时出现晃动的问题，增加了横管使用时的稳定性。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术左视结构剖面图；图3为本技术加热箱俯视剖面图。图中：1工作台、2支撑脚、3防滑垫、4侧板、5传送带、6顶板、7加热箱、8吹风槽、9加热装置、91导热块、92加热管、93加热丝、10吹风装置、101电机、102转轴、103扇叶、11抽风管、12抽风机、13安装机构、131安装支架、132安装板、14固定板、15吹风管、16横管、17固定机构、171固定柱、172固定块、18横板、19吹风罩。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，半导体加工设备，包括工作台1，工作台1底部的四角均固定连接有支撑脚2，支撑脚2的底部固定连接有防滑垫3，工作台1顶部的两侧均固定连接有侧板4，侧板4的内侧设置有传送带5，侧板4的顶部固定连接有顶板6，顶板6的底部固定连接有加热箱7，加热箱7的底部开设有吹风槽8，加热箱7的内腔设置有加热装置9，加热装置9包括导热块91，导热块91的外侧与加热箱7的内壁固定连接，导热块91的内侧固定连接有加热管92，加热管92的表面套设有加热丝93，加热丝93的两端均与导热块91的内侧固定连接，顶板6顶部的四角均设置有吹风装置10，吹风装置10包括电机101，电机101的底部与顶板6的顶部固定连接，电机101的输出端固定连接有转轴102，转轴102的底部贯穿至加热箱7的内腔，转轴102表面的底部固定连接有扇叶103，加热箱7两侧的底部均连通有抽风管11，抽风管11远离加热箱7的一端贯穿至侧板4的外侧并连通有抽风机12，抽风机12的顶部设置有安装机构13，安装机构13包括安装支架131，安装支架131的底部与抽风机12的顶部固定连接，安装支架131的顶部固定连接有安装板132，安装板132的顶部通过螺栓与固定板14的底部固定连接，安装机构13的顶部设置有固定板14，固定板14的内侧与侧板4外侧的顶部固定连接，抽风机12底部连通有吹风管15，吹风管15的底部连通有横管16，横管16的两端均贯穿至侧板4的外侧，横管16底部的两侧均设置有固定机构17，固定机构17包括固定柱171，固定柱171的顶部与横管16的底部固定连接，固定柱171的底部固定连接有固定块172，固定块172的底部通过螺栓与横板18的顶部固定连接，固定机构17的底部设置有横板18，横板18的外侧与侧板4内侧的底部固定连接，横管16的顶部连通有吹风罩19，通过设置支撑脚2和防滑垫3，对工作台1起到防滑的作用，解决了工作台1在使用时出现滑动的问题，增加了工作台1使用时的稳定性，通过设置加热装置9，对加热箱7内腔的空气起到加热的作用，且能够对半导体进行烘干加热，通过设置吹风装置10，对加热箱7内腔加热后的空气起到吹动的作用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.半导体加工设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)底部的四角均固定连接有支撑脚(2)，所述支撑脚(2)的底部固定连接有防滑垫(3)，所述工作台(1)顶部的两侧均固定连接有侧板(4)，所述侧板(4)的内侧设置有传送带(5)，所述侧板(4)的顶部固定连接有顶板(6)，所述顶板(6)的底部固定连接有加热箱(7)，所述加热箱(7)的底部开设有吹风槽(8)，所述加热箱(7)的内腔设置有加热装置(9)，所述顶板(6)顶部的四角均设置有吹风装置(10)，所述加热箱(7)两侧的底部均连通有抽风管(11)，所述抽风管(11)远离加热箱(7)的一端贯穿至侧板(4)的外侧并连通有抽风机(12)，所述抽风机(12)的顶部设置有安装机构(13)，所述安装机构(13)的顶部设置有固定板(14)，所述固定板(14)的内侧与侧板(4)外侧的顶部固定连接，所述抽风机(12)底部连通有吹风管(15)，所述吹风管(15)的底部连通有横管(16)，所述横管(16)的两端均贯穿至侧板(4)的外侧，所述横管(16)底部的两侧均设置有固定机构(17)，所述固定机构(17)的底部设置有横板(18)，所述横板(18)的外侧与侧板(4)内侧的底部固定连接，所述横管(16)的顶部连通有吹风罩(19)。...

【技术特征摘要】
1.半导体加工设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)底部的四角均固定连接有支撑脚(2)，所述支撑脚(2)的底部固定连接有防滑垫(3)，所述工作台(1)顶部的两侧均固定连接有侧板(4)，所述侧板(4)的内侧设置有传送带(5)，所述侧板(4)的顶部固定连接有顶板(6)，所述顶板(6)的底部固定连接有加热箱(7)，所述加热箱(7)的底部开设有吹风槽(8)，所述加热箱(7)的内腔设置有加热装置(9)，所述顶板(6)顶部的四角均设置有吹风装置(10)，所述加热箱(7)两侧的底部均连通有抽风管(11)，所述抽风管(11)远离加热箱(7)的一端贯穿至侧板(4)的外侧并连通有抽风机(12)，所述抽风机(12)的顶部设置有安装机构(13)，所述安装机构(13)的顶部设置有固定板(14)，所述固定板(14)的内侧与侧板(4)外侧的顶部固定连接，所述抽风机(12)底部连通有吹风管(15)，所述吹风管(15)的底部连通有横管(16)，所述横管(16)的两端均贯穿至侧板(4)的外侧，所述横管(16)底部的两侧均设置有固定机构(17)，所述固定机构(17)的底部设置有横板(18)，所述横板(18)的外侧与侧板(4)内侧的底部固定连接，所述横管(16)的顶部连通有吹风罩(19)。2.根据权利要求1所述的半导体加...

【专利技术属性】
技术研发人员：王武林，
申请(专利权)人：捷硕长泰电力电子有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35