吸附式空气干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种吸附式空气干燥装置，包括第一吸附塔和第二吸附塔，所述第一吸附塔内和第二吸附塔内设有吸附剂，所述第一吸附塔上端通过并联的第一支路和第二支路与所述第二吸附塔上端相连，在所述第一支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一排气止回阀和第二排气止回阀，所述第一排气止回阀和所述第二排气止回阀之间设有干空气出口；在所述第二支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀；所述第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀之间连接有加热器，所述加热器依次连接干式真空机和过滤器。本实用新型专利技术利用外气加热来使吸附剂再生，可以显著降低干燥空气的消耗量，并且再生时间可以缩短30％～50％。

Adsorptive air dryer

【技术实现步骤摘要】
吸附式空气干燥装置
本技术涉及空气干燥
，具体涉及一种吸附式空气干燥装置。
技术介绍
在集成电路测试
，因需对集成电路进行高低温测试，故须供应给测试机台相应的压缩干燥空气(CDA，Compresseddryair)。若供应的CDA中含水分露点没有达到相应要求(例如，＜-50℃)，则对所测试的集成电路的电性造成影响或损坏。因此采用吸附式空气干燥系统的分子筛吸附所供应的CDA中的气体水分，以确保集成电路高低温测试所需的CDA品质。吸附式空气干燥系统的工作过程是利用变压吸附、再生，两塔循环，使压缩空气交替流经两个充满吸附剂(分子筛)的吸附塔中，即一个吸附塔在高压(工作压力)状态下吸附水蒸汽时，另一个吸附塔在低压状态下再生，然后按照设定的时间程序切换。然而，在再生过程中会消耗15％～30％的干燥空气。
技术实现思路
为克服上述缺陷，本技术提供一种减少干燥空气消耗和再生时间的吸附式空气干燥装置及其工作方法。本技术一方面提供一种吸附式空气干燥装置，包括第一吸附塔和第二吸附塔，所述第一吸附塔内和第二吸附塔内设有吸附剂，所述第一吸附塔上端通过并联的第一支路和第二支路与所述第二吸附塔上端相连，在所述第一支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一排气止回阀和第二排气止回阀，所述第一排气止回阀和所述第二排气止回阀之间设有干空气出口；在所述第二支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀；所述第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀之间连接有加热器，所述加热器依次连接干式真空机和过滤器。根据本技术一实施方式，所述第一排气止回阀通过管路与第一开关阀并联，所述第二排气止回阀通过管路与第二开关阀并联，所述第一开关阀与所述第二开关阀通过管路连接。根据本技术另一实施方式，所述第一开关阀和所述第二开关阀连接的管路向两侧延伸，两延伸处分别设有消音器。根据本技术另一实施方式，所述第一吸附塔下端通过并联的第三支路和第四支路与所述第二吸附塔下端相连，在所述第三支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一进气止回阀和第二进气止回阀，所述第一进气止回阀和所述第二进气止回阀之间设有原料气进口；在所述第四支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一再生排气止回阀和第二再生排气止回阀，所述第一再生排气止回阀和所述第二再生排气止回阀之间设有废气出口。根据本技术另一实施方式，所述吸附式空气干燥装置还包括控制系统。根据本技术另一实施方式，所述加热器为一个一级加热器或两个二级加热器。根据本技术另一实施方式，所述加热器选自管壳式换热器、板式换热器、板翅式换热器或电加热管式加热器中的一种。根据本技术另一实施方式，所述干式真空机为双圆裂片式干式真空机、三叶裂片式干式真空机、组合式干式真空机、外部压缩型螺杆式干式真空机或内部压缩型螺杆式干式真空机。根据本技术另一实施方式，所述过滤器是活性炭空气过滤器。根据本技术另一实施方式，所述过滤器的孔径是0.1μm或0.03μm。与现有技术的吸附式空气干燥装置相比，本技术利用外气加热来使吸附剂再生，可以显著降低干燥空气的消耗量。并且再生时间可以缩短30～50％。本技术的吸附式空气干燥装置，可以应用于集成电路高低温测试所需压缩干燥空气的空气干燥装置中。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本技术的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1A是本技术实施例的吸附式空气干燥装置的吸附-再生过程示意图。图1B是本技术实施例的吸附式空气干燥装置的吸附-冷却过程示意图。图2是本技术实施例的吸附式空气干燥装置的工作方法的流程图。图3是现有吸附式空气干燥系统的吸附-再生过程示意图。其中，附图标记说明如下：1：加热器2：干式真空机3：过滤器41：第一开关阀42：第二开关阀43：第三开关阀44：第四开关阀51：第一消音器52：第二消音器61：原料气进口62：废气出口7：干空气出口8：节流阀B1：第一吸附塔B2：第二吸附塔K1：第一进气止回阀K2：第二进气止回阀K3：第一再生排气止回阀K4：第二再生排气止回阀R1：第一排气止回阀R2：第二排气止回阀R3：第一再生进气止回阀R4：第二再生进气止回阀具体实施方式下面结合具体实施方式对本技术作详细说明。如图1A和图1B所示，本技术实施例的吸附式空气干燥装置，包括第一吸附塔B1和第二吸附塔B2，第一吸附塔B1内和第二吸附塔B2内设有吸附剂，第一吸附塔B1上端通过并联的第一支路和第二支路与第二吸附塔B2上端相连，在第一支路从第一吸附塔B1到第二吸附塔B2依次设有第一排气止回阀R1和第二排气止回阀R2，第一排气止回阀R1和第二排气止回阀R2之间设有干空气出口；在第二支路从第一吸附塔B1到第二吸附塔B2依次设有第一再生进气止回阀R3和第二再生进气止回阀R4；第一再生进气止回阀R3和第二再生进气止回阀R4之间连接有加热器1。在对吸附剂再生过程，如图1A所示，空气经过加热器1加热后，通过第二再生进气止回阀R4进入第二吸附塔B2，加热的空气对吸附剂解析，减少再生时间。为了避免引入其他杂质，在空气进入加热器1之间，可以先通过过滤器3滤出空气中的含油份等杂质，然后通过干式真空机2进入加热器1。也就是，加热器1依次连接干式真空机2和过滤器3。加热器1可以是任何适用于本技术吸附式空气干燥装置的加热器，例如可以为一个一级加热器，也可以是两个二级加热器。加热器1可以选自管壳式换热器、板式换热器、板翅式换热器或电加热管式加热器中的一种。干式真空机2可以任何适用于本技术吸附式空气干燥装置的干式真空机，例如但不限于，双圆裂片式干式真空机、三叶裂片式干式真空机、组合式干式真空机、外部压缩型螺杆式干式真空机或内部压缩型螺杆式干式真空机等。过滤器3可以是任何适用于本技术吸附式空气干燥装置的过滤器，例如但不限于，活性炭空气过滤器等，过滤器孔径可以是0.1μm或0.03μm。通过从外界引入空气经过加热器1解析吸附剂后，例如，加热器在180～200℃下加热约10～15min，再采用经过吸附处理后的干燥空气进行冷却，确保冷却流程无外界微粒子及水气污染，以提升吸附效率。通过如下方式实现，如图1A和1B所示，设置第一排气止回阀R1与第一开关阀41并联、第二排气止回阀R2与第二开关阀42并联，第一开关阀41与第二开关阀42通过管路连接。当冷却时，关闭第二再生进气止回阀R4(也可以同时关闭加热器1和干式真空机2)，打开第二开关阀42，通过第一排气止回阀R1的部分干燥空气通过第二开关阀42流入第二吸附塔B2，冷却吸附塔内的吸附剂，冷却后的废气通过第二再生排气止回阀K4从废气出口62排出。在第一开关阀41和第二开关阀42连接的管路两侧延伸处还可以分别设置第一消音器51和第二消音器52，减缓气体流速，减小噪音。在第一消音器51和第一开关阀41之间还可以设有第三开关阀43，第二消音器52和第二开关阀42之间还可以设有第四开关阀44。第一吸附塔B1和第二吸附塔B2的下端可以是任何适当的连接方式，只要能确保原料气的进入和废气的排出即可。可以是，但不限于，例如第一吸附塔B1下端通过并联的第三支路和第四支路与第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吸附式空气干燥装置，包括第一吸附塔和第二吸附塔，所述第一吸附塔内和第二吸附塔内设有吸附剂，其特征在于，所述第一吸附塔上端通过并联的第一支路和第二支路与所述第二吸附塔上端相连，在所述第一支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一排气止回阀和第二排气止回阀，所述第一排气止回阀和所述第二排气止回阀之间设有干空气出口；在所述第二支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀；所述第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀之间连接有加热器，所述加热器依次连接干式真空机和过滤器。

【技术特征摘要】
1.一种吸附式空气干燥装置，包括第一吸附塔和第二吸附塔，所述第一吸附塔内和第二吸附塔内设有吸附剂，其特征在于，所述第一吸附塔上端通过并联的第一支路和第二支路与所述第二吸附塔上端相连，在所述第一支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一排气止回阀和第二排气止回阀，所述第一排气止回阀和所述第二排气止回阀之间设有干空气出口；在所述第二支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀；所述第一再生进气止回阀和第二再生进气止回阀之间连接有加热器，所述加热器依次连接干式真空机和过滤器。2.根据权利要求1所述的吸附式空气干燥装置，其特征在于，所述第一排气止回阀通过管路与第一开关阀并联，所述第二排气止回阀通过管路与第二开关阀并联，所述第一开关阀与所述第二开关阀通过管路连接。3.根据权利要求2所述的吸附式空气干燥装置，其特征在于，所述第一开关阀和所述第二开关阀连接的管路向两侧延伸，两延伸处分别设有消音器。4.根据权利要求3所述的吸附式空气干燥装置，其特征在于，所述第一吸附塔下端通过并联的第三支路和第四支路与所述第二吸附塔下端相连，在所述第三支路从所述第一吸附塔到所述第二吸附塔依次设有第一进气止回阀和第二进气止回阀，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34