能够低温变温测试的测试探针台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能够低温变温测试的测试探针台，包括探针台主体、探针组件以及显微镜组件，探针台主体包括探针台底座、设置在探针台底座上方的承载台以及位移调节机构和温度调节机构，承载台与位移调节机构连接，并至少能够沿设定方向运动，以及还包括：至少能够在低温变温测试时避免待测晶圆或芯片和测试探针台结露的防结露机构，防结露机构包括一罩体以及与罩体连接的气体供给机构，罩体与探针台底座密封结合形成一腔体，气体供给机构至少用于在腔体内形成干燥的保护气氛。本实用新型专利技术提供的测试探针台使用透明罩体将探针台低温区域与外界隔离，并向罩体内通入干燥氮气，避免芯片和系统上的结露，降低了低温变温测试的成本。

Test Probe Platform for Low Temperature Variable Temperature Testing

【技术实现步骤摘要】
能够低温变温测试的测试探针台
本技术涉及一种测试探针台，特别涉及一种能够低温变温测试的测试探针台，属于半导体测试

技术介绍
目前在半导体测试领域，经常会使用探针台，对晶圆或者芯片进行低温下的测试。若使用一般的开放式探针台，在温控底盘温度下降到空气中水蒸气的露点以下后，则会在系统以及芯片处凝结水分，会极大的影响测试结果，同时对系统和芯片造成较大损伤。因此进行此项测试一般会使用真空探针台。但真空探针台成本较高，且使用不便。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种能够低温变温测试的测试探针台，以克服现有技术的不足。为实现前述技术目的，本技术采用的技术方案包括：本技术实施例提供了一种能够低温变温测试的测试探针台，包括探针台主体、探针组件以及显微镜组件，所述探针台主体包括探针台底座、设置在探针台底座上方的承载台以及位移调节机构和温度调节机构，所述承载台与位移调节机构连接，并至少能够沿设定方向运动，所述能够低温变温测试的测试探针台还包括：至少能够在低温变温测试时避免待测晶圆或芯片和测试探针台结露的防结露机构，所述防结露机构包括一罩体以及与所述罩体连接的气体供给机构，所述罩体与探针台底座密封结合形成一腔体，所述气体供给机构至少用于在所述腔体内形成干燥的保护气氛；其中至少所述探针组件以及承载台被封装在所述腔体内。在一些较为具体的实施方案中，在所述罩体上设置有进气管和排气管，所述进气管与所述气体供给机构连接。在一些较为具体的实施方案中，所述进气管和排气管设置在罩体的不同侧。在一些较为具体的实施方案中，至少在所述进气管或气体供给机构上还设置有流量控制阀。在一些较为具体的实施方案中，所述罩体为至少能够透过显微镜组件的照明光的透光罩体。在一些较为具体的实施方案中，所述罩体可拆卸地盖合在探针台底座上。在一些较为具体的实施方案中，所述位移调节机构以及温度调节机构设置在所述探针台底座内。在一些较为具体的实施方案中，所述探针组件包括分别设置在承载台两侧的探针座平台，在探针座平台上设置有探针座，探针设置在所述探针座上。在一些较为具体的实施方案中，所述显微镜组件设置在罩体外部，所述显微镜组件包括显微镜、显微镜支架以及至少用以调节显微镜位置的调节机构，所述显微镜支架固定在探针台底座上，所述显微镜经所述显微镜支架设置在罩体上方。与现有技术相比，本技术提供的能够低温变温测试的测试探针台，结构简单、使用灵活；其使用透明罩体将探针台低温区域与外界隔离，并向罩体内通入干燥氮气，将内部空气排出的形式来避免芯片和系统上的结露，降低了低温变温测试的成本。附图说明图1是本技术一典型实施案例中一种能够低温变温测试的测试探针台的结构示意图。具体实施方式鉴于现有技术中的不足，本案专利技术人经长期研究和大量实践，得以提出本技术的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。本技术实施例提供了一种能够低温变温测试的测试探针台，包括探针台主体、探针组件以及显微镜组件，所述探针台主体包括探针台底座、设置在探针台底座上方的承载台以及位移调节机构和温度调节机构，所述承载台与位移调节机构连接，并至少能够沿设定方向运动，所述能够低温变温测试的测试探针台还包括：至少能够在低温变温测试时避免待测晶圆或芯片和测试探针台结露的防结露机构，所述防结露机构包括一罩体以及与所述罩体连接的气体供给机构，所述罩体与探针台底座密封结合形成一腔体，所述气体供给机构至少用于在所述腔体内形成干燥的保护气氛；其中至少所述探针组件以及承载台被封装在所述腔体内。在一些较为具体的实施方案中，在所述罩体上设置有进气管和排气管，所述进气管与所述气体供给机构连接。在一些较为具体的实施方案中，所述进气管和排气管设置在罩体的不同侧。在一些较为具体的实施方案中，至少在所述进气管或气体供给机构上还设置有流量控制阀。在一些较为具体的实施方案中，所述罩体为至少能够透过显微镜组件的照明光的透光罩体。在一些较为具体的实施方案中，所述罩体可拆卸地盖合在探针台底座上。在一些较为具体的实施方案中，所述位移调节机构以及温度调节机构设置在所述探针台底座内。在一些较为具体的实施方案中，所述探针组件包括分别设置在承载台两侧的探针座平台，在探针座平台上设置有探针座，探针设置在所述探针座上。在一些较为具体的实施方案中，所述显微镜组件设置在罩体外部，所述显微镜组件包括显微镜、显微镜支架以及至少用以调节显微镜位置的调节机构，所述显微镜支架固定在探针台底座上，所述显微镜经所述显微镜支架设置在罩体上方。如下将结合附图对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。请参阅图1，一种能够低温变温测试的测试探针台，包括探针台主体、探针组件以及显微镜组件，探针台主体包括探针台底座11、设置在探针台底座上方的承载台12以及位移调节机构和温度调节机构(其中位移调节机构和温度调节机构设置在探针台底座11内，位移调节机构和温度调节机构可采用现有技术中现有形式实现，在本申请中不在赘述)，承载台12与位移调节机构连接，并至少能够沿X、Y、Z方向运动，探针组件包括两个分别设置在探针台底座11两侧的探针座平台21，在探针座平台21上设置有探针座22，探针座22上设置有探针，探针能够与设置在承载台12上的晶圆或芯片连接；显微镜组件包括显微镜3、显微镜支架以及至少用以调节显微镜位置的调节机构，显微镜支架固定在探针台底座上，显微镜设置在显微镜支架上，并且显微镜的位置可以经由调节机构调节；以及，在探针台底座11上方还盖合设置一透光罩体4，透光罩体4与探针台底座11密封结合，并在透光罩体4与探针台底座11之间形成一测试腔体，至少探针组件以及承载台12被封装在腔体内，在透光罩体4上还设置有进气管41和出气管42，进气管41和出气管42设置在透光罩体4的不同侧，进气管41经连接管或直接与气体供给机构5连接，在进气管41或气体供给机构5上还设置有至少用以控制气体流量的控制阀51，气体供给机构5能够经进气管41向腔体内通入干燥气体使腔体内的空气由排气管42排出，进而在腔体内形成干燥的保护气氛；其中，气体供给机构5提供的气体包括干燥的氮气或干燥的惰性气体；罩体可以采用诸如亚克力等透明材料制作形成，显微镜3能够设置在罩体4上方，罩体能够透过显微镜的照明光；罩体的形状与探针台底座11的形状相适配；罩体可以采用固定嵌合的方式与承载台12密封连接(例如在承载台上设置有与罩体相匹配的固定槽，罩体下端密封嵌入固定槽内，进而实现密封连接)，或者采用固定粘合的方式等。以及本技术实施例提供的能够低温变温测试的测试探针台还可以包括其他实现测试功能的结构和组件，其中的显微镜组件、探针组件的结构和形式可以采用本领域技术人员公知的结构和形式。具体的，在实际使用时，首先通过气体供给机构5向罩体(或腔体)内通入干燥氮气一段时间，确保罩体内的空气被基本排空以后，再启动温控系统(温度调节机构)进行降温直至达到预设的低温并稳定以后，之后操作探针台的X、Y、Z轴机构(即位移调节机构，其设置在罩体之外)进行调节和测试。与现有技术相比，本技术提供的能够低温变温测试的测试探针台，结构简单、使用灵活；其使用透明罩体将探针台低温区域与外界隔离，并向罩体内通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能够低温变温测试的测试探针台，包括探针台主体、探针组件以及显微镜组件，所述探针台主体包括探针台底座、设置在探针台底座上方的承载台以及位移调节机构和温度调节机构，所述承载台与位移调节机构连接，并至少能够沿设定方向运动，其特征在于还包括：至少能够在低温变温测试时避免待测晶圆或芯片和测试探针台结露的防结露机构，所述防结露机构包括一罩体以及与所述罩体连接的气体供给机构，所述罩体与探针台底座密封结合形成一腔体，所述气体供给机构至少用于在所述腔体内形成干燥的保护气氛；其中至少所述探针组件以及承载台被封装在所述腔体内。

【技术特征摘要】
1.一种能够低温变温测试的测试探针台，包括探针台主体、探针组件以及显微镜组件，所述探针台主体包括探针台底座、设置在探针台底座上方的承载台以及位移调节机构和温度调节机构，所述承载台与位移调节机构连接，并至少能够沿设定方向运动，其特征在于还包括：至少能够在低温变温测试时避免待测晶圆或芯片和测试探针台结露的防结露机构，所述防结露机构包括一罩体以及与所述罩体连接的气体供给机构，所述罩体与探针台底座密封结合形成一腔体，所述气体供给机构至少用于在所述腔体内形成干燥的保护气氛；其中至少所述探针组件以及承载台被封装在所述腔体内。2.根据权利要求1所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于：在所述罩体上设置有进气管和排气管，所述进气管与所述气体供给机构连接。3.根据权利要求2所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特征在于：所述进气管和排气管设置在罩体的不同侧。4.根据权利要求2所述的能够低温变温测试的测试探针台，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄寓洋，
申请(专利权)人：苏州苏纳光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32