探针、检查夹具、检查单元和检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种探针、检查夹具、检查单元和检查装置，该探针在相对于检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物，该检查夹具具备上述探针，该检查单元具备上述检查夹具，该检查装置具备上述检查单元。探针具备：第一接触部和第二接触部；配置在第一接触部和第二接触部之间的中间部；使第一接触部相对于中间部在第一排列方向上移动的第一弹性部；以及使第二接触部相对于中间部在与第一排列方向交叉的方向上移动的可动部。

Probe, check fixture, check unit and check device

【技术实现步骤摘要】
探针、检查夹具、检查单元和检查装置
本专利技术涉及探针、具备该探针的检查夹具、具备该检查夹具的检查单元、以及具备该检查单元的检查装置。
技术介绍
在照相机或液晶面板等的电子零件模块中，一般地，在其制造工序中，进行导通检查和工作特性检查等。通过使用探针将在电子零件模块中设置的用于连接本体基板的FPC接触电极或安装的基板对基板连接器等的电极部与检查装置连接，进行这些检查。作为这样的探针，例如，有记载在专利文献1中的探针。该探针具备：可分别接触电子零件的电极端子和被连接电子零件的电极端子的一对触点；以及夹在一对触点间并连接一对触点的曲折部。在所述探针中，曲折部沿连接了一对触点的排列方向伸缩，通过各触点沿该排列方向往复移动，各触点在排列方向上与电子零件的电极端子和被连接电子零件的电极端子接触。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002－134202号公报专利技术要解决的课题近年来，伴随检查装置和检查对象物的多样化，难以用各触点沿同一方向往复往移动的、所谓直线型的所述探针来应对的情况在增加。例如，显示器模块的检查，有在显示器面板上配置了电极部的状态下进行的情况。若在这样的检查中使用所述探针，则一个触点接触到显示器面板上的电极部，另一个触点接触到检查装置，但若显示器面板由有机EL那样的强度较弱的材料构成，则在所述探针接触时过大的力作用于显示器，显示器面板有可能破裂。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供在相对于检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物的探针、具备该探针的检查夹具、具备该检查夹具的检查单元、以及具备该检查单元的检查装置。用于解决课题的方案本专利技术的一例子的探针具备：第一接触部和第二接触部；中间部，其配置在所述第一接触部与所述第二接触部之间；第一弹性部，其与所述第一接触部和所述中间部连接，并沿连接所述第一接触部和所述中间部的第一排列方向伸缩，使所述第一接触部相对于所述中间部在所述第一排列方向上移动；以及可动部，其与所述中间部和所述第二接触部连接，使所述第二接触部相对于所述中间部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动，所述第一接触部、所述第一弹性部、所述中间部、所述可动部和所述第二接触部被串联地配置。此外，本专利技术的一例的检查夹具具备：所述探针；以及具有可收纳所述探针的收纳部的座，所述座具有卡止部，该卡止部在沿所述第一排列方向且从所述第一接触部向所述第二接触部的方向对所述收纳部中收纳的所述探针的所述中间部进行卡止。此外，本专利技术的一例的检查单元具备至少一个所述检查夹具。此外，本专利技术的一例的检查装置具备至少一个所述检查单元。专利技术效果根据所述探针，通过第一弹性部，第一接触部相对中间部沿连接了第一接触部和中间部的第一排列方向可移动地构成，通过可动部，第二接触部相对于中间部在与第一排列方向交叉的方向上可移动地构成。由此，能够实现在相对于检查装置的接触方向不同的方向中可接触检查对象物的探针。此外，根据所述检查夹具，利用所述探针，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查夹具。此外，根据所述检查单元，利用所述检查夹具，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查单元。此外，根据所述检查装置，利用所述检查单元，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查装置。附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式的检查单元和检查夹具的立体图。图2是沿图1的II-II线的剖面图。图3是本专利技术的第一实施方式的探针的立体图。图4是图3的探针的平面图。图5是用于说明图3的探针的第一变形例的平面图。图6是用于说明图3的探针的第二变形例的平面图。图7是用于说明图3的探针的第三变形例的平面图。图8是用于说明图1的检查单元和检查夹具的变形例的剖面图。图9是表示本专利技术的第二实施方式的检查单元和检查夹具的立体图。图10是沿图9的X-X线的剖面图。图11是本专利技术的第二实施方式的探针的立体图。图12是图11的探针的平面图。图13是用于说明图11的探针的第一变形例的平面图。图14是用于说明图11的探针的第二变形例的平面图。图15是表示本专利技术的第三实施方式的检查单元和检查夹具的立体图。图16是沿图15的XVI-XVI线的剖面图。图17是用于说明图15的检查夹具的第一变形例的剖面图。图18是用于说明图15的检查夹具的第二变形例的剖面图。附图标记说明1检查单元2检查夹具3间隙10探针11第一弹性部111、112、113、114带状弹性片115间隙116直线带部117弯曲带部12可动部13突起部14切口部15第二弹性部151、152带状弹性片16连接部分17第三弹性部171、172带状弹性片173间隙18第四弹性部181、182、183带状弹性片184、185间隙20第一接触部21第一触点部30第二接触部31第二触点部40中间部50座51板状部52长方体部53收纳部54第一开口部55第二开口部56卡止部57移动限制部60第五弹性部601直线带部602弯曲带部61、62、63、66、67带状弹性片64、65、68间隙70第一壳体71第一收纳部80第二壳体81第二收纳部82倾斜面90凸轮部91轴部100基板110基板对基板连接器111电极部120操作杆L1第一虚拟直线L2第二虚拟直线L3第三虚拟直线P1复位位置P2动作位置A～E箭头具体实施方式以下，根据附图说明本专利技术的一例子。另外，在以下的说明中，根据需要而使用表示特定的方向或者位置的术语(例如，包含“上”、“下”、“右”、“左”的术语)，但这些术语的使用是为了便于参照附图的本专利技术的理解，本专利技术的技术的范围不由这些术语的含义限定。此外，以下的说明本质上仅是例示，并没有限制本专利技术、其适用物、或其用途的意图。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等未必与现实的尺寸一致。(第一实施方式)本专利技术的第一实施方式的探针10具有导电性，例如，如图1和图2所示，在收纳于座50中的状态下使用，与座50一起构成检查夹具2。作为一例子，在该检查夹具2中，收纳了多个细长的薄板状的多个探针10。此外，检查夹具2构成检查单元1的一部分。检查单元1至少由一个检查夹具2构成。如图1所示，在第一实施方式中，检查单元1由相邻配置的2个检查夹具2构成。如图1所示，座50由大致矩形板状的板状部51和连接到该板状部51的长边方向的中央的大致长方体状的长方体部52构成，具有大致T字的箱形状。此外，如图2所示，在板状部51和长方体部52的内部，分别设置可收纳一个探针10的多个收纳部53。如图2所示，各收纳部53具有缝隙状，将各探针10可彼此电气独立地收纳并且可保持，同时从板状部51和长方体部52的连接方向(即，图2的上下方向)观察，沿板状部51的长边方向(即，图2的纸面贯通方向)排列成一列并且等间隔配置。各收纳部53中的板状部51和长方体部52的连接方向的两端部与彼此相对的第一开口部54和第二开口部55连接。第一开口部54设置在板状部51内，第二开口部55设置在长方体部52内。另外，在第一实施方式中，第一开口部54相对于各收纳部53设置2个，从板状部51和长方体部52的连接方向观察，隔开间隔配置在板状部51的短边方向(即，图2的左右方向)上。此外，如图2所示，在各收纳部53中的板状部51和长方体部52的连接方向的中间，从板状部51和长方体部52的连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针，其特征在于，具备：第一接触部和第二接触部；中间部，其配置在所述第一接触部与所述第二接触部之间；第一弹性部，其与所述第一接触部和所述中间部连接，并沿连接所述第一接触部和所述中间部的第一排列方向伸缩，使所述第一接触部相对于所述中间部在所述第一排列方向上移动；以及可动部，其与所述中间部和所述第二接触部连接，使所述第二接触部相对于所述中间部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动，所述第一接触部、所述第一弹性部、所述中间部、所述可动部和所述第二接触部被串联地配置。

【技术特征摘要】
2018.02.07 JP 2018-0204511.一种探针，其特征在于，具备：第一接触部和第二接触部；中间部，其配置在所述第一接触部与所述第二接触部之间；第一弹性部，其与所述第一接触部和所述中间部连接，并沿连接所述第一接触部和所述中间部的第一排列方向伸缩，使所述第一接触部相对于所述中间部在所述第一排列方向上移动；以及可动部，其与所述中间部和所述第二接触部连接，使所述第二接触部相对于所述中间部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动，所述第一接触部、所述第一弹性部、所述中间部、所述可动部和所述第二接触部被串联地配置。2.如权利要求1所述的探针，其特征在于，还具备突起部，该突起部与所述第二接触部连接，从所述第二接触部向与所述第一排列方向交叉的方向突出，所述可动部具有第二弹性部，该第二弹性部沿所述第一排列方向延伸，所述第一排列方向的一端部与所述中间部连接，且所述第一排列方向的另一端部与所述第二接触部连接，并在与所述第一排列方向交叉的方向上可弹性变形，所述第二弹性部根据经由所述突起部对所述第二接触部施加的外力而弹性变形，由此，所述第二接触部以所述第二弹性部和所述中间部的连接部分作为支点转动并相对于所述中间部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动。3.如权利要求2所述的探针，其特征在于，所述突起部具有第三弹性部，该第三弹性部设置在所述突起部的突出方向的接近所述第二接触部的端部，可在所述第一排列方向且接近所述第一接触部的方向上弹性变形，所述第三弹性部根据对所述突起部施加的在所述第一排列方向且向接近所述第一接触部的方向的外力而弹性变形。4.如权利要求2或3所述的探针，其特征在于，所述第二接触部在所述第一排列方向上延伸，且所述第一排列方向的一端部与所述第二弹性部连接，并在所述第一排列方向的另一端部具有触点部，在所述第一排列方向的所述触点部和所述第二弹性部的中间连接所述突起部，在所述第二接触部的所述第一排列方向的所述触点部和所述突起部之间，具有在与所述第一排列方向交叉的方向上可弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：笹野直哉，寺西宏真，酒井贵浩，崔时薰，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP