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本实用新型公开了一种能够低温变温测试的测试探针台，包括探针台主体、探针组件以及显微镜组件，探针台主体包括探针台底座、设置在探针台底座上方的承载台以及位移调节机构和温度调节机构，承载台与位移调节机构连接，并至少能够沿设定方向运动，以及还包括：...
该专利属于苏州苏纳光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏纳光电有限公司授权不得商用。

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