掩膜板异物检测设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种掩膜板异物检测设备，包括：承接平台，用于放置掩膜板；检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测掩膜板上是否存在异物。通过设置于掩膜板的上方的检测装置检测掩膜板上的异物，检测装置在平行于被检测面区域的上方移动以检测突出掩膜板的异物，避免了将掩膜板压延痕误判为异物，提高了异物检测精度。

Mask board foreign body detection equipment

【技术实现步骤摘要】
掩膜板异物检测设备
本技术涉及半导体领域，具体涉及一种掩膜板异物检测设备。
技术介绍
掩膜板在制造过程中会在表面上残留异物，如果掩膜板上残留的异物高度过高时，蒸镀的时候会形成彩斑异常，严重影响掩膜板的质量。现有技术中通常使用低角度侧光源或者环形光源进行检测，掩膜板在制造过程中不可避免地存在压延痕，而在检测过程中，由于反光等原因将这些凹凸痕误判为异物，使得异物检测精度低。
技术实现思路
因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中掩膜板异物检测精度低的缺陷。为此，本技术提供如下技术方案：本技术提供一种掩膜板异物检测设备，包括：承接平台，用于放置掩膜板；检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测所述掩膜板上是否存在异物。可选地，所述检测装置包括：至少一个第一激光测高仪，设置在第一移动装置上并可沿着所述被检测面的横坐标移动，并朝向所述掩膜板发射第一激光，检测突出于所述被检测面上的异物。可选地，所述第一移动装置设置在高度调节装置上，通过所述高度调节装置调节所述第一激光与所述被检测面之间的距离。可选地，所述检测装置还包括：至少一个第二激光测高仪，设置在第二移动装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板异物检测设备，其特征在于，包括：承接平台，用于放置掩膜板；检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测所述掩膜板上是否存在异物。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板异物检测设备，其特征在于，包括：承接平台，用于放置掩膜板；检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测所述掩膜板上是否存在异物。2.根据权利要求1所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述检测装置包括：至少一个第一激光测高仪，设置在第一移动装置上并可沿着所述被检测面的横坐标移动，并朝向所述掩膜板发射第一激光，检测突出于所述被检测面上的异物。3.根据权利要求2所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述第一移动装置设置在高度调节装置上，通过所述高度调节装置调节所述第一激光与所述被检测面之间的距离。4.根据权利要求2所述的掩膜板异物检测设备，其特征在于，所述检测装置还包括：至少一个第二激光测高仪，设置在第二移动装置上并可沿着所述被检测面的纵坐标移动，并朝向所述掩膜板发射第二激光，所述第二激光和所述第一激光相互垂直，所述检测装置通过在掩膜板的被检测面区域移动用...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭兆基，蒋明华，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13