一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置制造方法及图纸

技术编号:21891601 阅读:39 留言:0更新日期:2019-08-17 14:23
本实用新型专利技术公开了一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置,包括:底座、侧壁、调节杆、滑杆、压簧、滑块、接触装置,所述光电倍增管固定在底座上,所述侧壁固定在底座上,所述侧壁和滑杆通过调节杆连接,所述滑块安装在滑杆上且可以在滑杆上滑动,所述接触装置固定在滑块上,所述压簧安装在滑杆上,通过压簧的收缩使解除装置与PMT紧密接触,进而进行测试。本实用新型专利技术结构简单,操作方便,效率高,可靠性好,在光电面的PMT的膜厚测试中,可以很好的将光路聚焦在PMT所镀的膜上,测试膜厚的数值,对PMT性能参数有了更好的把控。

A Measuring Device for Film Thickness of Spherical Photomultiplier Tube

【技术实现步骤摘要】
一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置
本技术涉及高能宇宙射线探测领域,尤其涉及一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置。
技术介绍
。光电倍增管(以下简称PMT)是一种光电转换器件,它能将微弱的光信号转换成易于收集和处理的电信号。光电倍增管光电面的膜厚直接影响光电倍增管的性能参数,能将膜厚准确的测出是保证光电倍增管制作过程中提高性能参数的一种必要条件,对于球面PMT,我们将在光电阴极上选取一点作为我们测量膜厚的基准点,也以此来确定膜厚是否在工艺要求的范围内。通过激光器射出的光路入射到PMT镀好的膜上,用探测器来接受反射回来的光,通过接受反射光强度进而来确定膜厚的数值。对于球面光电倍增管膜厚测试装置至关重要,同时针对不同尺寸的球面PMT,此装置依然通用,提高了测试设备的利用率和通用性,提高了工作效率。传统的测试装置只能测量平板型PMT的膜厚,将测试装置中的激光器和探测器固定在L形的直角板上,让垂直的一面与光电面接触,来完成平板型PMT的膜厚测试。而对于球面PMT的膜厚,由于传统测试装置无法保证球面测试光路始终与球面保持45度夹角,并且要求激光器射出的光与探测器接受的光的交点固定在球面所镀的膜上,光路角度稍微变化,则就造成探测器无法接受反射回来的光,导致无法测试球面光电倍增管的膜厚。
技术实现思路
。针对以上现有技术中存在的问题,本技术提供一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置,对于不同形状、不同尺寸的球面光电倍增管可以有效可靠的保证在球面上任意一点测量膜厚时,此装置可以准确有效的将激光器射出的光与与探测器接受的光的交点固定在球面上,提高了测试的可靠性,对提高PMT的性能参数有了可靠保障。此装置结构简单,且操作简便,可靠性强。本技术的一个目的在于提供一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置包括:底座、侧壁、调节杆、滑杆、压簧、滑块、接触装置,所述光电倍增管固定在底座上,所述侧壁固定在底座上,所述侧壁和滑杆通过调节杆连接,所述滑块安装在滑杆上且可以在滑杆上滑动,所述接触装置固定在滑块上,所述压簧安装在滑杆上,通过压簧的收缩使解除装置与PMT紧密接触,进而进行测试;所述接触装置包括:底架、上盖、激光器安装块、激光器、探测器安装块、探测器,所述激光器安装在激光器安装块上,所述激光器安装块安装在底架上,所述探测器安装在探测器安装块上,所述探测器安装块安装在底架上,激光器发出的光路与探测器接受的光路成90度,在通过调节激光器安装块和探测器安装块来保证光路交点正好打到PMT所镀的膜上,以进一步测试镀膜厚度的数值,所述底架与PMT接触的平面设计成锥面接触,保证底架与PMT更好的接触,且不损坏PMT,所述上盖与底架固定,成封闭状态,使此装置的结构更加可靠、美观。本技术的优点:结构简单,操作方便,效率高,可靠性好,在光电面的PMT的膜厚测试中,可以很好的将光路聚焦在PMT所镀的膜上,测试膜厚的数值,对PMT性能参数有了更好的把控。附图说明。图1是本技术结构图。图2是接触装置结构图。图3是接触装置内部结构图。底座1、侧壁2、调节杆3、滑杆4、压簧5、滑块6、接触装置7、探测器8、底架9、上盖10、激光器安装块11、激光器12、探测器安装块13。具体实施方式。下面结合附图对本专利技术做进一步说明。如图1所示,在于提供一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置包括:底座1、侧壁2、调节杆3、滑杆4、压簧5、滑块6、接触装置7。将PMT固定在底座1上,将侧壁2固定在底座1上,通过调节杆3将侧壁2和滑杆4连接上,将滑块6安装在滑杆上,可在滑杆4上滑动,将接触装置7固定在滑块6上,将压簧5安装在滑杆4上,最后通过压簧5的收缩使测试装置7与PMT紧密接触,进而完成测试。如图2、图3所示,所谓接触装置7包括:探测器8、底架9、上盖10、激光器安装块11、激光器12、探测器安装块13。将激光器12安装在激光器安装块11上,在将激光器安装11块安装在底架9上;将探测器8安装在探测器安装块13上,在将探测器安装块13安装在底架9上,激光器12发出的光路与探测器8接收的光路成90°,通过调节激光器安装块11和探测器安装块13来保证光路交点在正好打到PMT所镀的膜上,以进一步测试镀膜厚度的数值。同时将底架与PMT接触的平面设计成锥面接触,保证底架与PMT更好的接触,且不损坏PMT。最后将上盖10与底架9固定,成封闭状态,使此装置的结构更加可靠、美观。最后需要注意的是,公布实施方式的目的在于帮助进一步理解本技术,但是本领域的技术人员可以理解:在不脱离本技术及所附的权利要求的精神和范围内,各种替换和修改都是可能的。因此,本技术不应局限于实施例所公开的内容,本技术要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置,包括:底座、侧壁、调节杆、滑杆、压簧、滑块、接触装置,所述光电倍增管固定在底座上,所述侧壁固定在底座上,所述侧壁和滑杆通过调节杆连接,所述滑块安装在滑杆上且可以在滑杆上滑动,所述接触装置固定在滑块上,所述压簧安装在滑杆上,通过压簧的收缩使解除装置与PMT紧密接触,进而进行测试;所述接触装置包括:底架、上盖、激光器安装块、激光器、探测器安装块、探测器,所述激光器安装在激光器安装块上,所述激光器安装块安装在底架上,所述探测器安装在探测器安装块上,所述探测器安装块安装在底架上,激光器发出的光路与探测器接受的光路成90度,所述底架与PMT接触的平面设计成锥面接触,保证底架与PMT更好的接触,且不损坏PMT,所述上盖与底架固定,成封闭状态。

【技术特征摘要】
1.一种用于球面光电倍增管膜厚测试装置,包括:底座、侧壁、调节杆、滑杆、压簧、滑块、接触装置,所述光电倍增管固定在底座上,所述侧壁固定在底座上,所述侧壁和滑杆通过调节杆连接,所述滑块安装在滑杆上且可以在滑杆上滑动,所述接触装置固定在滑块上,所述压簧安装在滑杆上,通过压簧的收缩使解除装置与PMT紧密接触,进而进行测试;所述接触装置包括:底...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘海辉程现琪赵亚军
申请(专利权)人:北京滨松光子技术股份有限公司
类型:新型
国别省市:北京,11

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