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本实用新型提供了一种掩膜板异物检测设备，包括：承接平台，用于放置掩膜板；检测装置，设置于所述承接平台所在平面的上方，通过在掩膜板的被检测面区域移动以检测掩膜板上是否存在异物。通过设置于掩膜板的上方的检测装置检测掩膜板上的异物，检测装置在平行...
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