角阀制造技术

本实用新型专利技术提供一种角阀，角阀包括：角阀腔室，角阀腔室设有角阀管口；角阀清洁腔，角阀清洁腔与角阀腔室相连，并与角阀管口相对设置；角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，收纳空间内设有角阀清洁装置，角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，清洁部件通过驱动部件伸入角阀管口内，以清洁角阀管口的内壁。本实用新型专利技术实现对角阀管口的内壁的自清洁，有效去除位于角阀管口的内壁上的污染物，缩短角阀的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。

Angle valve

【技术实现步骤摘要】
角阀
本技术属于半导体加工设备领域，涉及一种角阀。
技术介绍
在半导体制程工艺中，反应腔通常需要与抽气部件相连接，用以移除反应腔中的污染物。而角阀由于具有流路简单，死区及涡流区较小，流阻小，流量系数大的特点被广泛应用于工业生产设备中。在半导体制程工艺中，通常将角阀进口与反应腔相连接，角阀出口与抽气部件相连接，通过角阀移除反应腔中的污染物，并控制反应腔的压力。然而，在角阀进行工作的过程中，部分污染物依然会沉积在角阀中，尤其附着于角阀进口的内壁上，随着污染物的堆积，该部分污染物会导致角阀控压异常，在工艺参数设定的范围内，无法对设定的压力进行控制，且沉积的污染物还会影响抽气部件对反应腔的抽气效果，以至于影响产品质量。因此，为确保正常生产及产品质量，需消耗较多的时间对角阀进行人工维修保养，从而造成资源的浪费及生产效率的降低。基于以上所述，提供一种新型的角阀，以有效去除角阀中堆积的污染物，实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种角阀，用于解决现有技术中在角阀中尤其是堆积在角阀管口的内壁上的污染物的清洁问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种角阀，所述角阀包括：角阀腔室，所述角阀腔室设有角阀管口；角阀清洁腔，所述角阀清洁腔与所述角阀腔室相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，所述收纳空间内设有角阀清洁装置，所述角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，所述清洁部件通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。可选的，所述驱动部件包括伸缩单元。可选的，所述驱动部件还包括旋转单元。可选的，所述清洁部件包括刮刷及研磨块中的一种或组合。可选的，所述清洁部件包括陶瓷部件、氟胶部件及氧化铝部件中的一种或组合。可选的，所述清洁部件的移动方式包括平移式或由平移式与旋转式形成的组合中的一种。可选的，所述清洁部件与所述角阀管口具有相同的水平截面形貌。可选的，所述清洁腔阀门还连接有清洁腔阀门伸缩单元。可选的，所述清洁腔阀门与所述角阀腔室的内壁具有同一水平面。可选的，上述角阀包括应用于半导体设备中的角阀。如上所述，本技术中的角阀，增加了包括收纳空间及清洁腔阀门，并与角阀腔室相连，且与角阀管口相对设置的角阀清洁腔；通过收纳空间内设置的包括驱动部件及清洁部件的角阀清洁装置，实现对角阀管口的内壁的自清洁，有效去除位于角阀管口的内壁上的污染物，缩短角阀的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。附图说明图1显示为本技术中的角阀在应用于半导体设备中的结构示意图。图2显示为图1中的角阀的一种工作状态结构示意图。元件标号说明100角阀101角阀腔室102角阀进口103角阀出口104角阀阀门105螺纹管111角阀清洁腔106收纳空间107清洁腔阀门108清洁腔阀门伸缩单元109角阀清洁装置119清洁部件129旋转单元139伸缩单元121、122、123运行路径200反应腔300抽气部件400污染物具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1所示，本技术提供一种角阀100，所述角阀100包括：角阀腔室101及角阀清洁腔111。所述角阀腔室101设有角阀管口；所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔111包括收纳空间106及清洁腔阀门107，所述收纳空间106内设有角阀清洁装置109，所述角阀清洁装置109包括驱动部件及清洁部件119，所述清洁部件119通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。具体的，本实施例中，所述角阀100的所述角阀管口包括2个，即角阀进口102及角阀出口103，在另一实施例中，所述角阀100也可根据具体需要设置3个～6个所述角阀管口，此处不作限制。所述角阀进口102的内壁附着有污染物400，如粉尘等，所述污染物400的具体种类，此处不作限制。所述角阀100还包括角阀阀门104及与所述角阀阀门104相连接的螺纹管105，其中，所述角阀阀门104及所述螺纹管105作为所述角阀100的阀芯，用以控制所述角阀100的状态，如开、关状态等。所述阀芯也可根据具体需要进行选择与替换，此处不作限制。通过调节所述清洁腔阀门107，可将所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101相连接，或使得所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101相隔离，形成密封的所述角阀清洁腔111。如图2，示意了图1中的所述角阀100的一种工作状态结构示意图。当所述角阀100需要清洁时，所述角阀阀门104处于全开状态，从而显露所述角阀进口102，而后打开所述清洁腔阀门107，使得所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101相连，通过位于所述收纳空间106内的所述驱动部件移动与所述角阀进口102相对设置的所述清洁部件119，使得所述清洁部件119与所述角阀进口102的内壁相接触，从而通过所述清洁部件119实现对所述角阀进口102的内壁的清洁，以去除所述污染物400。本技术增加了所述角阀清洁腔111，提供带有所述清洁腔阀门107及可收纳所述角阀清洁装置109的所述收纳空间106，通过所述角阀清洁装置109实现对所述角阀进口102的内壁的自清洁，有效去除位于所述角阀进口102的内壁上的所述污染物400，缩短所述角阀100的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。作为该实施例的进一步实施例，所述驱动部件包括伸缩单元139，所述伸缩单元139可采用气缸，通过所述气缸的运行，以精确控制所述清洁部件119的运行，所述伸缩单元139也可根据需要选用其他种类，此处不作限制。作为该实施例的进一步实施例，所述驱动部件还包括旋转单元129，所述清洁部件119的移动方式包括平移式或由平移式与旋转式形成的组合中的一种。具体的，所述旋转单元129包括伺服电机，以对所述清洁部件119的旋转进行精确控制。优选为所述清洁部件119连接有所述伸缩单元139及所述旋转单元129，从而可提高所述清洁部件119的清洁效果及清洁效率。如图2，所述清洁部件119依次与所述旋转单元129及伸缩单元139相连接，通过所述伸缩单元139的伸缩运行带动所述旋转单元129在竖直方向上运行，从而通过所述伸缩单元139控制所述清洁部件119在竖直方向上运行，包括位移及速度；通过所述旋转单元129控制与其相连接的所述清洁部件119的旋转，包括旋转方向及速度。但所述清洁部件11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种角阀，其特征在于，所述角阀包括：角阀腔室，所述角阀腔室设有角阀管口；角阀清洁腔，所述角阀清洁腔与所述角阀腔室相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，所述收纳空间内设有角阀清洁装置，所述角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，所述清洁部件通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。

【技术特征摘要】
1.一种角阀，其特征在于，所述角阀包括：角阀腔室，所述角阀腔室设有角阀管口；角阀清洁腔，所述角阀清洁腔与所述角阀腔室相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，所述收纳空间内设有角阀清洁装置，所述角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，所述清洁部件通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。2.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述驱动部件包括伸缩单元。3.根据权利要求2所述的角阀，其特征在于：所述驱动部件还包括旋转单元。4.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述清洁部件包括刮刷及研磨块中的一种或组合。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建宇，周冬成，吴宗祐，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32