【技术实现步骤摘要】
石英圆板/法兰加工装置及方法
本专利技术属于半导体制造
，特别涉及一种石英圆板/法兰加工装置及方法。
技术介绍
在石英圆板或法兰加工时，现有加工工艺是由人工用氢氧气火焰对石英圆板或法兰表面做火焰抛光处理，以达到内外表面光洁度要求。由于采用人工处理，此工艺在不同人员操作下会存在火焰和操作手法上的差异，而导致产品质量的不稳定。
技术实现思路
本专利技术提供了一种石英圆板/法兰加工装置及方法，目的在于解决石英圆板/法兰加工质量不受控的问题。本专利技术实施例之一，一种石英圆板/法兰加工装置，包括工作转台，能够被控制进行旋转，工作转台的台面上放置墨模具和石英圆板/法兰；红外线温度控制器，用于控制火焰温度；流量表控制氢氧气的流量，以保证火焰的稳定性；自动点火装置，用于对火焰枪进行点火；机器人手臂，在该机器人手臂端部设有火焰枪卡爪，所述火焰枪卡爪用于抓设火焰枪，火焰枪用于对工作转台上的石英圆板/法兰火焰抛光处理。本专利技术采用自动机械手臂的卡爪抓住火焰枪，将石英圆板或石英法兰放置在石墨模具上，装夹在工作转台上并做旋转运动。火焰枪自动点火后，自动机械手臂可以在一定角度的控制范围内调整火焰枪的角度并在流量表的控制下保证火焰的稳定性，开启自动工作转台旋转。火焰枪在红外线温度的控制下对石英圆板或石英法兰内、外表面做火焰抛光处理，实现了对石英圆板或石英法兰抛光处理的自动控制。本专利技术的技术方案，可以根据半导体晶圆制程中对颗粒的严格管控，通过火焰的大小影响表面颗粒度；通过控制火焰温度的高低影响形变量，通常人工平面度在0.3以上，而本专利技术装置的平面度能控制在0.15以内；现有...
【技术保护点】
1.一种石英圆板/法兰加工装置，其特征在于，包括工作转台，能够被控制进行旋转，工作转台的台面上放置石墨模具和石英圆板/法兰；机器人手臂，在该机器人手臂端部设有火焰枪卡爪，所述火焰枪卡爪用于抓设火焰枪，火焰枪用于对工作转台上的石英圆板/法兰火焰抛光处理；红外线温度控制器，设置在机器人手臂端部以检测控制火焰温度；流量控制表，设置在火焰枪通气管上，检测控制燃气的流量以保证火焰的稳定性；自动点火装置，用以对火焰枪的点火控制。
【技术特征摘要】
1.一种石英圆板/法兰加工装置，其特征在于，包括工作转台，能够被控制进行旋转，工作转台的台面上放置石墨模具和石英圆板/法兰；机器人手臂，在该机器人手臂端部设有火焰枪卡爪，所述火焰枪卡爪用于抓设火焰枪，火焰枪用于对工作转台上的石英圆板/法兰火焰抛光处理；红外线温度控制器，设置在机器人手臂端部以检测控制火焰温度；流量控制表，设置在火焰枪通气管上，检测控制燃气的流量以保证火焰的稳定性；自动点火装置，用以对火焰枪的点火控制。2.根据权利要求1所述的石英圆板/法兰加工装置，其特征在于，石英圆板/法兰被放置石墨模具上，然...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，蓝呈，杨中进，姚禄辉，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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