【技术实现步骤摘要】
一种石英扩散炉用保温桶
本技术涉及石英加工装置领域,具体是一种石英扩散炉用保温桶。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池制造过程中,硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中,通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体,在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结。具体地说,先将硅片插在石英舟上,然后将石英舟放入高温扩散炉(一般就是扩散石英管)中,通入含有扩散源的气体,在高温条件下扩散源与硅片发生反应,实现扩散过程从而形成PN结。石英管内的保温桶,主要作用是为了隔热,但现有保温桶隔热效果不佳,影响了反应效果。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种石英扩散炉用保温桶,以解决现有技术中存在的缺陷。本技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板1及位于顶板1下方的多层挡板4,所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过连接棒3焊接定位,且所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉2。本技术的有益效果是:顶板与挡板之间高度一致,且连接棒与挡板和顶板焊接固定,结构稳定,隔热效果好,有效保证反应效果。附图说明图1为本技术剖视结构示意图;图2 ...
【技术保护点】
1.一种石英扩散炉用保温桶,其特征在于:包括顶板及位于顶板下方的多层挡板,所述顶板和挡板以及挡板之间均通过连接棒焊接定位,且所述顶板和挡板以及挡板之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉。
【技术特征摘要】
1.一种石英扩散炉用保温桶,其特征在于:包括顶板及位于顶板下方的多层挡板,所述顶板和挡板以及挡板之...
【专利技术属性】
技术研发人员:张忠恕,
申请(专利权)人:北京凯德石英股份有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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