一种高温稳定性电极及其制备方法技术

本发明专利技术属于声表面波传感器的设计领域，具体为一种高温稳定性电极及其制备方法。该高温稳定性电极从下至上依次包括：氧化铝阻挡层、氧化锌缓冲层、Pt电极、ITO保护层和氧化铝保护层；ITO保护层设置于Pt电极上，与Pt电极一起被氧化铝保护层包覆。本发明专利技术利用了ITO能在高温下能抑制Pt电极的结块现象的发生；同时，ITO在高温下具有较好的导电性，当Pt在高温下结块时，不连续的空洞会被ITO填充，有效的降低了电极的电阻率，提高了电极在高温状态下的稳定性。

A High Temperature Stability Electrode and Its Preparation Method

【技术实现步骤摘要】
一种高温稳定性电极及其制备方法
本专利技术属于声表面波传感器的设计领域，具体为一种高温稳定性电极及其制备方法，提供了一种ITO/Pt复合薄膜电极，改进声表面波器件电极导电特性，使其在高温下的稳定性得到改善。
技术介绍
声表面波(SurfaceAcousticWave，SAW)是一种沿着物体表面传播的弹性波，SAW器件是利用SAW在压电衬底上的传播来处理信号的各类器件。SAW器件由压电材料基片与其表面的叉指换能器(Interdigital，IDT)组成。压电材料是声表面波器件中的重要组成部分，它起着将电信号与声表面波相互转换的作用，并同时也作为声表面波传播的媒介。其主要的性能参数包括声表面波传播速度、机电耦合系数、传播损耗、温度系数等，而常用的压电材料基片包括压电陶瓷、压电多晶与压电单晶材料。IDT是所有声表面波器件的关键部分，包含输入端换能器与输出端换能器两种，电信号被接收端的叉指换能器接收后，经过逆压电效应，在压电材料基片上产生出声表面波并向输出端传播。随后输出端的叉指换能器能够通过压电效应将声表面波信号转变成电信号并加以输出。SAW器件往往会在高温环境中出现性能衰退乃至完全失效的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温稳定性电极及，从下至上依次包括：氧化铝阻挡层、氧化锌缓冲层、Pt电极和氧化铝保护层，其特征在于：还包括一层ITO保护层；所述ITO保护层设置于Pt电极上，与Pt电极一起被氧化铝保护层包覆。

【技术特征摘要】
1.一种高温稳定性电极及，从下至上依次包括：氧化铝阻挡层、氧化锌缓冲层、Pt电极和氧化铝保护层，其特征在于：还包括一层ITO保护层；所述ITO保护层设置于Pt电极上，与Pt电极一起被氧化铝保护层包覆。2.如权利要求1所述高温稳定性电极，其制备方法如下：步骤1：在LGS衬底上生长厚度≤30nm的Al2O3薄膜作为阻挡层，该Al2O3薄膜以阻止原子的扩散，保持压...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭斌，王博文，刘兴鹏，张万里，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51