振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置制造方法及图纸

提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。

Vibration element and its manufacturing method, physical quantity sensor and inertial measuring device

【技术实现步骤摘要】
振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置
本专利技术涉及振动元件、振动元件的制造方法、物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
以往，已知有用于石英振子、振动型陀螺仪传感器等器件的振动元件。作为这样的振动元件的一例的专利文献1中记载的音叉型石英振动片具有基部、以及从基部起分为两支平行地延伸的一对振动臂。这里，在振动臂的末端具有被加工为厚度比振动臂的臂部厚度薄的施重部，在施重部上设置有用于调整音叉型石英振动片的频率的金属膜。此外，专利文献2中记载的音叉型压电振动片具有基部、以及从基部起分为两支平行地延伸的一对振动臂，在宽度比振动臂的臂部宽度大的末端的施重部上形成有厚度比规定厚度薄的部分。在该施重部的上下两面上设置有用于调整频率的金属膜。专利文献1：日本特开2006-311444号公报专利文献2：日本特开2010-213262号公报但是，在专利文献1和专利文献2所记载的音叉型石英振动片中，由施重部和金属膜构成的构造体的重心相对于振动臂的臂部的厚度方向的中心面在厚度方向上产生偏差，因此，在使一对振动臂在彼此接近或者隔开的方向(面内方向)上振动时，振动臂会产生包含厚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动元件，其具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，该振动元件的特征在于，所述施重部具有在所述振动元件的厚度方向上处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第2主面侧的位置。

【技术特征摘要】
2018.01.23 JP 2018-0091731.一种振动元件，其具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧的臂部和比所述臂部靠末端侧的施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，该振动元件的特征在于，所述施重部具有在所述振动元件的厚度方向上处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第2主面侧的位置。2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，所述施重部具有第1部分、以及厚度比所述第1部分薄的第2部分，所述第2主面利用所述第1部分和所述第2部分而具有阶梯形状。3.根据权利要求2所述的振动元件，其中，在从所述施重部的厚度方向进行平面观察时，所述施重部在所述第1部分与所述第2部分之间具有厚度逐渐减小的部分。4.根据权利要求2所述的振动元件，其中，在从所述厚度方向进行平面观察时，所述施重部的宽度大于所述臂部的宽度。5.根据权利要求2所述的振动元件，其中，所述第2部分相对于所述第1部分配置在所述振动臂的宽度方向上的两侧。6.根据权利要求2所述的振动元件，其中，所述第2部分相对于所述第1部分配置于与所述基部相反的一侧。7.根据权利要求2所述的振动元件，其中，在从所述施重部的厚度方向进行平面观察时，所述第1部分被设置成包围所述第2部分。8.根据权利要求2所述的振动元件，其中，所述第1主面是平坦面。9.根据权利要求2所述的振动元件，其中，所述施重膜配置在所述第1部分上和所述第2部分上。10.根据权利要求1所述的振动元件，其中，所述臂部具有关于所述臂部的厚度方向的中心面为面对称的形状。11.根据权利要求1所述的振动元件，其中，该振动元件具有：作为所述振动臂的第1振动臂，所述第1振动臂从所述基部起延伸，具有作为所述臂部的第1臂部和作为所述施重部的第1施重部；第2振动臂，所述第2振动臂从所述基部起延伸，具有位于所述基部侧的第2臂部和比所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：小仓诚一郎，山口启一，押尾政宏，山崎隆，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP