一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法技术

本发明专利技术公开了一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法，该电极结构自上而下包括：金导电层6，铂粘附层5，氮化钛阻挡层4，钛粘附层3，二硅化钛2/硅欧姆接触。使用硅化物自对准技术制备二硅化钛/硅欧姆接触，该接触有良好的热稳定性，能够在500℃保持良好的欧姆特性；使用反应磁控溅射生长氮化钛层，能够在高温环境中有效阻挡各层金属之间的相互扩散。本发明专利技术提供一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法，解决传统的硅基传感器的电极难以在高温环境中长期工作的问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种耐高温欧姆接触电极结构及其加工方法，电极包括自上而下的金层，铂层，氮化钛层，钛层，二硅化钛层，衬底材料为重掺杂的硅衬底，其特征在于，所述电极结构自上而下依次为导电层，粘附层，阻挡层，粘附层，欧姆接触层，衬底层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘冠东，张帆顺，崔万鹏，高成臣，郝一龙，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：北京;11