一种阵列基板及其制备方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示领域，公开了一种阵列基板及其制备方法、显示装置，该阵列基板包括：多个光敏结构；每个光敏结构包括PIN器件和第一TFT；第一TFT包括：设于衬底上的第一电极；设于第一电极上的第一绝缘层；设于第一绝缘层上的第二电极；设于第二电极上的有源层，有源层贯穿第一绝缘层与第一电极接触，且有源层具有连接于第一电极和第二电极之间的沟道区；设于有源层上的第二绝缘层；设于第二绝缘层上的栅极，栅极覆盖沟道区；PIN器件设于第一TFT上且与栅极电连接。该阵列基板中的第一TFT尺寸较小，第一TFT与PIN器件之间结构紧凑，在平行于衬底上占用面积较小，可以有效提高产品的像素密度，有利于高PPI的产品生产。

An array substrate, its preparation method and display device

【技术实现步骤摘要】
一种阵列基板及其制备方法、显示装置
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种阵列基板及其制备方法、显示装置。
技术介绍
目前，PIN(光敏二极管P-I-N)器件因其具有较好的光敏特性以及与面板工艺的兼容性，被越来越多的集成到了屏幕内部，并用于指纹识别、脉搏检测等领域，其中，PIN器件的使用有利于增加屏幕集成度，同时还可以丰富屏幕功能，提升屏幕附加值。但是目前传统的PIN光敏感应器件中，TFT器件与PIN单元是彼此独立的、平行的单元，这种结构方式占用面积较大，不利于高PPI(像素密度)产品生产。
技术实现思路
本专利技术公开了一种阵列基板及其制备方法、显示装置，该阵列基板中的第一TFT尺寸较小，且第一TFT与PIN器件之间结构紧凑，在平行于衬底上占用面积较小，可以有效提高产品的像素密度，有利于高PPI的产品生产。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种阵列基板，包括：衬底、设于所述衬底上的多个光敏结构；每个所述光敏结构包括PIN器件和第一TFT；其中，所述第一TFT包括：设于所述衬底上的第一电极；设于所述第一电极上的第一绝缘层；设于所述第一绝缘层上的第二电极；设于所述第二电极上的有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底、设于所述衬底上的多个光敏结构；每个所述光敏结构包括PIN器件和第一TFT；其中，所述第一TFT包括：设于所述衬底上的第一电极；设于所述第一电极上的第一绝缘层；设于所述第一绝缘层上的第二电极；设于所述第二电极上的有源层，所述有源层贯穿所述第一绝缘层与所述第一电极接触，且所述有源层具有连接于所述第一电极和第二电极之间的沟道区，所述沟道区包括与所述第一电极接触的第一接触区、与所述第二电极接触的第二接触区、以及位于所述第一接触区和第二接触区之间的连接区；设于所述有源层上的第二绝缘层；设于所述第二绝缘层上的栅极，在垂直于所述衬底的方向上，所述栅极覆盖所述沟道区；...

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底、设于所述衬底上的多个光敏结构；每个所述光敏结构包括PIN器件和第一TFT；其中，所述第一TFT包括：设于所述衬底上的第一电极；设于所述第一电极上的第一绝缘层；设于所述第一绝缘层上的第二电极；设于所述第二电极上的有源层，所述有源层贯穿所述第一绝缘层与所述第一电极接触，且所述有源层具有连接于所述第一电极和第二电极之间的沟道区，所述沟道区包括与所述第一电极接触的第一接触区、与所述第二电极接触的第二接触区、以及位于所述第一接触区和第二接触区之间的连接区；设于所述有源层上的第二绝缘层；设于所述第二绝缘层上的栅极，在垂直于所述衬底的方向上，所述栅极覆盖所述沟道区；所述PIN器件设于所述第一TFT上且与所述栅极电连接。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一电极在衬底上的正投影在两侧均凸出于所述第二电极；所述第一接触区、所述第二接触区、所述连接区和所述栅极均为两个；其中，一个栅极与所述PIN器件电连接，另一个栅极用于加载固定电位。3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述光敏结构还包括：与所述PIN器件电连接的信号线；所述信号线设于所述PIN器件之上的金属层且与所述PIN器件互不重叠；所述信号线通过透明桥接线与所述PIN器件导通；所述透明桥接线设于所述PIN器件和所述金属层之上的膜层。4.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，还包括设于所述衬底上的呈阵列排布的多个子像素，每个所述子像素包括发光器件和第二TFT。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭锦涛，秦斌，彭宽军，郭凯，牛亚男，李小龙，滕万鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11